... [69, 88] Màng ZnO phatạp chế tạo nhiều phươngpháp khác nhau, bao gồm phươngphápphúnxạ vật lý, phươngpháp lắng đọng hóa học (CVD), phươngpháp epitaxy chùm phân tử (MBE), phươngpháp xung ... phatạp màng, sử dụng phươngpháp đo đại, có độ tin cậy cao như: phươngpháp UV – Vis, phươngpháp nhiễu xạ tia X, phươngpháp bốn mũi dò, phươngpháp Stylus, phươngpháp đo Hall, phươngpháp lực ... hợp màng nhiệt độ cao Hình 2.3 Hệ magnetron không cân 2.1.3 Phúnxạphảnứng [14, 16] Phúnxạphảnứngphúnxạ bia kim loại mơi trường có khí hoạt tính O2, N2, N2O… Màngtạo hợp chất hạt phún xạ...
... 2.2 TạoMàngTiO2PhaTạpVanadiumBằngPhươngPhápĐồngPhúnXạPhảnỨng 30 2.2.1 Ưu điểm phươngphápđồngphúnxạphảnứng 32 2.2.2 Hạn chế phươngphápđồngphúnxạphảnứng ... Tăng công suất phúnxạ vậy làm tăng lượng cho hạt lên đế 2.2 TạoMàngTiO2PhaTạpVanadiumBằngPhươngPhápĐồngPhúnXạPhảnỨng Về nguyên tắc, để tạomàngphươngphápphúnxạmang vật liệu ... Chế TạoMàngBằngPhươngPhápĐồngPhúnXạ Magnetron Không Cân Bằng 3.1.1 Lắp ráp hệ giá đỡ đồngphúnxạ Chúng sử dụng hệ phúnxạ chân khơng phòng thí nghiệm Quang - Quang Phổ, môn Vật lý Ứng...
... luận TạoMàngTiO2PhaTạpVanadiumBằngPhươngPhápĐồngPhúnXạPhảnỨng Dùng phươngphápphúnxạ để thu màng có độ bền cao đảm bảo yêu cầu quang xúc tác Thực nghiệm, kết bàn luận TạoMàngTiO2 ... TiO2PhaTạpVanadiumBằngPhươngPhápĐồngPhúnXạPhảnỨng Thực nghiệm, kết bàn luận Các PhươngPháp Khảo Sát Tính Năng Quang Xúc Tác Của Mẫu Hệ đo Methylene Blue (MB) Hệ đo góc thấm ướt Màng ... đế 5cm Công suất phúnxạ bia Ti: 100W Thời gian phúnxạ 60 phút Thực nghiệm, kết bàn luận Khảo Sát Tính Chất Quang Xúc Tác Của TiO2: V Tạomàng TiO2: V phươngphápđồngphúnxạ magnetron DC tính...
... độ phatạp V khoảng 10% Kết luận Màng TiO2: V chế tạo thành công phươngphápđồngphúnxạphảnứng magnetron DC Cấu trúc màng có độ gồ ghề bề mặt cao, bao gồm pha anatase rutile TiO2Đồng thời màng ... hệ tạo màng, tạo mẫu điều kiện công suất phúnxạ bia V 80W tiến hành đo MB kết nhận mơ tả hình vẽ: Hình 11: Phổ EDX màng TiO2: V ứng với công suất phúnxạ bia V 80W Hình 10: Kết đo MB mẫu TiO2: V ... suất phúnxạ 3.10-3 torr, công suất phúnxạ bia Ti 100W công suất phúnxạ bia V thay đổi từ 20-100W để thay đổi nồng độ phatạp V vào màng Đế thủy tinh gia nhiệt đến 200oC thời gian phúnxạ mẫu...
... luận TạoMàngTiO2PhaTạpVanadiumBằngPhươngPhápĐồngPhúnXạPhảnỨng Dùng phươngphápphúnxạ để thu màng có độ bền cao đảm bảo yêu cầu quang xúc tác Thực nghiệm, kết bàn luận TạoMàngTiO2 ... TiO2PhaTạpVanadiumBằngPhươngPhápĐồngPhúnXạPhảnỨng Thực nghiệm, kết bàn luận Các PhươngPháp Khảo Sát Tính Năng Quang Xúc Tác Của Mẫu Hệ đo Methylene Blue (MB) Hệ đo góc thấm ướt Màng ... đế 5cm Công suất phúnxạ bia Ti: 100W Thời gian phúnxạ 60 phút Thực nghiệm, kết bàn luận Khảo Sát Tính Chất Quang Xúc Tác Của TiO2: V Tạomàng TiO2: V phươngphápđồngphúnxạ magnetron DC tính...
... phép tạomàng đế chịu nhiệt Các hướng phươngpháp ngưng tụ vật lý: - Phươngpháp bốc bay - Phươngphápphúnxạ - Kết hợp hai phươngpháp giải pháp khác 2.1.2 Phươngpháp ngưng tụ hóa học (CVD) Phương ... nguyên tố kim loại để phatạpphươngpháp chế tạo cho phù hợp Trong nghiên cứu chọn đề tài “Chế tạomàng mỏng ZnO phatạp Cu phươngpháp Sol – Gel” nhằm tạo vật liệu mới, màng mỏng ZnO:Cu, có ... 2.2.7 Ứng dụng: - Tạomàngphảnxạ tia tử ngoại, màng cách nhiệt - Tạomàng dùng solar cell với diện tích rộng - Tạomàng từ, màng quang học, màng quang xúc tác (TiO2) - Chế tạo thấu kính mỏng...
... ưu điểm trội phươngpháp sol-gel thủy phân alkoxide, chọn phươngpháp để chế tạo vật liệu TiO2 anatase phatạp Co 1.4.2 Chế tạomàng mỏng phươngphápphúnxạ catốt Phúnxạphươngpháp sử dụng ... dẫn pha từ lỗng TiO2 anatase phatạp Co phươngpháp sol-gel phúnxạ catốt” Mục tiêu luận án: Luận án đặt hai mục tiêu: (i) Chế tạo vật liệu bán dẫn pha từ loãng TiO2 anatase phatạp Co phươngpháp ... thực việc chế tạo mẫu luận án Phươngpháp thứ hai lựa chọn phươngphápphúnxạ Đây phươngpháp vật lý dùng để tạomàng có độ đồng cao 1.4.1 Chế tạo vật liệu phươngpháp sol-gel Quá trình sol-gel...
... 58 83 c Màng ZnO đồngphatạp N-Ga Ngoài việc tạomàng ZnO đồngphatạp N-Al, tiến hành tạomàng ZnO đồngphatạp N-Ga từ bia gốm GZO Kết thu số màng có tính dẫn loại p Mẫu Khí phúnxạ GZ1 40%N2 ... màng ZnO phatạp N từ bia gốm Màng ZnO phatạp N chế tạophươngphápphún x magnetron phảnứng RF đế thủy tinh corning 7059 Các bia ZnO, AZN, GZN đư ợc dùng làm bia phúnxạ Và khí phúnxạ khí hay ... N2, N2O Trong N N2O dùng nguồn phatạp N Các điều kiện phúnxạtạomàng Áp suất buồng Áp suất Áp suất phúnxạ Khí phúnxạ Đế phủ Khoảng cách phúnxạ Công suất phúnxạ RF Nhiệt độ đế < 5.10-6 torr...
... HA bi phan hiiy mot phin thinh tricanxi phdt phat theo phan ti'ng sau Ca,o(P04)5(OH)2 -^ 2Ca3(P04)2 -I- Ca4P20, -i- H2O Ty so Ca/P bi giim mot phin thieu kit mang HA tdng hgp bing phucmg phap ... mang HA bit diu bi chuyin pha mot phin sang tricanxi phot phat Cd mdt sd tai lieu khac [13] thdng bao ring thieu kit tdi 1400°C thi HA cd thi bi chuyen mdt phin vl pha oxyapatit Hinh thai hpc ... phap sol-gel mdi trudng etanol vdi cac ky thuat dugc trinh bay chi tilt cdng trinh d phin tren Mang HA chi tao dugc cd kfch thudc tinh the 50nm, cd phan gin nhu 100% la HA, cac hat tinh the phan...
... ng Tương t v y phươngphápphún x có ưu th Phươngphápphún x s đư c trình bày chi ti t ph n sau T o màng b ng phươngpháp hóa h c (CVD): hai phươngpháp ch y u sol – gel, phươngphápphunphân ... li u màng, s thay ñ i c a màu theo h p th c khơng m nh b ng Vì màng có đ d y nh nên tính h p th quang nh Trong trư ng h p màng oxit vonfram ñư c t o b ng phươngphápphún x , h p th c c a màng ... h p m u màng ñư c ch t o b ng phươngphápphún x , nhi t ñ tinh th hóa n m kho ng 350 – 380 oC [12] m t vài trư ng h p có th th p [13] ð i v i màng vơ đ nh hình đư c ch t o b ng phươngpháp b...
... Đinh Công Trường Chương CHẾ TẠOMÀNG TiO2: N 4.1 CHẾ TẠO HỆ PHÚNXẠ MAGNETRON KHÔNG CÂN BẰNG ĐỂ TẠOMÀNG VÀ HỆ ĐO QUANG XÚC TÁC 4.1.1 HỆ TẠOMÀNG TiO2: N MàngTiO2tạo hệ chân không B302(hình 4.1) ... lớn màng chế tạomàng TiO2: N phươngphápphúnxạ magnetron Mặc dù, theo [5,7,13], tác giả cho có phươngpháp IBAD, PLD cho lượng phatạp lớn Ngồi ra, giải thích phươngphápphúnxạ magnetron ... ý vào phươngphápphúnxạ magnetron Đây phươngpháp dễ thực việc tạomàng diện tích rộng có khả triển khai ứng dụng theo [4,13], kết nhận lại cho lượng phatạp N nhỏ Kết [7] đạt lượng tạp N lớn...
... Fresnel Nghiên cứu chế tạomàng đa lớp TiO2/ TiN /TiO2 Nghiên cứu chế tạomàng TiO2( ngoài)/ TiO2( đệm)/Ti/Ag/Ti /TiO2( trong) Nghiên cứu chế tạomàng TiO2( ngoài)/ TiO2( đệm)/TiN/Ag/TiN /TiO2( trong) Trong ... thức lớn, tán xạ lớn phảnxạ cao hình thành Điều xảy màng lắng đọngphươngphápphúnxạphản ứng, thể qua chuyển tiếp từ màng đục đến màng suốt với áp suất riêng phần oxy tăng phúnxạ [52] Truyền ... hay gây phúnxạ 1.6.1.2 Quá trình lắng đọngmàngphươngphápphúnxạPhươngpháp ảnh hưởng đến thông số trình gây plasma, mối liên hệ chúng lên tính chất màng lắng đọng Quá trình phúnxạ trình...
... phươngpháp vật lý nhúm cỏc phươngpháp hoỏ học Các phươngpháp vật lý bao gồm: phúnxạ catốt (phún xạ chiều), phúnxạ cao tần, phúnxạphảnứng với bia, phươngpháp bốc bay nhiệt, phươngpháp ... pháp sol-gel phươngpháp hoá học dùng để chế tạomàng mỏng dựa pha trộn chất dạng dung dịch lỏng Phươngpháp cho phép ta hoà trộn đồng chất cấp độ phân tử Vì thế, phươngpháp sol-gel phươngpháp ... khiết màng khơng cao chịu ảnh hưởng mơi trường q trình chế tạo, chất lượng màngtạo khơng đồng Dưới đây, em trình bày sơ lược số phươngpháp chế tạomàng thông dụng: 1.3.1 Phươngpháp sol-gel Phương...
... hình thành màng BC ứng dụng màng BC.Các cơng trình bước đầu nghiên cứu q trình tạo màng, đặc tính cấu trúc màng làm sở chế tạomàng trị bỏng, sản xuất thạch dừa Gần nghiên cứu ứng dụng màng BC làm ... 2.2 Phươngpháp nghiên cứu 16 2.2.1 Phươngpháp vi sinh 16 2.2.2 Phươngpháp gây đột biến vi sinh vật 18 2.2.3 Phươngpháp tuyển chọn sơ chủng sau đột biến 19 2.2.4 Phương ... 1000 ml 2.2 Phƣơng pháp nghiên cứu 2.2.1 Phươngpháp vi sinh 2.2.1.1 Phươngpháp đếm khuẩn lạc Lấy 1ml dịch huyền phù có chứa vi khuẩn 24h ni cấy, pha lỗng theo phươngpháppha lỗng giới hạn dùng...
... nhiên – Đại học Quốc gia Tp Hồ Chí Minh, nghiên cứu chế tạo thành công ZnO phatạp Al phươngphápphúnxạ magnetron Bằngphươngphápphúnxạ cathode, cao tần magnetron, nhiều tập thể khoa học giới ... (IC), màng cứng (TiN), nghiên cứu phươngpháp tiếp tục, đặc biệt lĩnh vực phủ màng mỏng bán dẫn Nguyên tắc hoạt độngphúnxạ magnetron Penning đưa năm 1936 [76] sở phươngpháp phủ màngphúnxạ magnetron ... bắn vào bia tạo nên phúnxạ vật liệu Mô tả hoạt động hệ phúnxạ magnetron xem chi tiết tài liệu tham khảo [102], [108] 2.1.2 Phươngphápphúnxạ magnetron phẳng dc rf Nguồn phúnxạ magnetron...
... Fresnel Nghiên cứu chế tạomàng đa lớp TiO2/ TiN /TiO2 Nghiên cứu chế tạomàng TiO2( ngoài)/ TiO2( đệm)/Ti/Ag/Ti /TiO2( trong) Nghiên cứu chế tạomàng TiO2( ngoài)/ TiO2( đệm)/TiN/Ag/TiN /TiO2( trong) Trong ... thức lớn, tán xạ lớn phảnxạ cao hình thành Điều xảy màng lắng đọngphươngphápphúnxạphản ứng, thể qua chuyển tiếp từ màng đục đến màng suốt với áp suất riêng phần oxy tăng phúnxạ [52] Truyền ... 50 1.6 Phươngpháp nghiên cứu 52 1.6.1 Phươngphápphúnxạ 52 1.6.1.1 Nguyên lý trình lắng đọngphúnxạ 52 1.6.1.2 Quá trình lắng đọngmàngphươngphápphúnxạ 54...
... Bài Tìm tham số m để phương trình: 1, x2 x m có nghiệm 2, x 13x m x có nghiệm 3, log2 x3 4mx log 2x 2m 1 có nghiệm Bài Tìm tham số m để bất phương trình: 1, ... có nghiệm 3, m x 2x x(2 x) có nghiệm x 0;1 Bài Tìm tham số m để hệ phương trình: 2x y m 1, có nghiệm x xy 72x x 1 72 x 1 2010x 2010 ... x m n2 y 3, có nghiệm với n R m nxy x y y x e 2007 y2 Bài Chứng minh hệ có nghiệm thỏa mãn điều kiện x > x e y 2007 x2 0, y > Bài Xác định m để...
... chế tạophươngpháp in phun Busato cộng [9] phát triển công nghệ in phun chế tạo mạch in đồngmàng polyimide uốn cong ứng dụng điện tử Quy trình gồm in phun dung dịch palladium (II) bề mặt có màng ... đẩy khỏi vòi phun [3] 22 - Phapha 4: pha hồi phục với điện áp đưa pha Buồng chứa mực giải nén phầnpha bơm đầy mực pha để sẵn sàng cho chu kỳ làm việc (Hình 2.5) Phapha khơng bắt buộc, thêm vào ... họa hình 1.12 Phươngpháp đẩy (in) giọt chất lỏng theo nguyên lý nhiệt phươngpháp chủ yếu sử dụng cho máy in văn phòng tính làm việc ổn định dễ dàng chế tạo đầu in Tuy nhiên, phươngpháp thực phù...