... cao việc tăng góc tới sẻ giới hạn sựbtăng tương tác bề mặt hòeu suất củng tăng lên Hiệu suất phún xạ phụ thuộc vào ion khí trở (cụ thể Ar +), Ar cho hiệu suất cao (cột cuối bảng tuần hoàn(7 ,8: ... trường để điều khiển chùm điện tử để nâng cao hiệu suất ion hoá phí chùm điện tử suy hiệu suất cao Trong phún xạ catod cho hiệu suất thấp (hiệu suất cao ion nằm coat cuối bảng tuần hoàn) Cơ chế ... bia đặt đối diện Hệ phún xạ catod đơn giản bao gồm buồng chân không, bia chế tạo từ vật liệu dùng để phún xạ tạo màng đế để lắng động màng để nâng cao hiệu suất người ta đưa vào buồng phún xạ...
... cao việc tăng góc tới sẻ giới hạn sựbtăng tương tác bề mặt hòeu suất củng tăng lên Hiệu suất phún xạ phụ thuộc vào ion khí trở (cụ thể Ar +), Ar cho hiệu suất cao (cột cuối bảng tuần hoàn(7 ,8: ... trường để điều khiển chùm điện tử để nâng cao hiệu suất ion hoá phí chùm điện tử suy hiệu suất cao Trong phún xạ catod cho hiệu suất thấp (hiệu suất cao ion nằm coat cuối bảng tuần hoàn) Cơ chế ... bia đặt đối diện Hệ phún xạ catod đơn giản bao gồm buồng chân không, bia chế tạo từ vật liệu dùng để phún xạ tạo màng đế để lắng động màng để nâng cao hiệu suất người ta đưa vào buồng phún xạ...