MỤC LỤC DANH MỤC BẢNG BIỂU SỬ DỤNG TRONG LUẬN VĂN DANH MỤC HÌNH ẢNH SỬ DỤNG TRONG LUẬN VĂN DANH MỤC CÁC CHỮ VIẾT TẮT SỬ DỤNG TRONG LUẬN VĂN MỞ ĐẦU 1 Chương 1 CẢM BIẾN KHÍ MÀNG MỎNG OXIT KIM LOẠI 3 1.1 Giới thiệu 3 1.2 Nguyên lý hoạt động 5 1.3. Các đại lượng đặc trưng 8 1.3.1 Độ nhạy 8 1.3.2 Những yếu tố ảnh hưởng đến độ nhạy 11 1.3.3 Vật liệu ZnO ứng dụng làm cảm biến khí 13 1.3.4 Độ chọn lọc khí 15 1.4 Vật liệu ZnO 21 1.4.1 Tính chất chung của vật liệu ZnO 21 1.4.2 Sai hỏng hóa học trong tinh thể ZnO 24 1.4.3 Vật liệu ZnO ứng dụng làm cảm biến khí 25 1.4.4 Các kết quả nghiên cứu gần đây của nhóm về vật liệu ZnO thuần và pha tạp 26 Chương 2 TẠO MÀNG VÀ CÁC THIẾT BỊ 29 2.1. Nội dung thực nghiệm 29 2.2. Hóa chất và thiết bị 30 2.2.1. Hóa chất 30 2.2.2. Thiết bị 31 2.2.2.1 Máy siêu âm 31 2.2.2.2 Hệ phủ nhúng (dip coating) 31 2.2.2.3 Lò nung 32 2.2.2.4 Máy khuấy từ 32 2.3. Quy trình tạo màng 33 ~ ii ~ 2.3.1. Quy trình chế tạo dung dịch sol 33 2.3.1.1. Quy trình chế tạo dung dịch sol ZnO thuần 33 2.3.1.2. Quy trình chế tạo sol ZnO pha tạp 34 2.3.2. Tạo màng 36 2.3.2.1. Chuẩn bị đế 36 2.3.2.2. Phủ nhúng (dip - coating) 36 2.3.2.3. Nung mẫu 37 2.3.3. Phủ điện cực 37 2.4. Kỹ thuật phân tích mẫu 38 2.4.1. Xác định cấu trúc màng 38 2.4.2 Phân tích kích thước hạt bằng TEM 38 2.4.3 Khảo sát hình thái bề mặt màng bằng FE - SEM 39 2.4.4. Đo độ nhạy khí của màng 39 2.4.4.1. Xác định điện trở bề mặt màng 39 2.4.4.2. Đo độ nhạy khí của màng 39 Chương 3 KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN 41 3.1. Khảo sát tính nhạy khí của các mẫu ZnO với các loại tạp chất khác nhau (Co, Ni, Cr, Sb, Sn) 41 3.1.1 ZnO pha tạp Co (ZnO : Co) 41 3.1.1.1 Ảnh hưởng của nhiệt độ hoạt động và nồng độ pha tạp lên tính nhạy khí của các mẫu 41 3.1.1.2 Giới hạn nồng độ khí có thể đo được của màng 44 3.1.1.3 Thời gian đáp ứng và hồi phục 46 3.1.1.4. So sánh hoạt động của các mẫu 48 3.1.2 ZnO pha tạp Ni (ZnO : Ni) 50 3.1.2.1 Ảnh hưởng của nhiệt độ hoạt động và nồng độ pha tạp lên tính nhạy khí của các mẫu 50 3.1.2.2 Giới hạn nồng độ khí có thể đo được của màng 54 3.1.2.3 Thời gian đáp ứng và hồi phục 57 3.1.2.4 So sánh hoạt động của các mẫu 59 ~ iii ~ 3.1.3 ZnO pha tạp Cr (ZnO : Cr) 61 3.1.3.1 Ảnh hưởng của nhiệt độ hoạt động và nồng độ pha tạp lên tính nhạy khí của các mẫu 61 3.1.3.2 Giới hạn nồng độ khí có thể đo được của màng 64 3.1.3.3 Thời gian đáp ứng và hồi phục 66 3.1.2.4 So sánh hoạt động của các mẫu 67 3.1.4 ZnO pha tạp Sb (ZnO : Sb) 69 3.1.4.1 Ảnh hưởng của nhiệt độ hoạt động và nồng độ pha tạp lên tính nhạy khí của các mẫu 69 3.1.4.2 Giới hạn nồng độ khí có thể đo được của màng 72 3.1.4.3 Thời gian đáp ứng và hồi phục 73 3.1.4.4 So sánh hoạt động của các mẫu 75 3.1.5 Màng ZnO pha tạp Sn (ZnO : Sn) 76 3.1.5.1 Ảnh hưởng của nhiệt độ hoạt động và nồng độ pha tạp lên tính nhạy khí của các mẫu 76 3.1.5.2 Giới hạn nồng độ khí có thể đo được của màng 79 3.1.5.3 Thời gian đáp ứng và hồi phục 80 3.1.5.4 So sánh hoạt động của các mẫu 82 3.1.6 Khảo sát tính lọc lựa khí với các mẫu pha tạp ZnO với các kim loại khác nhau 83 3.1.6.1 Đối với mẫu nhạy khí rượu ethanol 84 3.1.6.2 Đối với mẫu nhạy khí aceton 85 3.1.6.3 Đối với mẫu nhạy khí rượu 2-propanol 87 3.1.6.4. Kết luận 89 3.2. Khảo sát cấu trúc của các mẫu ZnO pha tạp 90 3.2.1 Màng ZnO pha tạp Ni 91 3.2.1.1 Ảnh hưởng của nồng độ pha tạp lên cấu trúc màng 91 3.2.1.2 Ảnh hưởng của nồng độ pha tạp lên bề mặt màng 93 3.2.1.3. Tìm hiểu cơ chế nhạy khí aceton của màng 94 ~ iv ~ 3.2.2 Màng ZnO pha tạp Sn 95 3.2.2.1 Ảnh hưởng của nồng độ pha tạp lên cấu trúc màng 95 3.2.2.2 Ảnh hưởng của nồng độ pha tạp lên bề mặt màng 96 3.2.2.3 Tìm hiểu cơ chế nhạy khí rượu ethanol của màng 99 3.2.3 Màng ZnO pha tạp Cr 100 3.2.3.1 Ảnh hưởng của nồng độ pha tạp lên cấu trúc màng 100 3.2.3.2 Ảnh hưởng của nồng độ pha tạp lên bề mặt màng 102 3.2.3.3 Tìm hiểu cơ chế nhạy khí rượu 2-propanol của màng ZnO:Cr 103 KẾT LUẬN 105 DANH MỤC CÁC CÔNG TRÌNH ĐÃ ĐƯỢC CÔNG BỐ 108 TÀI LIỆU THAM KHẢO 110 PHỤ LỤC 1 117 TÍNH CHẤT VẬT LÝ VÀ TÁC HẠI CUA CÁC LOẠI DUNG DỊCH ĐƯỢC SỬ DỤNG TRONG BÀI 117 PHỤ LỤC 2 119 PHỔ XRD CỦA CÁC MẪU TRƯỚC KHI LỒNG GHÉP 119 ~ v ~ DANH MỤC BẢNG BIỂU SỬ DỤNG TRONG LUẬN VĂN Bảng 1.1. Ứng dụng của một số loại cảm biến phổ biến Bảng 1.2. Một số loại cảm biến khí rắn và các yếu tố vật lý thay đổi trong quá trình nhận biết khí Bảng 1.3. Một số tính chất của ZnO Bảng 1.4. Một số kết quả nghiên cứu về vật liệu nhạy khí ZnO Bảng 2.1. Hóa chất sử dụng trong luận văn Bảng 4.1. Kết quả tổng hợp ~ vi ~ DANH MỤC HÌNH ẢNH SỬ DỤNG TRONG LUẬN VĂN Hình 1.1. Sự hình thành vùng nghèo điện tích khi các hạt bán dẫn tiếp xúc với không khí Hình 1.2 Mô tả sự thay đổi điện trở của màng khi đặt trong môi trường khí cần dò Hình 1.3 Cấu tạo của cảm biến khí. Hình1.4 Mô hình biểu diễn kích thước hạt của màng nhạy khí lớn hơn độ rộng vùng nghèo (D>>2L SC ). Hình 1.5 Mô hình biểu diễn kích thước hạt tương đương với độ rộng vùng nghèo (D ≥ 2L SC ) Hình 1.6 . Mô hình biểu diễn kích thước hạt nhỏ hơn độ rộng vùng nghèo (D<2L SC ) Hình 1.7 Mô tả ảnh hưởng của kích thước hạt lên độ nhạy của màng Hình 1.8 Thời gian hồi đáp và thời gian hồi phục của màng pha tạp ZnO:Co nhạy khí rượu ethanol Hình 1.9. Biểu diễn độ nhạy của các loại khí khác nhau ở các nhiệt độ khác nhau Hình 1. 10 Hình ảnh cơ chế nhạy hóa học Hình 1.11 Đồ thị biễu diễn độ nhạy khí CH4 và khí CO với màng SiO2-Pt/Pd Hình 1.12 Sai hỏng trong tinh thể ZnO Hình 2.1. Máy siêu âm. Hình 2.2. Hệ tạo màng bằng phương pháp nhúng. Hình 2.3. Lò nung. Hình 2.4. Máy khuấy từ. Hình 2.5. Quy trình tạo dung dịch sol không pha tạp Hình 2.6. Quy trình tạo dung dịch sol pha tạp Hình 2.7 Giản đồ nâng nhiệt trong quá trình nung. Hình 2.8. Máy đo nhiễu xạ tia X Siemens Diffraktometer ~ vii ~ Hình 2.9 Thiết bị khảo sát bề mặt bằng FE SEM Hình 2.10 Hệ đo độ nhạy khí Hình3.1 Đồ thị độ nhạy khí aceton các mẫu theo nhiệt độ Hình 3.2 Đồ thị độ nhạy khí rượu ethanol các mẫu theo nhiệt độ Hình 3.3 Đồ thị độ nhạy khí rượu 2-propanol của các mẫu theo nhiệt độ Hình 3.4 Đồ thị độ nhạy các mẫu ZnO với nồng độ pha tạp Co khác nhau Hình 3.5 Đồ thị độ nhạy mẫu ZCo 1at% theo nồng độ khí ethanol qua mẫu đo ở250 0 C Hình 3.6 Đồ thị độ nhạy mẫu ZCo 1at% theo nồng độ khí acetone qua mẫu đo ở 250 0 C (a)Khi nồng độ khí qua mẫu thấp (từ 5ppm đến 50ppm) (b)Khi nồng độ khí qua mẫu cao (từ 50ppm đến 500ppm) Hình3.7 Đồ thị độ nhạy mẫu ZCo 3at% theo nồng độ khí 2- propanol qua mẫu đo ở 150 0 C Hình 3.8 Thời gian đáp ứng và hồi phục của mẫu ZCo 1at% đo ở 250 0 C với khí thử là rượu ethanol theo độ nhạy Hình 3.9 Thời gian đáp ứng và hồi phục của mẫu ZCo 1at% đo ở 250 0 C với khí thử là acetone theo độ nhạy Hình 3.10 Thời gian đáp ứng và hồi phục của mẫu Z Co3at% đo ở 150 0 C với nồng độ khí rượu 2- propanol qua mẫu là 300ppm Hình 3.11 Đồ thị so sánh độ nhạy giữa 3 khí của các mẫu ZnO : Co Hình 3.12 Đồ thị so sánh thời gian đáp ứng và hồi phục giữa 3 khí của các mẫu ZnO:Co Hình 3.13. Đồ thị độ nhạy khí aceton các mẫu theo nhiệt độ Hình 3.14 Đồ thị độ nhạy khí ethanol các mẫu theo nhiệt độ Hình 3.15 Đồ thị độ nhạy khí 2-propanol các mẫu theo nhiệt độ Hình 3.16 Đồ thị độ nhạy các mẫu ZnO với nồng độ pha tạp Co khác nhau Hình3.17 Đồ thị độ nhạy mẫu ZCo 1at% theo nồng độ khí acetone qua mẫu đo ở200 0 C Hình3.18 Đồ thị độ nhạy mẫu ZCo 1at% theo nồng độ khí ethanol qua mẫu đo ở250 0 C ~ viii ~ Hình3.19 Đồ thị độ nhạy mẫu ZCo 1at% theo nồng độ khí 2-propanol qua mẫu đo ở150 0 C Hình 3.20 Thời gian đáp ứng và hồi phục của mẫu ZNi 1at% đo ở 200 0 C với khí thử là khí acetone theo độ nhạy Hình3.21 Thời gian đáp ứng và hồi phục của mẫu ZNi 1at% đo ở 200 0 C với khí thử là khí ethanol theo độ nhạy Hình3.22 Thời gian đáp ứng và hồi phục của mẫu ZNi 1at% đo ở 150 0 C với khí thử là khí iso propanol theo độ nhạy Hình 3.23. Đồ thị so sánh độ nhạy giữa 3 khí của các mẫu Hình 3.24 Đồ thị so sánh thời gian hồi đáp và hồi phục giữa 3 khí của mẫu ZNi 1%at Hình3.25 Đồ thị độ nhạy khí acetone các mẫu theo nhiệt độ Hình3.26 Đồ thị độ nhạy khí ethanol các mẫu theo nhiệt độ Hình3.27 Đồ thị độ nhạy khí 2- propanol các mẫu theo nhiệt độ Hình 3.28 Đồ thị độ nhạy các mẫu ZnO với nồng độ pha tạp Co khác nhau Hình3.29 Đồ thị độ nhạy mẫu ZCo 1at% theo nồng độ khí ethanol qua mẫu đo 150 0 C Hình3.31 Thời gian đáp ứng và hồi phục của mẫu ZCr 4at% đo ở 150 0 C với khí thử là khí ethanol theo độ nhạy Hình3.32 Thời gian đáp ứng và hồi phục của mẫu ZCr 6at% đo ở 200 0 C với khí thử là khí 2-propanol theo độ nhạy Hình 3.33 Đồ thị so sánh độ nhạy giữa 3 khí của các mẫu Hình 3.34 Đồ thị so sánh thời gian hồi đáp và hồi phục giữa2 khí của các mẫu Hình3.35 Đồ thị độ nhạy khí acetone các mẫu theo nhiệt độ Hình3.36 Đồ thị độ nhạy khí ethanol các mẫu theo nhiệt độ Hình3.37 Đồ thị độ nhạy khí 2-propanol các mẫu theo nhiệt độ Hình 3.38 Đồ thị độ nhạy các mẫu ZnO với nồng độ pha tạp Sb khác nhau Hình 3.39 Đồ thị độ nhạy mẫu ZSb6at% theo nồng độ khí acetone qua mẫu đo200 0 C Hình 3.40 Đồ thị độ nhạy mẫu ZSb6at% theo nồng độ khí ethanol qua mẫu đo200 0 C ~ ix ~ Hình3.41 Đồ thị độ nhạy mẫu ZSb4at% theo nồng độ khí 2propanolqua mẫu đo 150 0 C Hình3.42 Thời gian đáp ứng và hồi phục của mẫu ZSb 6at% đo ở 150 0 C với khí thử là khí acetone theo độ nhạy Hình 3.43 Thời gian đáp ứng và hồi phục của mẫu ZSb 6at% đo ở 150 0 C với khí thử là khí ethanol theo độ nhạy Hình 3.44 Thời gian đáp ứng và hồi phục của mẫu ZCr 4at% đo ở 150 0 C với khí thử là khí 2- propanol theo độ nhạy Hình 3.45 Đồ thị so sánh độ nhạy giữa 3 khí của các mẫu Hình 3.46 Đồ thị so sánh thời gian đáp ứng và hồi phục giữa 3 khí của các mẫu Hình3.47 Đồ thị độ nhạy khí acetone các mẫu theo nhiệt độ Hình3.48 Đồ thị độ nhạy khí ethanol các mẫu theo nhiệt độ Hình3.49 Đồ thị độ nhạy khí 2- propanol các mẫu theo nhiệt độ Hình 3.50 Đồ thị độ nhạy các mẫu ZnO với nồng độ pha tạp Sn khác nhau Hình 3.51 Đồ thị độ nhạy mẫu ZSn 2at% theo nồng độ khí acetone qua mẫu đo 150 0 C Hình 3.52 Đồ thị độ nhạy mẫu ZSn 4at% theo nồng độ khí ethanol qua mẫu đo 150 0 C Hình 3.53 Đồ thị độ nhạy mẫu ZSn 2at% theo nồng độ khí iso propanol qua mẫu đo 150 0 C Hình 3.54 Thời gian đáp ứng và hồi phục của mẫu ZSn 2at% đo ở 200 0 C với khí thử là khí acetone theo độ nhạy Hình 3.55 Thời gian đáp ứng và hồi phục của mẫu ZSn 4at% đo ở 200 0 C với khí thử là khí ethanol theo độ nhạy Hình 3.56 Thời gian đáp ứng và hồi phục của mẫu ZSn 2at% đo ở 150 0 C với khí thử là khí iso propanol theo độ nhạy Hình 3.57 Đồ thị so sánh độ nhạy giữa 3 khí của các mẫu Hình 3.58 Đồ thị so sánh thời gian đáp ứng và hồi phục giữa 3 khí của các mẫu Hình 3.59 Đồ thị so sánh độ nhạy khí rượu ethanol của các mẫu pha tạp khác nhau theo nhiệt độ với lưu lượng khí 500ppm. ~ x ~ Hình 3.60 Đồ thị so sánhthời gian đáp ứng và hồi phục độ nhạy khí rượu ethanol của các mẫu pha tạp khác nhau Hình 3.61 Đồ thị so sánh độ nhạy khí aceton của các mẫu pha tạp khác nhau theo nhiệt độ với lưu lượng khí 500ppm. Hình 3.62 Đồ thị so sánh thời gian đáp ứng và hồi phục đối với khí aceton của các mẫu pha tạp khác nhau Hình 3.63 Đồ thị so sánh độ nhạy khí rượu 2-propanol của các mẫu pha tạp khác nhau theo nhiệt độ với lưu lượng khí 500ppm. Hình 3.64 Đồ thị so sánh thời gian đáp ứng và hồi phục đối với khí rượu 2-propanol của các mẫu pha tạp khác nhau Hình 3.65 Phổ XRD chuẩn của ZnO ở dạng khối. Hình 3.66 Phổ XRD của các mẫu ZnO:Ni với nồng độ pha tạp khác nhau Hình 3.67 Ảnh TEM mẫu ZnO pha tạp Ni với tỉ lệ (a) 0at% và (b) 1%at Hình 3.68 Ảnh FESEM mẫu ZnO pha tạp Ni với các nồng độ pha tạp khác nhau Hình 3.69 Minh họa quá trình phân ly phân tử khí aceton khi có mặt Ni + . Hình 3.70 Phổ XRD của các mẫu ZnO:Sn với nồng độ pha tạp khác nhau. Hình 3.71 Ảnh FESEM mẫu ZnO pha tạp Sn Hình 3.72 Ảnh TEM mẫu ZnO pha tạp Sn Hình 3.73 Phổ XRD của các mẫu ZnO:Cr. Hình 3.74 Ảnh FESEM mẫu ZnO pha tạp Cr [...]... nghiên cứu mới Cảm biến khí đã được nghiên cứu từ rất sớm, vào khoảng thập niên 60 của thế kỷ XX Cơ chế dò khí dựa trên nguyên tắc cơ bản là tính chất của cảm biến khí sẽ thay đổi khi môi trường xung quanh thay đổi Có nhiều loại cảm biến khí khác nhau như cảm biến quang học, cảm biến điện dung, cảm biến khối lượng, cảm biến độ dẫn, Trong các loại cảm biến trên thì cảm biến độ dẫn được dùng nhiều trong... mặt của vật liệu khi có khí dò Sự thay đổi này phụ thuộc vào bản chất của loại vật liệu chế tạo cảm biến, hình thái bề mặt, cấu trúc, tạp chất và loại khí cần dò Cảm biến oxit kim loại có thể được chế tạo ở dạng bột, dạng viên, màng mỏng hoặc màng dày Cảm biến màng mỏng thường có độ nhạy cao, có khả năng lọc lựa khí cần dò, kích thước nhỏ và giá thành thấp 5 1.2 Nguyên lý hoạt động của cảm biến khí. .. Từ khi được phát minh và chế tạo đến nay, công nghệ chế tạo cảm biến khí không ngừng được hoàn thiện nhằm cải thiện độ nhạy, độ chọn lọc, độ bền và độ lặp lại Một số loại cảm biến thông dụng có thể được kể đến như cảm biến khí bán dẫn, cảm biến quang, cảm biến nhiệt, cảm biến khối lượng hay còn gọi là cảm biến áp điện, cảm biến điện hóa Nguyên tắc hoạt động của những loại cảm biến trên nói chung đều... thiện độ lọc lựa khí của vật liệu Trong cảm biến khí, mục đích pha tạp là để kiểm soát tính chất bề mặt của màng nhằm tăng độ nhạy Đồng thời, những tạp chất này còn có tác dụng tăng tính chọn lọc cho cảm biến khí Chất xúc tác là một vật liệu làm thay đổi vận tốc phản ứng hóa học mà không làm thay đổi năng lượng tự do của phản ứng mà chỉ hạ thấp năng lượng hoạt hóa Về ý tưởng, để dò một thành phần khí trong... chất của vật liệu làm cảm biến và những chất phụ gia sử dụng để pha tạp vào trong vật liệu làm cảm biến Cảm biến oxit kim loại màng mỏng cho độ nhạy cao, có khả năng lọc lựa các chất khí cần dò, giá thành rẻ, giảm được kích thước của cảm biến 1 Đối tượng được nghiên cứu rộng rãi trong lĩnh vực dò khí là ZnO, một loại oxit quen thuộc và rất bền trong các điều kiện hoạt động của thiết bị này ZnO dạng màng. .. phần khí trong hỗn hợp khí, ta muốn chất xúc tác có khả năng thúc đẩy quá trình oxy hóa của chất khí muốn dò mà không xúc tác cho phản ứng oxy hóa của các chất khí khác 18 Ngoài ra, để tăng tính chọn lọc của cảm biến, một lượng nhỏ kim loại quý như Pd hay Pt thường được phân tán trên chất bán dẫn hoạt động như chất hoạt hóa hoặc chất tăng nhạy để cải thiện độ chọn lọc, độ nhạy khí Chất xúc tác có thể... kết hợp để làm bộ nâng 10 nhiệt trong thiết bị cảm biến Platin (Pt) là loại vật liệu thường được dùng để chế tạo điện cực Hình 1.3 Cấu tạo một cảm biến khí 1.3 Các đại lượng đặc trưng của cảm biến khí [31] Khi xét đến cảm biến oxit bán dẫn, các đại lượng thường được nhắc đến là: độ nhạy, thời gian đáp ứng và hồi phục, tính lọc lựa 1.3.1 Độ nhạy Độ nhạy là thông số đặc trưng nhất của thiết bị cảm biến, ... chọn lọc cho các cảm biến khí bán dẫn, nó còn làm giảm nhiệt độ hoạt động của vật liệu với khí mục tiêu mong muốn Độ chọn lọc thường được điều chỉnh bằng cách thay đổi nồng độ chất pha tạp, kích thước biên hạt, chất xúc tác, nhiệt độ hoạt động và những yếu tố khác 1.3.5 Cải thiện độ lọc lựa khí của một oxit bán dẫn[59]  Dùng nhiệt độ cải thiện độ lọc lựa khí của vật liệu Ta có thể cải thiện tính lọc. .. lớp cảm biến khi quá trình khuếch tán khí xảy ra trong bộ lọc, nhưng cho phép khí cần dò phản ứng với lớp vật liệu nhạy khí của cảm biến chỉ với một lượng nhỏ khí tập trung Để bộ lọc cải thiện tính lọc lựa, có thể đưa thêm bộ phận thiết lập nhiệt độ để có độ nhạy tối đa của khí cần dò Loại vật liệu chủ yếu được sử dụng làm bộ lọc: màng SiO2 được phủ 1 lớp Pt/Pd Đối với loại màng này ưu tiên lọc lựa khí. .. quan tâm tới việc nghiên cứu và chế tạo những loại cảm biến khí có thể phát hiện những loại khí thải độc hại với mục đích bảo vệ môi trường sống Ngày nay, cảm biến khí càng thể hiện vai trò quan trọng của mình trong đời sống và công nghiệp Một số ứng dụng phổ biến của cảm biến khí được liệt kê ở bảng 1 Cảm biến khí rắn, hoạt động dựa trên tính chất vật lý, hóa học cơ bản của vật liệu là những ứng cử viên . Màng ZnO pha tạp Ni 91 3.2.1.1 Ảnh hưởng của nồng độ pha tạp lên cấu trúc màng 91 3.2.1.2 Ảnh hưởng của nồng độ pha tạp lên bề mặt màng 93 3.2.1.3. Tìm hiểu cơ chế nhạy khí aceton của màng. ethanol của màng 99 3.2.3 Màng ZnO pha tạp Cr 100 3.2.3.1 Ảnh hưởng của nồng độ pha tạp lên cấu trúc màng 100 3.2.3.2 Ảnh hưởng của nồng độ pha tạp lên bề mặt màng 102 3.2.3.3 Tìm hiểu cơ chế. 3.2.2 Màng ZnO pha tạp Sn 95 3.2.2.1 Ảnh hưởng của nồng độ pha tạp lên cấu trúc màng 95 3.2.2.2 Ảnh hưởng của nồng độ pha tạp lên bề mặt màng 96 3.2.2.3 Tìm hiểu cơ chế nhạy khí rượu