... sử dụng, rung động siêu âm chia thành hai nhóm lớn siêu âm cơng suất thấp siêu âm cơng suất lớn (còn gọi tắt siêu âm công suất) Rung động siêu âm công suất thấp rung động tạo sóng siêu âm truyền... quan rung động siêu âm trợ giúp gia công 17 2.1 Nguyên tắc tạo rung động siêu âm 17 2.1.1 Rung động siêu âm 17 2.1.2 Siêu âm công suất 18 2.1.3 Nguyên tắc tạo rung. .. tốn, thiết kế chế tạo thành cơng thiết bị đầu rung siêu âm cho q trình tiện lỗ làm sở cho việc phát triển ứng dụng rung động siêu âm gia công tiện côn, phay, mài… nước; tạo thiết bị gia cơng siêu