. HỌC KHOA HỌC Tự NHIÊN Ỳ ậ Ỹ TÀIỉ CHẾ TẠO VÀ KHẢO SÁT MỘT số TÍNH CHẤT CỦA ■ • MÀNG MỎNG ZnO: AI VÀ MÀNG MỎNG ZnO: Mn BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ RF MAGNETON Mã số: QT - 03 - 05 CHỦ TRÌ ĐỂ TÀI: PGS Các phương pháp thực nghiệm: 1. Chê tạo m ẫu: Màng mỏng ZnO pha tạp AI và Mn được chế tạo từ phương pháp phún xạ R.F Magnetron từ các bia gốm ZnO: Al và ZnO: Mn. Bia gốm ZnO: Mn và ZnO: AI được chế. tôi chế tạo màng ZnO pha tạp Mn (thuộc nhóm 3d) với các nồng độ khác nhau và khảo sát tính chất của màng khi có các tạp chất mang tính chất từ. Các màng ZnO pha các tạp chất này được chế tạo bằng