Phương pháp phún xạ Magnetron RF và ứng dụng trong công nhệ chế tạo màng mỏng bán dẫn

38 752 0
Phương pháp phún xạ Magnetron RF và ứng dụng trong công nhệ chế tạo màng mỏng bán dẫn

Đang tải... (xem toàn văn)

Tài liệu hạn chế xem trước, để xem đầy đủ mời bạn chọn Tải xuống

Từ khóa liên quan

Tài liệu cùng người dùng

Tài liệu liên quan