Tài liệu hạn chế xem trước, để xem đầy đủ mời bạn chọn Tải xuống
1
/ 134 trang
Thông tin tài liệu
... Đề tài: ? ?Nghiên cứu chế tạo màng mỏng silic cấu trúc nano dùng thiết bị chuyển đổi lượng quang- điện” Hình 4- 13 Quy trình chế tạo lớp màng mỏng silic vơ định hình, silic tinh thể micro nano ... Mậu Chiến - PTN CN Nano (LNT) - ĐHQG TP HCM Đề tài: ? ?Nghiên cứu chế tạo màng mỏng silic cấu trúc nano dùng thiết bị chuyển đổi lượng quang- điện” 4.1.1 Tốc độ chế tạo màng mỏng silic 94 4.1.2... CN Nano (LNT) - ĐHQG TP HCM 10 Đề tài: ? ?Nghiên cứu chế tạo màng mỏng silic cấu trúc nano dùng thiết bị chuyển đổi lượng quang- điện” MỞ ĐẦU A Tình hình chung hướng nghiên cứu đề tài Hiện silic màng