. cứu 5 a. Giới thiệu . 5 b. Chấp hành vi kẹp có gắn cảm biến 6 c. Điều khiển tối ưu cho vi chấp hành 9 d. Thiết kế chế tạo vi chấp hành có gắn bộ điều khiển 13 e. Kết quả và kết luận 16 6.3 điều khiển ngoài chip cho chấp hành vi kẹp có gắn cảm biến. Nghiên cứu đặc trưng của vi chấp hành, xác định hàm truyền của thiết bị. Thiết kế mạch điều khiển vi chấp hành dựa trên công nghệ. ĐẠI HỌ C QUỐC GIA HÀ NỘI * * * ĐIÊU KHIỂN VÒNG ĐÓNG CHO HỆ VI KẸP CÓ GẮN CẢM BIÉN Mã số: QC.09.02 đ a i h ọ c q u o c g i a h a n o i TPUNG Tâ m t h