... kế, chế tạo thử nghiệm cấu trúc cảm biến đo độ nghiêng điện tử kiểu điện dung cấu hình hai pha lỏng – khí Cảm biến đề xuất bao gồm cấu trúc tụ ba điện cực với lớp điện mơi có hai pha: khơng khí. .. mạch điện xử lý tín hiệu cảm biến góc nghiêng điện tử kiểu điện dung ba cực cấu trúc vi sai 38 Hình 4.8: Cảm biến góc nghiêng điện tử hai pha lỏng – khí 39 Hình 4.9: Cảm biến góc nghiêng. .. NGHIÊNG ĐIỆN TỬ CẤU TRÚC HAI PHA LỎNG – KHÍ 25 3.1 Cấu trúc cảm biến góc nghiêng kiểu tụ 25 3.2 Mô hoạt động cảm biến COMSOL 28 CHƯƠNG 4: CHẾ TẠO, ĐO ĐẠC THỬ NGHIỆM CẢM BIẾN ĐO GÓC