Phương Pháp Chế Tạo Màng Mỏng bằng kỹ thuật PLD

... Mỏng | Pulse Laser Deposition Phương Pháp Chế Tạo Màng Mỏng Dụng cụ giữ, thay đổi bia shutter Chứa tối đa bia khác | Pulse Laser Deposition Phương Pháp Chế Tạo Màng Mỏng (Susbtrate heater) Dụng ... mại hoá, dùng phòng thí nghiệm | Pulse Laser Deposition Phương Pháp Chế Tạo Màng Mỏng IV CƠ CHẾ CHÍNH TRONG VIỆC PHỦ MÀNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP PLD? IV.1 Một số khái niệm Laser ánh sáng đơn sắc ( tức ... Laser Deposition Phương Pháp Chế Tạo Màng Mỏng Hình 4.8 Sự chắn phần chùm tia laser tới plasma dẫn đến làm giảm lượng laser đến bia | Pulse Laser Deposition Phương Pháp Chế Tạo Màng Mỏng Hình 4.9...

54
1,026
1

CÁC PHƯƠNG PHÁP CHẾ TẠO MÀNG MỎNG doc

... khai triển đại trà ƯU ĐIỂM: + Không thể tạo màng đơn tinh thể + không tạo độ dày xác cao + Các chất có hiệu suất phún xạ khác nên việc tổ hợp bia tạo màng đa lớp trở nên phức tạp PPBB BẰNG XUNG ... lượng ion hóa lớn + Tạo màng siêu mỏng, siêu cứng, chất lượng cao + Dùng nhiều bia để tạo màng đa lớp NHƯỢC ĐIỂM: + Có thể xuất phân tử lớn + khó kiểm soát xác độ dày + bề mặt màng đế gồ gề PP EPITAXY ... kiểm soát trình mọc màng thông qua phổ nhiễu xạ điện tử ghi trực tiếp ) + Tốc độ phát triển màng 1µ m / h ƯU ĐIỂM: + Tốc độ mọc màng khống chế xác đến lớp nguyên tử + Tạo màng đơn tinh thể đế...

Đề tài " PHƯƠNG PHÁP CHẾ TẠO MÀNG MỎNG " docx

... LOẠI III.PHƯƠNG PHÁP CHẾ TẠO IV.PHƯƠNG PHÁP ĐO LƯỜNG VÀ ỨNG DỤNG I GIỚI THIỆU Màng mỏng hay nhiều lớp vật liệu chế tạo cho chiều dày nhỏ nhiều so với chiều lại Khái niệm "mỏng" màng mỏng đa dạng, ... tâm ý nhiều nhà khoa học suốt 30 năm qua Băng ghi âm ứng dụng màng mỏng này.Kĩ thuật màng mỏng từ tính ngày hoàn thiện chế tạo cac màng từ có bề dày từ micro đến nano mét khả lưu trữ , tính bền ... từ, chế tạo màng đủ mỏng, dị hướng từ tinh thể biến mà thay vào dị hướng từ bề mặt Màng vật liệu từ tính có trạng thái vật lý thể rắn với chiều dày khoảng vài µm (nhỏ µm) Còn biết với tên gọi màng...

Đề tài " PHƯƠNG PHÁP CHẾ TẠO MÀNG MỎNG " pdf

... Nhược điểm lớn tạo màng mỏng, khả khống chế chiều dày phương pháp tốc độ bốc bay khó điều khiển Đồng thời, khó khăn chế tạo màng đa lớp phương pháp  Gần người ta cải tiến phương pháp sử dụng chùm ... Một số phương pháp thường dùng để chế tạo màng mỏng từ là: Epitaxy chùm phân tử (MBE)  Bốc bay nhiệt chân không  Phương pháp phún xạ  Lắng đọng hóa học (CVD)  Cấu trúc màng mỏng tùy thuộc ... (Đức) phát ứng màng mỏng kiểu "bánh kẹp" (sandwich) lớp Fe(12nm/Cr(1 nm)/Fe(12 nm) chế tạo phương pháp epitaxy chùm phân tử đế GaAs 18 * Cơ chế hiệu ứng GMR: Điện trở chất rắn tạo tán xạ điện...

22
1,878
40

Bài giảng các phương pháp chế tạo màng mỏng, đại học KH TN

... CÁC PHƢƠNG PHÁP CHẾ TẠO MÀNG Phương pháp ngưng tụ vật lý (PVD) Phương pháp ngưng tụ hóa học (CVD) Physical Vapor Deposition Chemical Vapor Deposition  Các hạt vật liệu ngưng tụ đế → Màng  Các ... cần phủ màng bị hóa  Một chất kh đưa vào (precursor)  Với tác nhân cung cấp lượng, vật liệu cần phủ màng bị hóa  HAI PHƢƠNG PHÁP PVD PHỔ BIẾN Phương pháp bốc bay chân kh ng Phương pháp phún ... hạn chế p.p phún xạ magnetron ƢU ĐIỂM HẠN CHẾ   Hệ nước làm mát N lượng Màng đa lớp Bia  RẺ TIỀN  Công nghiệp  <  Độ gồ ghề Đắt tiền Bia Các p.p kh c  Độ bám dính cao Kh chế tạo Màng...

Vật lý màng mỏng -Phương pháp chế tạo màng hóa học

... cách sử dụng kĩ thuật 1987 – PLD thành công việc chế tạo màng mỏng siêu dẫn nhiệt độ Cuối thập niên 80 – PLD kĩ thuật tiếng việc chế tạo màng mỏng ý đến nhiều 1990’s – phát triển nhanh chóng ... trúc màng Giai đoạn có tác dụng làm bay hết dung môi lại màng, vật chất kết nối với chặc chẽ hình thành nên biên hạt làm ảnh hưởng đến vi cấu trúc màng Đối với màng nhạy khí cấu trúc xốp màng ... nhiều loại oxit khác phủ thành công phương pháp Phương pháp dùng để phủ màng nhạy PH Al2O3, Ta2O5, loại màng chống oxi hóa ăn mòn… Loại Sensor pH pH pH Màng Sensor Al2O3 Si3N4 Ta2O5 Khoảng đo (pH)...

Vật lý màng mỏng -Các phương pháp chế tạo màng cơ

...

Vật lý màng mỏng -Các phương pháp chế tạo màng

... CÁC PHƯƠNG PHÁP CHẾ TẠO MÀNG Phương pháp ngưng tụ vật lý (PVD) Phương pháp ngưng tụ hóa học (CVD) Physical Vapor Deposition Chemical Vapor Deposition  Các hạt vật liệu ngưng tụ đế → Màng  ... lượng, vật liệu cần phủ màng bị hóa  Một chất khí đưa vào (precursor)  Với tác nhân cung cấp lượng, vật liệu cần phủ màng bị hóa  HAI PHƯƠNG PHÁP PVD PHỔ BIẾN Phương pháp bốc bay chân không Phương ... nằm phương pháp tuyến với mẫu đơn vị thời gian Ni: số hạt nằm phương hợp với phương pháp tuyến góc αi  Ưu điểm & hạn chế p.p bốc bay nhiệt điện trở ƯU ĐIỂM Đơn giản Rẻ tiền Kh ôn g HẠN CHẾ Vật...

32
1,039
2

Nghiên cứu các phương pháp chế tạo màng graphene loại GO-H-Au1-5-14700 và GO-H-13 và ứng dụng

... C thƣờng có vài lớp graphene mặt Si lớp I.3.3 Phương pháp chế tạo graphene từ dung dịch: Có hai phƣơng pháp việc chế tạo màng graphene từ dung dịch Đó chế tạo màng graphene phƣơng pháp hóa học ... I.2 Cấu tạo tính chất màng graphene: 34 I.2.1 Cấu tạo màng graphene: 34 I.2.2 Cấu trúc vùng lƣợng: .36 I.2.3 Ứng dụng màng graphene: 41 I.3 Các phƣơng pháp chế tạo graphene: ... linh hoạt yêu cầu bảo quản I.3 Các phương pháp chế tạo graphene: Có nhiều phƣơng pháp khác để chế tạo màng graphene, nhóm phƣơng pháp đƣợc tiến hành nhiều là: phƣơng pháp tách lớp học graphite (mechanical...

95
1,894
17

các phương pháp chế tạo màng hóa học

... gồm nhiều loại oxit khác phủ thành công phương pháp Phương pháp dùng để phủ màng nhạy PH Al2O3, Ta2O5, loại màng chống oxi hóa ăn mòn… Loại Sensor pH pH pH Màng Sensor Al2O3 Si3N4 Ta2O5 Khoảng đo ... deposotion)… PHƯƠNG PHÁP SOLGEL    Sol (solution), Gel(gelation) Đây phương pháp hóa học ướt tổng hợp phần tử huyền phù dạng keo rắn (precursor:SnCl4.5H2O, SbCl3.2H2O…) chất lỏng sau dó tạo thành ... deposition) Phương pháp PLD ý vài năm vừa qua phương pháp phủ thành công hợp chất phức tạp Kĩ thuật PLD lần sử dụng để phủ màng siêu dẫn YBa2Cu3O7 Kể từ nhiều vật liệu khó phủ phương pháp bình...

phương pháp truyền dẫn thông tin bằng kỹ thuật DWDMx

... lý thông tin thực thi mào đầu thông tin giám sát, truyền liệu giám sát mào đầu đến đơn vị điều khiển truyền thông - Đơn vị điều khiển truyền thông : Nhận thông tin kiểm tra từ module thông tin ... Các MUX DEMUX dùng cho phương án truyền dẫn theo hướng, MUX-DEMUX dùng cho phương thức truyền dẫn theo hai hướng Ta xét phương thức truyền dẫn sau: - Phương thức truyền dẫn theo hướng: Kênh Kênh ... việc bù tán sắc hệ thống tìm phương pháp giảm ảnh hưởng tán sắc đến hệ thống 1.5 Ưu nhược điểm kỹ thuật DWDM 1.5.1 Ưu điểm kỹ thuật DWDM - Dải thông rộng: xét trên, băng thông sợi quang rộng, điều...

ứng dụng phương pháp sáng tạo khoa học vào kỹ thuật công nghệ

... đề Ứng dụng phương pháp sáng tạo khoa học vào kỹ thuật công nghệ 3/ Quá trình nghiên cứu: Như phần tổng quan lịch sử nêu, thời gian tính từ ngày đầu học môn Phương pháp nghiên cứu khoa học ... lý thuyết phương pháp nghiên cứu: 1/ Khoa học & kỹ thuật, công nghệ: 2/ Sáng tạo: 3/ Thủ thuật (nguyên tắc) phương pháp sáng tạo bản: 4/ Phương pháp nghiên ... mà khoa học & công nghệ làm d) So sánh đặc điểm khoa học & Công nghệ: STT Khoa học Công nghệ Nghiên cứu khoa học mang tính Điều hành công nghệ mang tính xác xác xuất định Hoạt động khoa học đổi...

Quá trình và phương pháp xay nghiền nông sản bằng kỹ thuật điều chỉnh nhiệt độ khi sấy vào quy trình say nông sản p1 docx

... nông sản dạng hạt mà làm hạt giống yêu cầu độ ổn định nhiệt độ cao suốt trình sấy Mặt khác để dễ dàng cho ngời sử dụng việc theo dõi nhiệt độ sấy nh thay đổi nhiệt độ sấy nhiệt độ sấy nhiệt độ ... Yêu cầu kỹ thuật sấy nhiệt độ hạt sấy không 600C hạt lơng thực 500C hạt giống Khi độ ẩm đạt tới 25%, nhiệt độ chất mang nhiệt cho phép tới 700C, độ ẩm hạt cao 25%, nhiệt độ chất mang nhiệt không ... thống sấy nông sản dạng hạt 1.1.3.1 Đặc điểm chung hệ thống sấy nông sản dạng hạt Hệ thống sấy nông sản dạng hạt giống nh hệ thống sấy nông sản khác, gồm phận chính: phận tạo áp cấp nhiệt cho trình...

đồ án kỹ thuật vật liệu xây dựng Chế tạo màng mỏng ZnO; ZnO Co bằng phương pháp phun điện và nghiên cứu cấu trúc, một số tính chất của chúng

... mlB phun tĩnh điện tạo màng Màng Màng Màng Màng Màng Màng ZnO: ZnO: ZnO: ZnO: ZnO: ZnO: 1 %Co Màng ZnO 2 %Co 3 %Co 4 %Co 5 %Co 6 %Co XỬ LÝ NHIỆT Hình 2.1 Sơ đồ tạo mẫu 2.2 KHẢO SÁT CẤU TRÚC, TÍNH CHẤT ... sau: - Tìm hiểu chế tạo màng ZnO; ZnO: Co phương pháp phun điện với nồng độ pha tạp khác - Nghiên cứu số tính chất vật lí màng mỏng như: cấu trúc tinh thể, tính chất quang, tính chất từ… Khoá luận ... phương đơn giản 1.1.4 Tính chất điện, quang bán dẫn ZnO 1.1.4.1 Tính chất điện Tính chất cấu màng ZnO phụ thuộc nhiều vào công nghệ chế tạo Nhúm nghiên cứu [12] khảo sát phụ thuộc tính chất điện...

nghiên cứu chế tạo màng mỏng ZnO loại P bằng phương pháp phún xạ Magnetron

... Sản phẩm sau nung có dạng đĩa tròn đường kính tất bia x p xỉ 7,7cm phù h p làm bia trình phún xạ magnetron tạo màng Chế tạo màng ZnO pha t p N từ bia gốm Màng ZnO pha t p N chế tạo phương ph p phún ... B.Yao, màng mỏng ZnO: N chế tạo phương ph p phún xạ magnetron RF điều kiện nhiệt độ 510K đế thạch anh xác định cấu trúc phương ph p nhiễu xạ tia X Hình 2.5 Phổ nhiễu xạ ZnO Hằng số mạng tinh thể ZnO: N ... N2, N2O Trong N N2O dùng nguồn pha t p N Các điều kiện phún xạ tạo màng p suất buồng p suất p suất phún xạ Khí phún xạ Đế phủ Khoảng cách phún xạ Công suất phún xạ RF Nhiệt độ đế < 5.10-6 torr...

7
1,834
20

Xem thêm