chế tạo màng zno pha tạp sn bằng phương pháp phún xạ magnetron dc

Tiến Sĩ Nghiên cứu chế tạo màng gương nóng truyền qua bằng phương pháp phún xạ magnetron dc

Ngày tải lên : 10/04/2015, 17:29

... [100] In2O3 :Sn Phun nhiệt phân [126] In2O3 Lắng đọng phún xạ [179] Cd2SnO4 Lắng đọng phún xạ [134] Cd2SnO4 Phun nhiệt phân [133] ZnO: In Phun nhiệt phân [112] ZnO: Al Lắng đọng phún xạ [117] ZnO: In ... hay gây phún xạ 1.6.1.2 Quá trình lắng đọng màng phương pháp phún xạ Phương pháp ảnh hưởng đến thông số trình gây plasma, mối liên hệ chúng lên tính chất màng lắng đọng Quá trình phún xạ trình ... thức lớn, tán xạ lớn phản xạ cao hình thành Điều xảy màng lắng đọng phương pháp phún xạ phản ứng, thể qua chuyển tiếp từ màng đục đến màng suốt với áp suất riêng phần oxy tăng phún xạ [52] Truyền...

60
666
1

Nghiên cứu chế tạo màng gương nóng truyền qua bằng phương pháp phún xạ magnetron DC

Ngày tải lên : 14/05/2016, 09:25

... [100] In2O3 :Sn Phun nhiệt phân [126] In2O3 Lắng đọng phún xạ [179] Cd2SnO4 Lắng đọng phún xạ [134] Cd2SnO4 Phun nhiệt phân [133] ZnO: In Phun nhiệt phân [112] ZnO: Al Lắng đọng phún xạ [117] ZnO: In ... trình lắng đọng phún xạ 52 1.6.1.2 Quá trình lắng đọng màng phương pháp phún xạ 54 1.6.1.3 Phún xạ phản ứng 57 1.6.2 Thiết kế hệ magnetron 57 1.6.2.1 Hệ magnetron vuông ... thức lớn, tán xạ lớn phản xạ cao hình thành Điều xảy màng lắng đọng phương pháp phún xạ phản ứng, thể qua chuyển tiếp từ màng đục đến màng suốt với áp suất riêng phần oxy tăng phún xạ [52] Truyền...

170
663
1

Chế tạo màng điện sắc oxit vonfram bằng phương pháp phún xạ phản ứng magetron dc từ bia kim loại w

Ngày tải lên : 08/10/2014, 17:39

... ng Tương t v y phương pháp phún x có ưu th Phương pháp phún x s đư c trình bày chi ti t ph n sau T o màng b ng phương pháp hóa h c (CVD): hai phương pháp ch y u sol – gel, phương pháp phun phân ... trình t o màng thi t b ño 37 3.1 Gi i thi u h t o màng b ng phương pháp phún x magnetron dc 37 3.2 Quá trình t o màng 38 3.2.1 Chu n b m u……………………………………………… 38 3.2.2 Ph màng ………………………………………………… ... Sơ lư c sơ Ngu n DC 2.7 Bu ng chân khơng đ v bu ng phún x dc S ph màng b ng h phún x magnetron không cân b ng 2.7.1 Ngu n phún x Ngu n cung c p cho bia ngu n DC, th hi u d ch DC ho c RF ð i v...

91
536
1

Nghiên cứu chế tạo màng mỏng quang xúc tác bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron dc

Ngày tải lên : 09/10/2014, 21:19

... lớn màng chế tạo màng TiO2:N phương pháp phún xạ magnetron Mặc dù, theo [5,7,13], tác giả cho có phương pháp IBAD, PLD cho lượng pha tạp lớn Ngồi ra, giải thích phương pháp phún xạ magnetron ... HV: Đinh Công Trường Chương CHẾ TẠO MÀNG TiO2:N 4.1 CHẾ TẠO HỆ PHÚN XẠ MAGNETRON KHÔNG CÂN BẰNG ĐỂ TẠO MÀNG VÀ HỆ ĐO QUANG XÚC TÁC 4.1.1 HỆ TẠO MÀNG TiO2:N Màng TiO2 tạo hệ chân không B302(hình ... bề mặt màng, giảm nhiệt độ đế tạo phóng điện áp suất thấp Hệ phún xạ cải thiện gọi hệ phún xạ magnetron ( chiều xoay chiều ) 3.2 HỆ PHÚN XẠ MAGNETRON DC 3.2.1 Cấu tạo Hình 3.3 Hệ phún xạ magnetron...

67
695
0

Tạo màng dẫn điện trong suốt bằng phương pháp phún xạ magnetron

Ngày tải lên : 26/02/2016, 22:02

... Đại học Quốc gia Tp Hồ Chí Minh, nghiên cứu chế tạo thành công ZnO pha tạp Al phương pháp phún xạ magnetron Bằng phương pháp phún xạ cathode, cao tần magnetron, nhiều tập thể khoa học giới nhóm ... tạo nên phún xạ vật liệu Mô tả hoạt động hệ phún xạ magnetron xem chi tiết tài liệu tham khảo [102], [108] 2.1.2 Phương pháp phún xạ magnetron phẳng dc rf Nguồn phún xạ magnetron phẳng sáng chế ... vật liệu TCO dạng màng mỏng nghiên cứu chế tạo ZnO pha tạp, SnO2 pha tạp, In2O3 pha tạp Từ năm 60 kỷ trước, vật liệu TCO sử dụng rộng rãi cho thiết bị quang điện tử In2O3 pha tạp Sn (ITO) Và nay,...

200
608
0

Nghiên cứu chế tạo màng ZnO tạp chất Sn trên đế thủy tinh bằng phương pháp phún xạ magnetron DC và khảo sát các yếu tố ảnh hưởng đến cấu trúc, tính chất điện, tính chất quang của màng

Ngày tải lên : 25/05/2015, 22:52

... 3: CHẾ TẠO MÀNG ZnO PHA TẠP Sn BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC 3.1 Chế tạo bia gốm ZnO SZO Để thuận tiện việc so sánh kết quả, chế tạo hai loại bia gốm ZnO không pha tạp ZnO pha tạp Sn ... Hùng CHẾ TẠO MÀNG ZnO PHA TẠP Sn BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC .42 3.1 Chế tạo bia gốm ZnO SZO 42 3.2 Hệ tạo màng trình phún xạ .48 3.3 Các bước chuẩn bị trước phún ... màng mỏng chung Việt Nam giới Màng ZnO chế tạo nhiều phương pháp khác nhau, phương pháp phổ biến nước ta phương pháp phún xạ magnetron DC RF Đây phương pháp giúp nhà khoa học nghiên cứu chế tạo...

72
1.6K
0

Chế tạo màng ZnO tạp chất (In,N) bán bẫn loại p bằng PP phún xạ magnetron DC, kh.sát các yếu tố ảnh hưởng đến cấu trúc, tính chất điện và tính chất quang của màng bán dẫn loại p

Ngày tải lên : 25/05/2015, 22:39

... 53 CHẾ TẠO MÀNG ZnO ĐỒNG PHA TẠP (In, N) BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC 53 4.1Quy trình chế tạo bia gốm dẫn điện ZnO pha tạp In 53 4.2 Hệ tạo màng trình phún xạ ... 3: PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC Có nhiều phương pháp tạo màng mỏng đế rắn, phương pháp có ưu điểm nhược điểm riêng Tuy nhiên, chia chúng làm hai nhóm phương pháp là: Các phương pháp tạo màng ... học (CVD, sol-gel ….) phương pháp tạo màng vật lý (bay hơi, phún xạ xung laser ….) Trong nhóm phương pháp tạo màng vật lý phương pháp phún xạ magnetron DC RF hai phương pháp nhà khoa học sử dụng...

106
1.7K
1

NGHIÊN CỨU VÀ CHẾ TẠO MÀNG DẪN ĐIỆN TRONG SUỐT ZnO TẠP CHẤT (In, N) BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC

Ngày tải lên : 25/05/2015, 23:10

... trị Giản đồ vùng lượng bán dẫn đồng pha tạp loại p CHƯƠNG 3: CHẾ TẠO MÀNG ZnO: (In,N) Quy trình chế tạo mạng ZnO: (In, N) Chế tạo bia gốm ZnO ZnO:In Chọn hệ phún xạ Xử lý đế Bố trí bia đế Ảnh hưởng ... kết Tạo hình kiểm tra CHƯƠNG 3: CHẾ TẠO MÀNG ZnO: (In,N) 3.1 Quy trình chế tạo bia gốm ZnO: In Chu trình nhiệt độ trình dung kết CHƯƠNG 3: CHẾ TẠO MÀNG ZnO: (In,N) 3.1 Quy trình chế tạo bia gốm ZnO: In ... điện loại n với điện trở suất tốt Màng ZnO: (III, N) Màng ZnO: (V) Màng ZnO: (I) Màng ZnO Mục tiêu đề tài Chế tạo màng bán dẫn đồng pha tạp loại p: - Độ truyền qua màng 85% - Điện trở suất thấp (~...

52
1.4K
0

Báo cáo nghiên cứu khoa học: " SỰ ẢNH HƯỞNG DÒNG PHÚN XẠ VÀ SỰ Ủ NHIỆT LÊN TÍNH CHẤT QUANG XÚC TÁC MÀNG TiO2 CHẾ TẠO BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC KHÔNG CÂN BẰNG" doc

Ngày tải lên : 22/07/2014, 03:20

... LUẬN Thực nghiệm cho thấy màng TiO2 chế tạo kỹ thuật phún xạ phản ứng DC magnetron không cân dễ thu cấu trúc đa tinh thể anatase với diện tích mặt lớn Màng tạo dòng phún xạ mạnh có tính quang xúc ... 220V-8W THỰC NGHIỆM 2.1 Khảo sát ảnh hưởng dòng phún xạ Khảo sát mẫu có điều kiện phún xạ, khác cường độ dòng phún xạ, chúng tơi thấy dòng phún xạ mạnh, tính quang xúc tác cao Δabs năm mẫu từ ... việc tăng dòng phún xạ tính quang xúc tác màng TiO2 mà không cần xử lí nhiệt nhằm tối ưu hóa cơng nghệ sản xuất vật liệu 1.2.Cơ sở Phún xạ magnetron sử dụng rộng rãi, nhiệt độ tạo màng thấp phù...

8
603
0

THỰC TẬP CHUYÊN ĐỀ QUANG – QUANG PHỔ - BÀI 1 TẠO MÀNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC

Ngày tải lên : 27/05/2015, 22:42

... THỰC TẬP CHUYÊN ĐỀ QUANG – QUANG PHỔ BÀI 1: TẠO MÀNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC I TÓM TẮT LÝ THUYẾT: I.1 Định nghĩa tượng phún xạ: Phún xạ tượng nguyên tử bề mặt vật liệu bị bứt bị ... mơ tả q trình phún xạ I.2 Phương pháp phún xạ magnetron DC: I.2.1 Hệ magnetron phẳng: HVTH: PHẠM THỊ THU HƯỜNG THỰC TẬP CHUYÊN ĐỀ QUANG – QUANG PHỔ (Hình 1.2)  Bộ phận hệ phún xạ magnetron phẳng ... ảnh hưởng đến độ dày màng mỏng phún xạ? Nói đến độ dày màng mỏng phún xạ tức xem xét hiệu suất trình phún xạ Theo định nghĩa ta có, hiệu suất trình phún xạ tổng nguyên tử phún xạ tổng ion tới Các...

11
501
0

PHƯƠNG PHÁP BỐC BAY VÀ PHÚN XẠ - Bài 1 TẠO MÀNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC

Ngày tải lên : 27/05/2015, 22:29

... việc chế tạo màng đa lớp khó khăn với phương pháp Phương pháp phún xạ: Hình - Quá trình phún xạ Cơ chế phương pháp phún xạ: Phún xạ không làm cho vật liệu bị bay đốt nóng mà thực chất q trình phún ... (tên, chế ngắn gọn) số phương pháp tạo màng lắng đọng vật lý (PVD) Trả lời: Kỹ thuật tạo màng phương pháp PVD phân thành nhiều hướng sau, chủ yếu xuất phát từ phương pháp bay phương pháp phún xạ ...  Ít tốn nguyên liệu phún xạ ta điều chỉnh dòng phún xạ Bài 2: TẠO MÀNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP BỐC BAY CHÂN KHÔNG I LÝ THUYẾT: Định nghĩa:  Bốc bay chân không phương pháp tạo màng lắng đọng vật lý...

15
2.4K
2

nghiên cứu và chế tạo màng dẫn điện trong suốt zno pha tạp vanadium bằng phương pháp đồng phún xạ

Ngày tải lên : 19/06/2014, 09:44

... pha tạp màng, sử dụng phương pháp đo đại, có độ tin cậy cao như: phương pháp UV – Vis, phương pháp nhiễu xạ tia X, phương pháp bốn mũi dò, phương pháp Stylus, phương pháp đo Hall, phương pháp ... liệu ZnO pha tạp 24 1.4.1 Tính chất điện quang màng ZnO pha tạp .25 CHƯƠNG 2: PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC VÀ MỘT SỐ PHÉP ĐO XÁC ĐỊNH ĐẶC TRƯNG CỦA MÀNG 28 2.1 Phương pháp ... trúc ZnO 1.4.1 Tính chất điện quang màng ZnO pha tạp Tùy vào vật liệu pha tạp vào ZnO mà tính chất điện quang màng ZnO pha tạp khác ZnO pha tạp nhóm kim loại IA (Li, Na…) thành bán dẫn loại p pha...

96
852
1

Chế tạo màng mỏng zno pha tạp cu bằng phương pháp SOL GEL

Ngày tải lên : 09/10/2014, 20:39

... phép tạo màng đế chịu nhiệt Các hướng phương pháp ngưng tụ vật lý: - Phương pháp bốc bay - Phương pháp phún xạ - Kết hợp hai phương pháp giải pháp khác 2.1.2 Phương pháp ngưng tụ hóa học (CVD) Phương ... Đặng Vinh Quang 20 CHƯƠNG CÁC PHƯƠNG PHÁP CHẾ TẠO VÀ KHẢO SÁT TÍNH CHẤT CỦA MÀNG MỎNG 2.1 Nguyên lý chung phương pháp chế tạo màng Nguyên lý chung phương pháp chế tạo màng đưa vật liệu dạng lỏng ... wurtzite màng ZnO pha tạp Cu nồng độ Cu khác - Cấu trúc màng ZnO pha tạp Cu ủ nhiệt 5500C thời gian khác - Sự phụ thuộc độ rộng vùng cấm màng vào nồng độ Cu pha tạp - Độ truyền qua màng ZnO pha tạp...

86
1.7K
5

Quang phổ Laser - Màng mỏng ZnO pha tạp nguyên tố đất hiếm chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron

Ngày tải lên : 15/08/2015, 11:09

... Hướng nghiên cứu mới, pha tạp nguyên tố đất (Sc, Y…) vào ZnO để tạo màng suốt dẫn điện Thí nghiệm •Dùng phương pháp phún xạ magnetron DC –Bia (đường kính 150mm): hỗn hợp bột ZnO Sc2O3 (hoặc Y2O3), ... thấp, dẫn điện tốt Phương pháp chế tạo - Phún xạ magnetron - Lắng đọng pha hoá học hữu kim loại (MOCVD) - Lắng đọng laser xung (PLD) Các ứng dụng Màng mỏng ZnO pha tạp Al In sử dụng điện cực ... diod phát quang hữu Màng ZnO pha tạp Al, Ga hay B với bề mặt thô ráp dùng làm điện cực suốt cho pin mặt trời α-Si CuInSe2 Người ta cho màng mỏng ZnO pha tạp Al Ga tốt cho màng suốt dẫn điện Hướng...

9
299
0

Chế tạo màng zno pha tạp al, ga bằng phương pháp phún xạ ứng dụng làm điện cực trong suốt dẫn điện

Ngày tải lên : 15/07/2017, 23:16

... liệu tạo thành mơi trường plasma Ta sử dụng hiệu ứng ñể chế tạo màng mỏng Do phương pháp phún xạ dựa nguyên lý tạo plasma ñể chế tạo màng mỏng nên phương pháp tạo màng mỏng laser gọi phún xạ laser ... lớn (~ 60 meV) Bản thân màng ZnO màng dẫn ñiện suốt ta pha tạp Al Ga vào màng ZnO tính chất quang tính chất ñiện màng tốt nhiều so với màng ZnO chưa pha tạp Màng ZnO pha tạp Al Ga (AGZO) vật liệu ... ta sử dụng ðể chế tạo màng AGZO phương 33 pháp phún xạ laser, ta sử dụng bia gốm ZnO chứa Ga Al theo lỷ lệ Nhóm Sang-Moo PARK ñã tiến hành chế tạo màng ZnO: Al phương pháp phún xạ laser cho ñiện...

84
136
0

Nghiên cứu chế tạo màng ZnO pha tạp

Ngày tải lên : 12/04/2013, 16:07

... nhất: pha tạp vào màng donor Al cách chọn nồng độ pha tạp Al3+ để thay cho Zn2+ cho tỉ lệ pha tạp không phá vỡ cấu trúc ZnO thông qua trình khảo sát thơng số chế tạo như: hàm lượng pha tạp, chế ... 36 Phương pháp chế tạo màng ZnO: Al 1.1 Tiến trình thực nghiệm Màng dẫn điện suốt chế tạo phương pháp Sol-gel với mục đích ứng dụng vào linh kiện quang – điện đòi hỏi phải có tính chất sau: màng ... tài: Màng mỏng ZnO: Al nghiên cứu từ nhiều thập niên qua với nhiều phương pháp chế tạo khác nhau: phún xạ, lắng đọng hóa học (CVD), phun nhiệt phân Sol-gel…[18] Mỗi phương pháp có đặc thù riêng, màng...

100
1.6K
1

Báo cáo khoa học: Ảnh hưởng của sự pha tạp Ga lên tính chất điện của màng ZnO tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron docx

Ngày tải lên : 27/06/2014, 13:20

... ủ màng lên tính chất điện phụ thuộc nhiều vào phương pháp tạo màng chế dẫn điện màng Chúng tơi tạo màng ZnO- Ga có điều kiện tạo màng khác nhiệt độ ủ màng là: nhiệt độ phòng, 300oC chân khơng màng ... nhiệt độ xử lí mơi trường khơng khí ZnO- Al (đường cong số 4) [1] TẠP CHÍ PHÁT TRIỂN KH&CN, TẬP 10, SỐ 03 - 2007 KẾT LUẬN Màng ZnO- Ga tạo phương pháp phún xạ magnetron có điện trở suất khoảng 4-5 ... Cơ chế dẫn điện màng chủ yếu hạt tải tự sinh pha tạp donor hình thành lỗ trống oxy Màng ZnO- Ga dẫn điện chủ yếu tạp chất donor, nên không bị ảnh hưởng nhiệt độ ủ khơng khí Trong đó, màng ZnO- Al...

5
415
0

nghiên cứu chế tạo màng mỏng ZnO loại P bằng phương pháp phún xạ Magnetron

Ngày tải lên : 18/03/2013, 11:49

... màng ZnO pha tạp N từ bia gốm Màng ZnO pha tạp N chế tạo phương pháp phún x magnetron phản ứng RF đế thủy tinh corning 7059 Các bia ZnO, AZN, GZN đư ợc dùng làm bia phún xạ Và khí phún xạ khí hay ... 58 83 c Màng ZnO đồng pha tạp N-Ga Ngoài việc tạo màng ZnO đồng pha tạp N-Al, tiến hành tạo màng ZnO đồng pha tạp N-Ga từ bia gốm GZO Kết thu số màng có tính dẫn loại p Mẫu Khí phún xạ GZ1 40%N2 ... B.Yao, màng mỏng ZnO: N chế tạo phương pháp phún xạ magnetron RF điều kiện nhiệt độ 510K đế thạch anh xác định cấu trúc phương pháp nhiễu xạ tia X Hình 2.5 Phổ nhiễu xạ ZnO Hằng số mạng tinh thể ZnO: N...

7
1.8K
20

Tài liệu Báo cáo " Nghiên cứu chế tạo màng sinh học Hydroxyapatite (HA) bằng phương pháp Sol- Gel trong môi trường etanol" pdf

Ngày tải lên : 26/02/2014, 19:20

... HA bi phan hiiy mot phin thinh tricanxi phdt phat theo phan ti'ng sau Ca,o(P04)5(OH)2 -^ 2Ca3(P04)2 -I- Ca4P20, -i- H2O Ty so Ca/P bi giim mot phin thieu kit mang HA tdng hgp bing phucmg phap ... phap sol-gel mdi trudng etanol vdi cac ky thuat dugc trinh bay chi tilt cdng trinh d phin tren Mang HA chi tao dugc cd kfch thudc tinh the 50nm, cd phan gin nhu 100% la HA, cac hat tinh the phan ... kich thudc rit nhd Khi ap dung cdng thirc gin diing ciia Scherrer [10] chiing ta cd the tfnh dugc tinh the HA cd kfch thudc gin nm V D Hoawen [11] ciing tdng hgp dugc tinh the cd kfch thudc mot...

4
789
4

Báo cáo khoa học: Nghiên cứu chế tạo màng mỏng Al2O3 bằng phương pháp phún xạ Magnetron RF potx

Ngày tải lên : 27/06/2014, 10:20

... No.03 - 2009 Bài viết trình bày việc nghiên cứu chế tạo màng mỏng Al2O3 phương pháp phún xạ magnetron rf chuyển pha xử lý nhiệt sau Màng phún xạ phản ứng từ bia nhôm kim loại mơi trường hỗn hợp ... suất màng mỏng thực với phương pháp khác ta thấy có phù hợp tốt Chiết suất màng cao màng bốc bay phản ứng thấp phương pháp FCVA Technique Bulk (bảng 01) Bảng 1.Chiết suất màng Al2O3 với phương pháp ... 1.Chiết suất màng Al2O3 với phương pháp tạo màng khác [26 ] Phương pháp Chiết suất 550 nm Phương pháp Chiết suất 550 nm Bốc bay 1.5 Phún xạ phản ứng 1.68 Phún xạ chùm ion 1.65 Hai chùm tia ion 1.62...

11
791
0