Tài liệu hạn chế xem trước, để xem đầy đủ mời bạn chọn Tải xuống
1
/ 143 trang
Thông tin tài liệu
. 78 Nghiên cứu công nghệ phún xạ xung chế tạo màng mỏng quang học chất lượng cao Trang8 Nghiên cứu công nghệ phún xạ xung chế tạo màng mỏng quang học chất lượng cao Trang1 Chương. tính chất màng chế tạo 42 3.2 .Nghiên cứu chế tạo màng TiO 2 bằng công nghệ phún xạ xung 45 3.4 .Nghiên cứu chế tạo màng SiO 2 bằng công nghệ phún xạ xung 52 Chương 4: Chế tạo các hệ màng. HỌC CÔNG NGHỆ VIỆN ỨNG DỤNG CÔNG NGHỆ BÁO CÁO TỔNG HỢP KẾT QUẢ KHOA HỌC CÔNG NGHỆ ĐỀ TÀI CẤP BỘ Nghiên cứu công nghệ phún xạ xung chế tạo màng mỏng quang học chất lượng cao