TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI KỸ THUẬT ĐO LƯỜNG VÀ CẢM BIẾN TÌM HIỂU SENSOR PIEZOELECTRIC MICROPHONES 2510M4A Hà Nội, tháng 4/2012 Piezoelectric microphones 2510M4A I Sơ lược âm Âm dao động học (biến đổi vị trí qua lại) nguyên tử, phân tử hay hạt làm nên vật chất lan truyền môi trường vật chất sóng Âm đặc trưng tần số, bước sóng, chu kỳ, biên độ vận tốc lan truyền (tốc độ âm thanh) Đối với thính giác người, âm thường dao động, dải tần số từ khoảng 16 Hz đến khoảng 20 kHz, phân tử không khí, lan truyền không khí, va đập vào màng nhĩ, làm rung màng nhĩ kích thích não Sóng âm Sóng âm sóng dọc truyền qua môi trường rắn lỏng khí có tần số vùng nghe Vận tốc sóng âm Sóng âm sóng cơ, nên phụ thuộc vừa vào quán tính môi trường (để dự trữ động năng), vừa vào tính đàn hồi môi trường (để dự trữ năng) v= tinh _ dan _ hoi = quan _ tinh B ρ ∆p : modul khối môi trường, xác định tính thay đổi thể tích V ∆V / V phần tử môi trường áp suất p (lực đơn vị diện tích) thay đổi ρ : Khối lượng riêng môi trường Trong không khí nhiệt độ 20°C tốc độ âm 343m/s; nước 1482m/s B=− Phương trình sóng âm Độ dịch chuyển dọc s phần tử khối lượng môi trường sóng âm gây là: s = S m cos(kx − wt ) S m :biên độ âm (dịch chuyển cực đại từ vị trí cân bằng) 2π vàω = 2π f : λ vàf bước sóng tần số sóng âm λ T = 1/ f : chu kì sóng âm Độ biến thiên áp suất môi trường sóng âm gây ra: k= ∆p = ∆pm sin(kx − ωt ) Trong đó, biên độ áp suất ∆pm = (v ρω ) Sm Cường độ âm Cường độ âm I sóng âm tốc độ trung bình mà sóng âm truyền lượng qua đơn vị diện tích xác định bằng: I= ρ vω S m2 (W/m2) Với âm chuẩn (tần số f = 1000Hz) tai người nghe âm từ 10 −12 ÷ 10W / m I Mức cường độ âm theo dexiben β = (10dB) log I , −12 Trong đó, I = 10 W / m cường độ âm chuẩn Như vậy, cường độ tăng lên 10 lần mức cường độ âm công thêm 10dB Các đặc trưng sinh lí âm Độ cao: tai người cảm thụ, độ cao âm phụ thuộc vào tần số âm Tần số cao âm cao Tai người cảm nhận âm tần số từ 16 đến 20000 Hz f < 16Hz: hạ âm f > 20 000Hz: siêu âm Độ to: Cảm giác âm to hay nhỏ Độ to âm phụ thuộc vào biên độ dao động tần số âm, phụ thuộc vào cường độ âm hay mức cường độ âm Để phân biệt độ to hai âm độ chênh lệch mức cường độ âm chúng 1dB Âm sắc: Sắc thái riêng âm nguồn âm phát Dùng phân biệt âm tần số Giao thoa cộng hường Giao thoa hai sóng âm kết hợp tượng làm tăng cường hay suy giảm biên độ sóng âm điểm môi trường mà hai sóng truyền qua Cộng hưởng tượng biên độ đạt cực đại xảy tần số dao động riêng tần số ngoại lực cưỡng II Các thông số cảm biến Piezoelectric microphone 2510M4A sensor Cấu tạo hình học cảm biến Các đặc trưng biên độ-tần số nhiệt độ Cảm biến 2510M4A microphone đo tiếng ồn âm cường độ cao biến động áp suất thấp Cấu tạo kín phạm vi nhiệt độ hoạt động rộng từ -67 ° F đến 500 ° F (-55 ° C đến 260 ° C) làm cho cảm biến hữu ích phạm vi rộng điều kiện môi trường, bao gồm cảm nhận với thay đổi độ cao, cảm biến có bù rung động kết hợp vào phần tử cảm biến Microphone thiết bị tự tạo nguồn mà không đòi hỏi nguồn điện bên Thông số Tính chất động Dải đo Độ nhạy Đơn vị dB SPL[1] pC[2] rms / 140 dB SPL 100 to >180 31 Tần số cộng hưởng Dải thông 1dB 3dB Hạ tần giới hạn (-3 dB) Đáp ứng biên độ Đáp ứng nhiệt độ Độ tuyến tính 120 to 164 dB SPL Tính chất điện Điện trở Điện dung Thế không Tính chất môi trường Dải nhiệt độ làm việc Độ ẩm Độ rung động Tới 2kHz Giới hạn rung điều hòa Giới hạn sốc Đặc trưng vật lý Kích thước Đường kính Trọng lượng Vật liệu Kết nối Momen xoắn Hiệu chuẩn Cung cấp Độ nhạy pC rms/psi [3] pC rms/N/m2 [4]hoặc (mV/Pa) dB re pC rms /1 μbar kHz Hz 1069 0.155 -33.1 30 to 4kHz to 10kHz 20 000 5200 ◦F (◦C) -67 to +500 -55 to +260 Hàn kín Output of unit at 105dB SPL/ 1g pk g pk [5] g pk Inch[6] g(oz)[7] Mates Endevco 3000 Series Cables Nm 150 1000 Hình vẽ 0.816 57(2.0) Thép không gỉ Cáp đồng trục, loại 10-32 pC/pk / 140 dB SPL pC/rms /140 dB SPL [1] dB SPL = 0.0002 μbar (dynes/cm2 ) = 20x10-6 N/m2 = 20 μPa [2] 1pC=1mV [3] 140 dB SPL = 2.9x10-2 psi [4] 140 dB SPL = 200 N/m2 [5] 1gpk = g peak [6] 1Inch = 2.54cm [7] 1oz = 28.34952 g (Ounce) Mô hình cảm biến 2510M4A có màng dày để ngăn ngừa đánh thủng thiệt hại hạt tác động, xử lý sai số ngẫu nhiên, xung áp suất cao Cách điện đầu dò bề mặt gắn kết nhằm ngăn chặn việc dữ liệu mất mát truyền xuống đất Mô hình 2510M4A thiết kế chủ yếu để hoạt động vào khuếch đại Cáp dài sử dụng kết nối đầu dò chuyển đổi mà không ảnh hưởng đến độ nhạy Mặc dù sở thiết kế hướng vào việc tối đa hóa thay đổi đặc tính, Mô hình 2510M4A cho kết tuyệt vời hoạt động vào khuếch đại điện áp Model 2510M4A, với chi tiết kỹ thuật điện giống hệt với mô hình Model 2510, cung cấp lắp đặt đặc biệt cho màng chắn phẳng ứng dụng khác III Nguyên lý làm việc Mô hình khí tương tự microphone Hiệu ứng áp điện (Piezoelectric) Hiệu ứng áp điện tượng xuất phân cực điện thay đổi phân cực điện có số chất điện môi tự nhiên(thạch anh, tuamalin ) nhân tạo (sulfat liti, thạch anh tổng hợp) chúng bị biến dạng tác dụng lực có chiều định Hiệu ứng áp điện hiệu ứng thuận nghịch Dưới tác dụng lực điện trường có chiều thích hợp, vật liệu áp điện bị biến dạng Đặc biệt vật liệu áp điện đạt tới trạng thái cộng hưởng cao Nó máy biến đổi trực tiếp từ lượng điện sang lượng học ngược lại Nếu theo chiều hướng thuận, có nghĩa tác dụng lực lên vật sinh điện ngược lại áp điện nghịch : tác động hiệu vào vật sinh công biến dạng làm biến đổi lực Một vật cấu tạo ba yếu tố PZT (chì Pb, zorconi, titan ) có tính chất áp điện Cảm biến áp điện loại thiết bị áp dụng hiệu ứng để xác định lực đại lượng gây nên lực tác dụng vào vật áp điện (như áp suất, gia tốc, ) thông qua việc đo điện áp hai cực vật liệu Vật liệu áp điện thuận có cấu trúc đối xứng tinh thể Trong tất chất điện môi, điện trường tác dụng gây nên dịch chuyển điện tích liên kết khỏi vị trí cân chúng Sự xuất thay đổi momen lưỡng cực xảy đồng thời với thay đổi kích thước Ví dụ với tinh thể thạch anh Hình mạng tinh thể thạch anh: Khi ứng lực, trọng tâm G + G- điện tích âm dương trùng momen lưỡng cực không Nếu có tác dụng lực lên cấu trúc, cấu trúc bị biến dạng trọng tâm G + điện tích dương G- điện tích âm không trùng dẫn tới xuất momen lưỡng cực điện tích bề mặt, hiệu ứng áp điện Công thức liên hệ: giả sử tiếng ồn sinh lực F tác dụng vào diện tích S Khi đó: điện tích lực F sinh là: Q = kF , k số điện áp Điện dung tụ: C = ε ab Q kFc Từ điện áp sinh là: U = = c C ε ab Vật liệu áp điện thạch anh, họ gốm PZT có công thức chung PbTi1-xZrxO3 giá trị x thường sấp xỉ 0.5, định tính chất vật lý, tính chất nhiệt vật liệu Công nghệ loại Microphone Như thấy từ phương trình sóng, trường âm mô tả đầy đủ cần đo lường áp suất Điều có nghĩa tất thông số âm khác xác định từ đo lường áp lực, thực tế, thường có áp lực tham số đo dễ dàng Các cảm biến micro đo lường âm thiết kế chủ yếu dựa đo lường áp lực Nguyên Lý Hoạt Động Khi đối tượng rung môi trường không khí, phân tử không khí bề mặt bắt đầu rung động, rung phân tử lân cận bên cạnh chúng Rung động di chuyển thông qua không khí áp lực dao động, tần số biên độ xác định chất âm nguồn Màng nhĩ người chuyển dao động áp lực âm thành tín hiệu điện phân tích não Ví dụ âm nhạc, lời nói, tiếng ồn,vv Micro 2510M4A thiết kế giống tai người, để biến đổi dao động áp lực thành tín tương tự, ghi lại phân tích cho biết thông tin nguồn gốc rung động chất môi trường truyền âm từ đầu microphone Áp lực âm được phân tích ở giai đoạn thiết kế không chỉ để bảo vệ những phần quan xung quanh nó mà còn lưu trữ để ta còn phân tích nó Giống tai người, microphone được thiết kế để đo lường giải lớn về biên độ, những đơn vị đặc trưng : dB, Hz Ví dụ microphone Elictrical connector : đầu Shrink tubing grooves : thu nhỏ ống rãnh IC amplifier : IC khuếch đại Element lead : yếu tố dẫn Seal surface : bề mặt bị ẩn dấu ( bề mặt niêm phong ) Preload screw : vít tải trước Quartz crystal : thạch anh tinh thể Electrode : điện cực End piece : đoạn cuối Diapphragm : Màn chắn Nguyên lý chung: Khi có âm tới microphone đồng nghĩa với áp lực âm gây tra cho vật liệu áp điện micro sinh hiệu điện áp điện có giá trị tỉ lệ thuận với áp lực âm thanh, đồng nghĩa với tỉ lệ thuận với cường độ âm Trên sở tuyến tính đo hiệu điện đầu cảm biến ta biết cường độ âm Các loại cảm biến Với cảm ứng microphone chế tạo theo phương pháp cảm biến theo kiểu điện dung cảm biến theo kiểu điện trở + Với cảm biến microphone điện dung (dùng tụ điện) Bộ tụ điện cho micro hoạt động dựa thiết kế điện dung Hai cực tụ điện làm thạch anh, quartz, tourmaline, lithium sulfat…phát sinh điện áp chịu áp lực Vỏ tụ điện dùng cho micro sử dụng nguyên tắc dẫn truyền chuyển đổi áp lực âm thành biến thể điện dung , mà sau chuyển đổi sang điện áp điện Chế tạo tụ điện cách phủ hai cực lên hai mặt đối diện phiến áp điện mỏng tác dụng lực lên hai cực hai cực xuất điện tích trái dấu Hiệu điện hai tụ tỉ lệ thuận với lực tác dụng Cách ghép nối áp điện: Trong nhiều trường hợp áp điện ghép thành theo cách ghép nối tiếp song song Khi ghép song song điện dung cảm biến tăng gấp ghép nối tiếp điện áp hở mạch trở kháng tăng gấp đôi điện dung giảm xuống + Với cảm biến microphone điện trở Nguyên lý hoạt động: Khi vật dẫn chịu biến dạng học mà điện trở thay đổi, tượng gọi hiệu ứng áp trở Cảm biến có nguyên lý hoạt động dựa tượng gọi cảm biến áp trở Có nghĩa điện trở bị thay đổi điện trở có lực tác dụng điện trở dùng làm cảm biến áp trở Ta có ε R = ε l (1 + 2k p + m) = K ε l Trong đó: K độ nhạy cảm biến áp trở Với vật liệu lỏng k p = 0.5, bỏ qua hệ số m K=2 Với kim loại k p = 0.2 ÷ hệ số K = 0.5 ÷ Với chất bán dẫn quan hệ ρ σ thể qua biểu thức: ε p = k1σ = k1Eε1 = mε1 Với k1: hệ số; E: modul đàn hồi Do hệ số m lớn nên k =100 ÷ 200 điều kiện bình thường Cảm biến áp trở chia làm loại áp trở kim loại áp trở bán dẫn Cảm biến áp trở kim loại: loại cảm biến phân thành dây mảnh, mỏng màng mỏng Cảm biến áp trở dây mảnh gồm dây điện trở uốn hình lược, dây có đường kính từ 0.02 ÷ 0.03mm hai đầu dây hàn với đồng Berin đồng phốt để nối với mạch đo Hai phía dán hai giấy mỏng cỡ 0.1mm nhựa polime để cố định hình dáng dây Chiều dài L = nl0 với n=10 ÷ 20 L0 chiều dài đoạn dây, n: số đoạn dây Điện trở dây R=10 ÷ 150 Ω Cảm biến áp trở mỏng: mỏng có độ dày từ ÷ 12 µ m làm từ hợp kim constantan, chế tạo theo phương pháp ăn mòn quang học độ nhạy cao Cảm biến áp trở màng mỏng: chế tạo phương pháp bốc kim loại có độ nhạy cao bám vào khung có hình dáng định trước có độ nhạy cao Cảm biến áp trở bán dẫn: Loại cảm biến chế tạo từ chất bán dẫn silic, gecman, asenua… Cảm biến áp trở chia làm loại loại cắt loại khuếch tán a loại cắt Là mẫu cắt từ đơn tinh thể pha tạp mẫu cắt gắn lên đỡ nhựa, có chiều dài từ 0.1 ÷ 5mm độ dày 10−2 mm b loại khuếch tán Điện trở tạo nên cách khuếch tán tạp chất Sb, Ga,… vào phần đế đơn thể Silic pha tạp.Tùy theo loại táp chất khuếch tán mà ta có áp trở loại N hay loại P Nguyên lý: Bình thường điện tử phân bố tinh thể bán dẫn nhau, độ dẫn điện không thay đổi Khi bị biến dạng điện tử phân bố tinh thể bán dẫn bị thay đổi đo độ dẫn điện thay đổi điện trở bị thay đổi theo Tín hiệu đầu micro mày bé nên cần cho qua khuếch đại trước cho vào vi điều khiển xử lý hiển thị LCD Trong qúa trình đo biên dạng ứng lực cần quan tâm đến số khâu chọn vị trí, làm mát Khi ứng lực theo hướng đó, cảm biến dán theo hướng tác động ứng lực IV Thiết kế mạch đo Sơ đồ khối V Ứng dụng thực nghiệm Thử nghiệm (đo lường) âm thực cho loạt lý khác nhau, từ việc thiết kế sản phẩm mới, sản phẩm giám sát, đến chức bảo trì tiên đoán, bảo vệ cá nhân Một số ứng dụng điển hình microphone là: + Sử dụng Microphone nghiên cứu thiết kế sản phẩm: Do áp suất âm mức gây thiệt hại cho sản phẩm tai người Vì microphone sử dụng để đo lường mức độ áp lực âm tác dụng bề mặt Áp suất âm làm bong thạch cao khỏi tường, gây thiệt hại cho cánh máy bay… Đo lường âm sử dụng loạt ứng dụng bao gồm: nghiên cứu tiếng ồn đóng mở cửa, cam ly hợp, tác động khởi động Phân tích tiếng ồn động cabin nội thất xe hơi, âm từ thiết bị tiêu dùng thử nghiệm để kéo dài tuổi thọ sản phẩm giữ cho thoải mái người sử dụng + Cảm biến âm dùng cho giám sát y tế tự động: Bộ cảm biến âm hình cần có phần mềm cài đặt máy tính Phần mềm hệ thống phân tích âm Nhiệm vụ dò tìm tình nguy hiểm dựa vào phân tích âm Tình nguy hiểm tình bệnh nhân bị ngã, bị đau, bị ốm Nhiệm vụ hệ thống phân tích âm đặt dựa vào nhận xét sau đây: Khi bị ngã, bệnh nhân làm đổ bàn ghế, đánh rơi cốc chén; bị đau kêu rên; bị ốm ho, thở dốc Những âm kể có khả đại diện cho tình nguy hiểm Nói cách khác, có âm nhiều khả có (những) tình nguy hiểm Như nhiệm vụ hệ thống phân tích âm dò tìm âm gửi tín hiệu cảnh báo Các âm gọi âm bất thường Những âm bình thường bao gồm tiếng động phòng tiếng nói Hoạt động hệ thống mô tả lưu đồ hình + Microphone sử dụng với mục đích bảo trì dự phòng: ta sử dụng micro để đo lượng tăng cường mức độ âm thay đổi tần số để kiểm tra liệu sản phẩm có hoạt động bình thường hay không Động cơ, bánh răng, vòng bi, lưỡi, thành phần công nghiệp khác có thay đổi mức cường độ âm thay đổi tần số không làm việc Micro độ xác cao sử dụng để xác nhận sản phẩm gặp vấn đề, dùng để dự đoán độ sai lệch thành phần sản phẩm + Ứng dụng kiểm tra hiệu chỉnh âm thanh: Các trường Đại học, phủ công ty độc lập có thiết bị kiểm tra âm để thực kiểm tra dự án nghiên cứu thính giác Các micro sử dụng để kiểm tra hiệu chỉnh hệ thống để đảm bảo tính xác thiết bị kiểm tra + Microphone sử dụng để biểu diễn ghi âm lại để xác minh mức độ áp lực lên sản phẩm qua đảm bảo tiêu chuẩn tiếng ồn cửa hàng, kho hàng siêu thị + Phân tích độ ô nhiễm tiếng ồn - Có số mức độ áp lực âm mà tai người chịu đựng lượng thời gian định trước tai người bị gây hại Một vài số tiếng ồn công nghiệp, sân bay, tiếng ồn đường cao tốc ô tô Thử nghiệm âm thực để đạt hiểu biết tốt mức độ âm có môi trường xung quanh, điều chỉnh cần thiết để cung cấp tốt để bảo vệ người + Nhiều kênh thử nghiệm: Số lượng Microphone sử dụng kĩ thuật toàn ảnh âm đồ áp lực ngày tăng Mạng lưới microphone thiết lập để nói lên khác biệt áp lực âm điểm khác xung quanh động hay lốp xe không gian đó.Một số ứng dụng bao gồm giám sát hoạt động địa chấn, theo dõi vệ tinh xác định nguồn tiếng ồn ô tô công nghiệp Micro sử dụng để chuyển đổi thông tin 2chiều áp lực âm phức tạp thành lĩnh vực âm chiều, sử dụng phương trình sóng bản, biết cường độ bề mặt mẫu xạ Micro mảng, micro Loại trường, thiết kế để cung cấp giải pháp hiệu để đo lường nhiều kênh âm Kết luận Âm đặc trưng thường xuyên xuất đời sống ngày Dựa đặc trưng sóng âm, chủ yếu áp lực âm thanh, loại cảm biến đo âm chế tạo nhằm đánh giá, định lượng loại âm khác để phân biệt chúng 2510M4A loại cảm biến đo áp suất tiếng ồn âm cường độ cao (từ 100 đến 180 dB SPL) với độ xác ổn định tương đối Cảm biến hoạt động dải nhiệt độ rộng từ -55 đến 260◦C, phù hợp với nhiều điều kiện khác môi trường xung quanh Nguyên lý chủ yếu loại cảm biến dựa hiệu ứng áp điện Cùng với phát triển kỹ thuật điện tử (như mạch khuếch đại, cáp truyền dẫn, ) vi điều khiển, nhiều ứng dụng sử dụng để thiết kế mạch đo cho loại cảm biến này, nâng cao độ xác đại lượng hiển thị Nghiên cứu cảm biến microphones có nhiều khả ứng dụng thực tế tương lai có triển vọng tiếp tục phát triển nhiều Tài liệu tham khảo Piezoelectric Microphone Model 2510M4A- Datasheet The Measurement_ Instrumentation and Sensors Handbook Giáo trình đo lường điện cảm biến đo lường_Nguyễn Văn Hòa Các cảm biến kỹ thuật đo lường điều khiển- Lê Văn Doanh The microphones book handbook of modern sensors physics designs and application [...]... các cảm biến microphones có nhiều khả năng ứng dụng trong thực tế và tương lai có triển vọng tiếp tục phát triển nhiều hơn Tài liệu tham khảo 1 Piezoelectric Microphone Model 2510M4A- Datasheet 2 The Measurement_ Instrumentation and Sensors Handbook 3 Giáo trình đo lường điện và cảm biến đo lường_Nguyễn Văn Hòa 4 Các bộ cảm biến trong kỹ thuật đo lường và điều khiển- Lê Văn Doanh 5 The microphones book... có khả năng đại diện cho các tình huống nguy hiểm Nói cách khác, nếu có các âm thanh này thì nhiều khả năng là đã có (những) tình huống nguy hiểm Như vậy nhiệm vụ của hệ thống phân tích âm thanh là dò tìm các âm thanh đó và gửi tín hiệu cảnh báo Các âm thanh này được gọi là các âm thanh bất thường Những âm thanh bình thường bao gồm các tiếng động trong phòng và tiếng nói Hoạt động của hệ thống này được... một lượng thời gian nhất định trước khi tai người bị gây hại Một vài trong số này là tiếng ồn công nghiệp, sân bay, và tiếng ồn đường cao tốc ô tô Thử nghiệm âm thanh được thực hiện để đạt được một sự hiểu biết tốt hơn về các mức độ âm thanh có trong các môi trường xung quanh, và những điều chỉnh cần thiết để cung cấp tốt hơn để bảo vệ mỗi người + Nhiều kênh thử nghiệm: Số lượng Microphone được sử dụng... ngày Dựa trên các đặc trưng của sóng âm, chủ yếu là áp lực âm thanh, các loại cảm biến đo âm thanh đã được chế tạo nhằm đánh giá, định lượng các loại âm thanh khác nhau để có thể phân biệt được chúng 2510M4A là một loại cảm biến đo áp suất tiếng ồn âm thanh cường độ cao (từ 100 đến 180 dB SPL) với độ chính xác và ổn định tương đối Cảm biến có thể hoạt động trong dải nhiệt độ rộng từ -55 đến 260◦C,... dụng + Cảm biến âm thanh dùng cho giám sát y tế tự động: Bộ cảm biến âm thanh như hình 1 cần có một phần mềm cài đặt trong máy tính Phần mềm đó là hệ thống phân tích âm thanh Nhiệm vụ chính của nó là dò tìm các tình huống nguy hiểm dựa vào phân tích âm thanh Tình huống nguy hiểm là tình huống bệnh nhân bị ngã, bị đau, bị ốm Nhiệm vụ của hệ thống phân tích âm thanh được đặt ra dựa vào những nhận xét sau... Instrumentation and Sensors Handbook 3 Giáo trình đo lường điện và cảm biến đo lường_Nguyễn Văn Hòa 4 Các bộ cảm biến trong kỹ thuật đo lường và điều khiển- Lê Văn Doanh 5 The microphones book 6 handbook of modern sensors physics designs and application ... ngoại lực cưỡng II Các thông số cảm biến Piezoelectric microphone 2510M4A sensor Cấu tạo hình học cảm biến Các đặc trưng biên độ-tần số nhiệt độ Cảm biến 2510M4A microphone đo tiếng ồn âm cường.. .Piezoelectric microphones 2510M4A I Sơ lược âm Âm dao động học (biến đổi vị trí qua lại) nguyên tử, phân tử hay... thị Nghiên cứu cảm biến microphones có nhiều khả ứng dụng thực tế tương lai có triển vọng tiếp tục phát triển nhiều Tài liệu tham khảo Piezoelectric Microphone Model 2510M4A- Datasheet The Measurement_