CÁC PHƯƠNG PHÁP THỰC NGHIỆM PHƯƠNG PHÁP BỐC BAY Lê Trấn NGƯỜI TRÌNH BÀY: Địa chỉ bạn đã tải: http://mientayvn.com/Cao%20hoc%20quang%20dien%20tu/Semina%20tren%20lop/seminar.html Địa chỉ bạn đã tải: http://mientayvn.com/Cao%20hoc%20quang%20dien%20tu/Semina%20tren%20lop/seminar.html Nơi bạn có thể thảo luận: http://myyagy.com/mientay/ Nơi bạn có thể thảo luận: http://myyagy.com/mientay/ Dịch tài liệu trực tuyến miễn phí: http://mientayvn.com/dich_tieng_anh_chuyen_nghanh.html Dịch tài liệu trực tuyến miễn phí: http://mientayvn.com/dich_tieng_anh_chuyen_nghanh.html Dự án dịch học liệu mở: http://mientayvn.com/OCW/MIT/Co.html Dự án dịch học liệu mở: http://mientayvn.com/OCW/MIT/Co.html Liên hệ với người quản lí trang web: Yahoo: thanhlam1910_2006@yahoo.com Gmail: frbwrthes@gmail.com Liên hệ với người quản lí trang web: Yahoo: thanhlam1910_2006@yahoo.com Gmail: frbwrthes@gmail.com [...]... tụ 4 Tinh thể hóa màng bằng các thông số quá trình 5 Phát triển thành màng liên tục Sự ảnh hưởng của chân không trong quá trình tạo màng 1 Quảng đường tự do trung bình của nguyên tử hơi tăng khi chân không tăng 2 Tạp của màng hay mức độ tạp giảm với chân không cao Nguồn bốc bay nhiệt chùm điện tử Nguồn bốc bay nhiệt chùm điện tử Tính chất của bốc bay chùm điện tử Phức tạp hơn bốc bay nhiệt nhưng đa... dụng nồi bốc bay với đáy bằng Cu Tốc độ lắng động 1 ÷ 10 nm/s Vật liệu bốc bay - Mọi thứ mà nhiệt điện trở sử dụng - Cộng với các kim loại sau: - Ni, Pt, Ir, Rh, Ti, V, Zr, W, Ta, Mo - Al2O3, SiO, SiO2, SnO2, TiO2, ZrO2 Ưu điểm của bốc bay chùm điện tử Có thể làm nóng chảy vật liệu mà không gây tạp bẩn Hợp kim có thể lắng đọng mà không gây phân ly Thích hợp cho bốc bay phản ứng Nguồn bốc bay nhiệt.. .Bốc bay nhiệt điện trở Giới hạn  Khó kiểm soát hợp chất  Bề dày màng không đồng đều  Khó lắng đọng những hốc sâu  Sự hình thành hợp kim với nguồn vật liệu  Tạp do khí nhã từ dây nhiệt điện trở  Không thích hợp cho bốc bay phản ứng Yêu cầu của hệ bốc bay Chân không ≤ 10-6 torr Nước giải nhiệt Nguồn đốt Buồng chân không Lá chắn kiểm soát thời gian bắt đầu và kết thúc Tốc độ bốc bay được... dòng cao hoặc thế cao 1 ÷ 10 KW Nguồn vật liệu làm nguồn nhiệt bốc bay Nguồn nhiệt Nhiệt độ nóng chảy(oC) W 3380 Ta 3000 Mo 2620 Graphit C 3700 BN 2500 Al2O3 2030 Các dạng nguồn nhiệt A B C E F G H D Các dạng nguồn nhiệt Bốc bay nhiệt điện trở Nó liên quan đến ngưng tụ hơi (e.g Au or Al ) trên một cái đế làm nguội Quá trình lắng đọng màng 1 Sự chuyển vật liệu bốc bay từ pha rắn sang lỏng rồi thành hơi... chùm điện tử Nguồn bốc bay nhiệt chùm điện tử Bốc bay chùm điện tử Substrate e-beam Flux Evaporant B Crucible e-gun  Súng điện tử sinh ra chùm điện tử 15 keV, động năng ở dòng điện cỡ 100 mA  Chùm điện tử bò lệch đi 270o bởi từ trường, B  Nguồn nhiệt nhận được có điểm nhỏ (~5mm) trong vật liệu bốc bay có công suất là 15 kV x 100 mA = 1.5 kW  Năng lượng này đủ làm nóng hầu hết các vật liệu trên 1000o... trên bề mặt Hấp thụ vật lý: Phân tử đập lên bề mặt mất động năng do biến thành nhiệt khi đònh xứ trên bề mặt, năng lượng của phân tử thấp hơn không cho phép nó vượt qua năng lượng ngưỡng cần để thoát ra khỏi bề mặt Hấp phụ hóa học Phân tử đập lên bề mặt, phản ứng hóa học để hình thành liên kết hóa học giữa nó với nguyên tử đế Ngưng tụ Phân tử bốc bay đập lên bề mặt có thể: Hấp phụ vật lý và dính vónh... l 2 ) 2 ρdensity d 1 = d o (1 + ( l ) 2 ) 2 h Me do = 2 πρh Nguồn phẳng Tốc độ lắng đọng G= m Z cos φ cos θ = cos φ cos θ (cm/s) 2 2 πρr πρr m: Khối lượng vật liệu bốc bay ρ: Mật độ (g/cm3) φ: Góc từ nguồn vuông góc với đế θ: Góc giữa dòng hơi và pháp tuyến với đế ... (phân tử/cm2.s) Dòng khối lượng đập lên một đơn vò diện tích bề mặt 1 2 3.513x10 p −2  M  Z=m = 5.833x10 p  ÷ (g/cm2.s) MT T 22 Nguồn điểm dMS: Khối lượng vật liệu lắng đọng trên diện tích giao giữa góc khối và mặt cầu Me: Khối lượng hơi vật liệu tòan phần lắng đọng trên mặt cầu Nguồn phẳng Nguồn điểm M e cos θ Meh Meh d= = = 2 3 4πr ρdensity 4πr ρdensity 4π(h 2 + l 2 ) ρdensity 3 d 1 = do (1 + . nên màng. Phương pháp PVD Lắng đọng hơi vật lý (PVD) Pha khí Pha khí Pha ngưng tụ (lỏng và rắn) Pha ngưng tụ (rắn) Bốc bay Chuyển Ngưng tụ  PVD types are:  Bốc bay  Nhiệt bốc bay  Bốc bay. màng hay mức độ tạp giảm với chân không cao Bốc bay nhiệt điện trở Nguon boỏc bay nhieọt chuứm ủieọn tửỷ Nguồn bốc bay nhiệt chùm điện tử Tính chất của bốc bay chùm điện tử Phức tạp hơn bốc bay.  Lắng động hơi vật lý (PVD) là quá trình màng mỏng vật liệu hình thành trên đế theo những bước sau: 1. Vật liệu cần lắng đọng, được chuyển thành hơi bởi phương tiện vật lý 2. Hơi được chuyển