Ngày tải lên :
04/11/2013, 12:15
... and Engineering in Evolution, Proceeding of the third Vietnamese- German Seminar on Physics and Engineering, Ho Chi Minh City, Vietnam, April 3-8, 200 0, p.29-34 D.V.Dung, T.Q.Thong, V.N.Hung and ... D.V Dung, T Q Thong, V N Hung, N D Chien Proceedings of the Third International Workshop on Materials Science (IWOMS'99), Hanoi, November 2-4, 1999 V.N.Hung, N.D.Chien, D.V.Dung, T.Q.Thong, T.D.Hien, ... 1,5 àm Tiếp theo, kỹ thuật quang khắc đợc sử dụng để mở cửa sổ ăn mòn tạo màng (mask1) Ăn mòn tích cực dung dịch KOH đợc th c để tạo màng cảm biến Trong thiết kế mask 1, diện tích SiO2 th ch Phiến...