PHẦN GiỚI THIỆU VỀ MỘT SỐ PHƯƠNG PHÁP TẠO MÀNG THƠNG DỤNG Màng mỏng ? Màng mỏng (Thin film) hay nhiều lớp vật liệu chế tạo cho chiều dày nhỏ nhiều so với chiều lại, độ dày màng mỏng lên đến hàng chục hay hàng trăm nanomet Ứng dụng việc tạo màng Hiện màng mỏng lĩnh vực nghiên cứu mạnh mẽ ngành khoa học vật liệu, vật lý chất rắn, vật lý ứng dụng với nhiều khả ứng dụng to lớn đời sống hàng ngày sản xuất VD: màng nhiệt sắc (VO2), màng điện sắc (V2O5, WO3 ), màng chống phản xạ(SiO2,MgF2,.), màng chống tia cực tím, màng chống tia hồng ngoại,… Các phương pháp chế tạo màng mỏng : Thông thường, màng mỏng để sử dụng chế tạo lớp đế, khối vật liệu đơn tinh thể (ví dụ thủy tinh, Si, MgO, Ge, GaAs, thạch anh ) Kỹ thuật mạ điện Kỹ thuật phun tĩnh điện Bay bốc nhiệt chân không Phún xạ Magnetron DC Epitaxy chùm phân tử Lắng đọng chùm laser Lắng đọng pha hoá học (CVD) Phương pháp sol-gel PHƯƠNG PHÁP BỐC BAY NHIỆT TRONG CHÂN KHÔNG: Vật liệu bay kim loại, bán dẫn, hợp kim, hợp chất … dạng khối, bột lỏng Ưu nhược điểm phương pháp : Ưu điểm : - Màng phát triển lớp khuyếch tán bề mặt tốt - Sự phá hủy bề mặt thấp - Dễ thay đổi vật liệu nguồn - Thiết bị đơn giản Nhược điểm : - Gia nhiệt đế chậm - Khó điều chỉnh thành phần hợp kim,độ dày màng - Độ đồng màng thấp - Độ bám dính thấp PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC Phún xạ tượng bề mặt bia bị bắn phá ion có lượng lớn làm nguyên tử bề mặt bị bứt có động lớn bay phía đế lắng đọng đế Ưu điểm nhược điểm phương pháp :  Dễ dàng chế tạo màng đa lớp  Đây phương pháp rẻ tiền, dễ thực nên dễ dàng triển khai quy mô công nghiệp  Độ bám dính màng đế cao  Màng tạo có độ mấp mơ bề mặt thấp có hợp thức gần với bia  Có độ dày đồng nhiều so với phương pháp bốc bay nhiệt chân không  Khả tạo màng mỏng với độ xác cao phương pháp phún xạ không cao PHƯƠNG PHÁP SOL-GEL Sol-Gel trình phản ứng hoá học bắt đầu từ dung dịch đến sản phẩm cuối trạng thái rắn Nhúng đế Tạo thành lớp màng ướt Bay dung môi Mô hình tạo màng phương pháp nhúng Độ dày màng phụ thuộc chủ yếu vào tốc dộ kéo màng, mật độ phần tử rắn độ nhớt dung dịch Mơ hình tạo màng phương pháp phủ quay Màng tạo thành đồng có độ dày tương đối lớn Ưu nhược điểm phương pháp Sol-Gel Ưu điểm : Tạo màng có độ tinh khiết tính đồng cao từ vật liệu ban đầu Cần nhiệt độ chế tạo thấp Khả tạo hình tốt Phương pháp tạo màng kính Ít tốn kém, đơn giản để sản xuất màng có chất lượng cao Nhược điểm : Chi phí(hao phí) cao loại vật liệu thô Hao hụt nhiều trình tạo thành màng Độ xốp cao Dễ bị rạn nứt trình nung sấy Ứng dụng phương pháp sol-gel : Tạo màng bảo vệ màng có tính chất quang học Tạo màng chống phản xạ Bộ nhớ quang (optical memory) Màng đa lớp tạo vi điện tử Tạo kính giao thoa CÁM ƠN CÁC BẠN ĐÃ QUAN TÂM THEO DÕI ... đế Tạo thành lớp màng ướt Bay dung mơi Mơ hình tạo màng phương pháp nhúng Độ dày màng phụ thuộc chủ yếu vào tốc dộ kéo màng, mật độ phần tử rắn độ nhớt dung dịch Mơ hình tạo màng phương pháp. .. nứt trình nung sấy Ứng dụng phương pháp sol-gel : Tạo màng bảo vệ màng có tính chất quang học Tạo màng chống phản xạ Bộ nhớ quang (optical memory) Màng đa lớp tạo vi điện tử Tạo kính giao thoa CÁM... sắc (V2O5, WO3 ), màng chống phản xạ(SiO2,MgF2,.), màng chống tia cực tím, màng chống tia hồng ngoại,… Các phương pháp chế tạo màng mỏng : Thơng thường, màng mỏng để sử dụng chế tạo lớp đế, khối