ĐẠI HỌ C Q U Ố C GIA HÀ NỘI T R Ư Ờ N G ĐẠI HỌC K H O A HỌC T ự N HIÊN Đ Ể TÀI XÂY DỰNG HỆ T 60 MÀNG BÁN Dấn BỒNG PHƯƠNG PHÁP PHUN TĨNH ĐIỆN IĩlIILDIN(ỉ a SYSTEM TO PREPARE SE M IC OND UC TIN G THIN FILMS USING T H E ELECTROSTATI C SPRAY PYROLYSIS T E C H N I Q U E MẴ SỐ: QT 01 - 02 Chủ trì đê tài: TS LÊ H Ổ N G HÀ H.' — • T' J,M■"Tií Tri;j Vi[*N N■~DT/ o c m HÀ NÔI - 2002 : B PH Ầ N CHÍNH CỦA BÁO CẢO M Ụ C LỤC trang I MỞ Đ Ầ U - 1.1 Giới thiệu phương pháp phun tĩnh đ i ệ n — Ưu việt phương pháp phun tĩnh đ iện - II PHƯƠNG PH ÁP P HUN TĨ N H Đ I ÊN 2.1 Sơ đồ khối nguyên lý hoạt đ ộ n g - 2.2 Các (lình liên quan đến tạo m n g 2.3 Ảnh hưởng số yếu tố lên chấl lượng m n g 2.3.1 Nguồn cao áp - 2.3.2 Kim p hun - -ọ 2.3.3 Hệ ESD cải tiến - 10 2.4 Giới thiệu hệ c h ế tạo I I III C H Ế TẠ O VÀ NG H IÊ N c ứ u M Ộ T s ố TÍNH CH ẤT CỦA M ÀN G Z n O 12 3.1 C h ế tạo - 12 3.2 Một số tính chất màng Z n O - í Nghiên cứu cấu trúc 12 3.2.2 Huỳnh quang mẫu Z n O 14 KKT L U Ậ N 14 TẢI L IỆ U T H A M K H Ả O 15 PHỤ L Ụ C 16 A BÁO CÁO TÓM TẮT ĐỂ TAI XẢY D Ụ N G H Ệ T Ạ O M À N G B Á N DAN B Ằ NG PH Ư Ơ NG PH ÁP PH UN T ĨN H ĐIÊN MẢ SỐ: QT 01 - 02 Chủ trì đ ê tài: TS LẼ HỒN G MA Cán bô p h ô i hop: PGS.TS N G U Y Ễ N N G O C LONG TS LÊ THỊ T H A N H BÌNH CN TRẦN VĨNH T H Ắ N G Mục tiêu nội (lung nghiên CÚÌI 1.1 Mục tiêu - Xây (lựng hộ chc lạo vật liệu băng phương pháp plum lĩnh điện - Chê tạo vật liệu màng mong bán dẫn, diện môi N g h i ê n c ứ u m ộ t sô t ín h clìâl VỘI lý cìm v;)t liệu c h ê tạo 1.2 Nội (lung - Tliiếl kê xây dựng hệ phun bãnsi plurơntỊ pháp phun linh điện cao áp đê chê tạo vậl liệu bán dẫn điện mòi L;il ráp không ché nhiệt dỏ Cliố lạo màng ZnO ZnO : E l , ZnO : In Nghiên cứu mội sô ván dế cua vật liệu chè tạo: + Ch ế độ lạo màntĩ + Câu í rúc tĩnh the cua màng ZnO + Tínli chất quang cùa màng ZnO Các kết đạt Hoàn thành ihiêl kê chê tạo hệ phun lình diện cao áp - Chè lạo màng ZnO Nghicn cứu mộl sò lính chái I I lie cua màng lướng đan luận van nhan cãu b o c o k h o a h ọ c lại: Hội n g h ị V ậ l iý C h ấ t ran t o n LỊIIóc hill - thứ III - Nhu Trang, - 10/X/200I hài báo uưi dăng tai tạp chí Physica Status Soliili 3 Tình hình kỉnh phí đề tỉii Kinh p h í cấp: 9.000.000 đ (chín Iriệu dồng Việt Nam) h Chi: Văn phòng phẩm T hu ê khoán chuyên môn T huê khoán lắp láp xfly dựng hệ v t lư, hoá chất Q uản lý hành Hội nghị, hội thảo, côn g lác phí 567.000 đ 4.000.000(1 2.081.000(1 R54.000cl 360.000(1 1.138.0UUd T ổn g cộng: 9.000.000 (1 (chín triệu đồng Việt Nam ) C l l ủ TRÌ ĐỂ TÀI (Ký V?1 ghi lõ liọ (cMi) XÁC NHẬN CỦA HAN CHÙ NHIỆM KHOA VẬT LÝ (Ký Víì ghi lõ liọ tên) Ọ \'M- ^ O ' ĩ s u ĩ ỉ ồng lì ■ì XÁC NHẬN CỦA TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA n ọ c T ự NHIÊN BR IE F O F T H E P R O J E C T B U IL D IN G A S Y S T E M TO P R E P A R E S E M I C O N D U C T I N G T H IN FIL M S U S I N G T H E E L E C T R O S T A T I C SPR A Y P Y R O L Y S I S T E C H N I Q U E T H E C O D E N U M B E R : Q T 01 - «2 The Coordinator: DR LE HONG HA The participants o f the project: ASSOC PROF DR N G U Y E N N G O C LONG DR L E T H I T H A N H BINII BSC T R A N VINI-I T H A N G Pur pose and contens and of the works 1.1 Purpose - Building an electrostatic spray deposition system and temperature controller system - Preparating thin films of semiconductors and insulators - Studying some physical properties of thin films deposited by ; electrostatic spray pyrolysis method 1.2 Contens - Building an elcclroslalic spray deposition system lor the preparation semiconducting and insulating thin films - Building a guide heater with temperature controller - Piepiiraling thill films ZnO - Sliuiyiim some properties of thin films deposited by an electrostalic spray pyrolysis method Activities and results - Building an electrostatic spray deposition system for the preparation of semiconducting and insulating thin films - Preparating and investigating some structural and optical properties of ZnO thin films - Training graduated s t u d e n t s for Materials science - The scientific work havs been reported in the Workshop: ” The 3rd National Workshop on Physics of Solid State, Nha Tranẹ August - , 2001” - The other one has been submitted to Journal of Physica Status Solidi  ... băng phương pháp plum lĩnh điện - Chê tạo vật liệu màng mong bán dẫn, diện môi N g h i ê n c ứ u m ộ t sô t ín h clìâl VỘI lý cìm v;)t liệu c h ê tạo 1.2 Nội (lung - Tliiếl kê xây dựng hệ phun. .. LỤC trang I MỞ Đ Ầ U - 1.1 Giới thiệu phương pháp phun tĩnh đ i ệ n — Ưu việt phương pháp phun tĩnh đ iện - II PHƯƠNG PH ÁP P HUN TĨ N H Đ I ÊN 2.1 Sơ đồ... plurơntỊ pháp phun linh điện cao áp đê chê tạo vậl liệu bán dẫn điện mòi L;il ráp không ché nhiệt dỏ Cliố lạo màng ZnO ZnO : E l , ZnO : In Nghiên cứu mội sô ván dế cua vật liệu chè tạo: + Ch