0

màng tin được tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron dc

Báo cáo nghiên cứu khoa học:

Báo cáo nghiên cứu khoa học: " SỰ ẢNH HƯỞNG DÒNG PHÚN XẠ VÀ SỰ Ủ NHIỆT LÊN TÍNH CHẤT QUANG XÚC TÁC MÀNG TiO2 CHẾ TẠO BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC KHÔNG CÂN BẰNG" doc

Báo cáo khoa học

... trúc đa tinh thể anatase với diện tích mặt lớn Màng tạo dòng phún xạ mạnh có tính quang xúc tác cao mà xử lý ủ nhiệt Giải pháp tăng dòng phún xạ kinh tế hiệu quả, ứng dụng công nghệ phủ màng quang ... phủ màng dính bẩn vòi nước chảy liên tục 10 phút, kính bẩn Trong đó, kính phủ màng dính bẩn tự làm vòi nước chảy KẾT LUẬN Thực nghiệm cho thấy màng TiO2 chế tạo kỹ thuật phún xạ phản ứng DC magnetron ... việc tăng dòng phún xạ tính quang xúc tác màng TiO2 mà không cần xử lí nhiệt nhằm tối ưu hóa công nghệ sản xuất vật liệu 1.2.Cơ sở Phún xạ magnetron sử dụng rộng rãi, nhiệt độ tạo màng thấp phù...
  • 8
  • 603
  • 0
Quang phổ Laser - Dùng phổ Raman và phổ phát quang nghiên cứu ảnh hưởng của tỉ lệ khí oxy và sự ủ nhiệt đối với màng TiO2 chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron phản ứng

Quang phổ Laser - Dùng phổ Raman và phổ phát quang nghiên cứu ảnh hưởng của tỉ lệ khí oxy và sự ủ nhiệt đối với màng TiO2 chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron phản ứng

Cao đẳng - Đại học

... dòng oxy đưa vào hệ phún xạ việc chế tạo màng Nghiên cứu ảnh hưởng nhiệt độ ủ trình hình thành cấu trúc màng Quang phổ Laser GiỚI THIỆU: Chế tạo màng TiOx phương pháp phún xạ magneton trực tiếp ... 2.7*10-4 Pa Thời gian phún xạ 40 phút Độ dày màng từ 50-200nm Quang phổ Laser ĐO TÍNH CHẤT MÀNG: Cấu trúc màng, thông tin phase (anatase hay rutile) đo quang phổ kế tia X sử dụng xạ Cu Kα (0.1542nm) ... nhiễu xạ tia X, quang phát quang phổ Raman để nghiên cứu tính chất màng Quang phổ Laser THÍ NGHIỆM: Dùng đế p-Si(100), làm H2SO4 H2O Target Ti tinh khiết 99.99%, đường kính 2in áp vào nguồn DC 100W...
  • 16
  • 379
  • 0
Báo cáo khoa học: Ảnh hưởng của nhiệt độ đế lên cấu trúc và tính chất điện của màng dẫn điện trong suốt SnO2:Sb được chế tạo bằng phương pháp phún xạ Magnetron phản ứng potx

Báo cáo khoa học: Ảnh hưởng của nhiệt độ đế lên cấu trúc và tính chất điện của màng dẫn điện trong suốt SnO2:Sb được chế tạo bằng phương pháp phún xạ Magnetron phản ứng potx

Báo cáo khoa học

... nén phá hỏng màng Các thơng số tạo màng phương pháp phún xạ magnetron phản ứng cơng trình trình bày bảng 60 400 600 800 Bước sóng  (nm) 1000 Hình Phổ truyền qua màng SnO2:Sb chế tạo nhiệt độ ... phẩm màng ứng dụng để làm màng điện cực suốt cho thí nghiệm chế tạo linh kiện điện sắc, pin mặt trời 4.KẾT LUẬN Cơng trình chế tạo thành cơng màng dẫn điện suốt SnO2:Sb phương pháp phún xạ magnetron ... thấy màng lắng đọng nhiệt độ đế cao đỉnh nhiễu xạ bị dịch phía có góc nhiễu xạ nhỏ Điều giải thích màng có ứng suất nén [7] Ứng suất bao gồm ứng suất nội sai hỏng màng - lắng đọng phương pháp phún...
  • 6
  • 802
  • 1
Báo cáo khoa học: Ảnh hưởng của sự pha tạp Ga lên tính chất điện của màng ZnO tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron docx

Báo cáo khoa học: Ảnh hưởng của sự pha tạp Ga lên tính chất điện của màng ZnO tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron docx

Báo cáo khoa học

... ủ màng lên tính chất điện phụ thuộc nhiều vào phương pháp tạo màng chế dẫn điện màng Chúng tơi tạo màng ZnO-Ga có điều kiện tạo màng khác nhiệt độ ủ màng là: nhiệt độ phòng, 300oC chân khơng màng ... KẾT LUẬN Màng ZnO-Ga tạo phương pháp phún xạ magnetron có điện trở suất khoảng 4-5 x 10-4 Ωcm , độ truyền qua trung bình vùng khả kiến T ~ 85% Màng cho tính chất quang điện tốt phún xạ nhiệt ... [2] cho thấy màng có điện trở suất (~ 4.6 x 10-4 Ωcm) cường độ đỉnh (002) tương đương (chứng tỏ hạt ngưng tụ phương pháp phún xạ magnetron có lượng cao) Tính chất điện cấu trúc màng gần khơng...
  • 5
  • 415
  • 0
Tiến Sĩ Nghiên cứu chế tạo màng gương nóng truyền qua bằng phương pháp phún xạ magnetron dc

Tiến Sĩ Nghiên cứu chế tạo màng gương nóng truyền qua bằng phương pháp phún xạ magnetron dc

Tiến sĩ

... hay gây phún xạ 1.6.1.2 Quá trình lắng đọng màng phương pháp phún xạ Phương pháp ảnh hưởng đến thông số trình gây plasma, mối liên hệ chúng lên tính chất màng lắng đọng Quá trình phún xạ trình ... thức lớn, tán xạ lớn phản xạ cao hình thành Điều xảy màng lắng đọng phương pháp phún xạ phản ứng, thể qua chuyển tiếp từ màng đục đến màng suốt với áp suất riêng phần oxy tăng phún xạ [52] Truyền ... mạng tác nhân tán xạ điện tử hiệu dụng chúng liên kết với mạng TiN Poitevin cộng [143] tạo màng TiN có điện trở suất cao cỡ 104 μΩ.cm, màng chứa tạp oxy Trong phương pháp chế tạo, oxy bị loại...
  • 60
  • 666
  • 1
Chế tạo màng ZnO tạp chất (In,N) bán bẫn loại p bằng PP phún xạ magnetron DC, kh.sát các yếu tố ảnh hưởng đến cấu trúc, tính chất điện và tính chất quang của màng bán dẫn loại p

Chế tạo màng ZnO tạp chất (In,N) bán bẫn loại p bằng PP phún xạ magnetron DC, kh.sát các yếu tố ảnh hưởng đến cấu trúc, tính chất điện và tính chất quang của màng bán dẫn loại p

Khoa học tự nhiên

... 3: PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC Có nhiều phương pháp tạo màng mỏng đế rắn, phương pháp có ưu điểm nhược điểm riêng Tuy nhiên, chia chúng làm hai nhóm phương pháp là: Các phương pháp tạo màng ... học (CVD, sol-gel ….) phương pháp tạo màng vật lý (bay hơi, phún xạ xung laser ….) Trong nhóm phương pháp tạo màng vật lý phương pháp phún xạ magnetron DC RF hai phương pháp nhà khoa học sử dụng ... điểm phương pháp phún xạ magnetron phẳng Phương pháp phún xạ magnetron có ưu điểm như: nhiệt độ đế thấp, tạo màng nhiệt độ phòng, độ bám dính màng đế tốt, vận tốc phủ màng cao, đồng cao độ dày màng, ...
  • 106
  • 1,688
  • 1
Nghiên cứu chế tạo màng ZnO tạp chất Sn trên đế thủy tinh bằng phương pháp phún xạ magnetron DC và khảo sát các yếu tố ảnh hưởng đến cấu trúc, tính chất điện, tính chất quang của màng

Nghiên cứu chế tạo màng ZnO tạp chất Sn trên đế thủy tinh bằng phương pháp phún xạ magnetron DC và khảo sát các yếu tố ảnh hưởng đến cấu trúc, tính chất điện, tính chất quang của màng

Khoa học tự nhiên

... chất chất pha tạp, nên phương pháp tạo màng với thông số riêng cho màng tính chất khác Trong nhóm phương pháp tạo màng vật lý phương pháp phún xạ magnetron DC RF hai phương pháp nhà khoa học sử ... màng mỏng chung Việt Nam giới Màng ZnO chế tạo nhiều phương pháp khác nhau, phương pháp phổ biến nước ta phương pháp phún xạ magnetron DC RF Đây phương pháp giúp nhà khoa học nghiên cứu chế tạo ... PHA TẠP Sn BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC .42 3.1 Chế tạo bia gốm ZnO SZO 42 3.2 Hệ tạo màng trình phún xạ .48 3.3 Các bước chuẩn bị trước phún xạ tạo màng ...
  • 72
  • 1,562
  • 0
NGHIÊN CỨU VÀ CHẾ TẠO MÀNG DẪN ĐIỆN TRONG SUỐT  ZnO TẠP CHẤT (In, N) BẰNG PHƯƠNG PHÁP  PHÚN XẠ MAGNETRON DC

NGHIÊN CỨU VÀ CHẾ TẠO MÀNG DẪN ĐIỆN TRONG SUỐT ZnO TẠP CHẤT (In, N) BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC

Khoa học tự nhiên

... gốm sau phún xạ CHƯƠNG 3: CHẾ TẠO MÀNG ZnO:(In, N) 3.2 Hệ phún xạ tạo màng Sử dụng hệ magnetron không cân bằng: - Tăng thông lượng ion điện tử đến đế - Tăng lượng hạt đến đế Cấu tạo hệ magnetron ... 3: CHẾ TẠO MÀNG ZnO:(In,N) Quy trình chế tạo mạng ZnO:(In, N) Chế tạo bia gốm ZnO ZnO:In Chọn hệ phún xạ Xử lý đế Bố trí bia đế Ảnh hưởng N2/(N2 + Ar) Ảnh hưởng nhiệt độ đế Phún xạ tạo màng Ảnh ... Dương Ái Phương, Lê Văn Hiếu, Dương Anh Quan, Lê Vũ Tuấn Hùng, “ Ảnh hưởng nồng độ pha tạp indium lên tính chất điện quang màng ZnO:(In, N) loại p chế tạo phương pháp phún xạ magnetron DC , Hội...
  • 52
  • 1,362
  • 0
PHƯƠNG PHÁP BỐC BAY VÀ PHÚN XẠ - Bài 1 TẠO MÀNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC

PHƯƠNG PHÁP BỐC BAY VÀ PHÚN XẠ - Bài 1 TẠO MÀNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC

Vật lý

... chế tạo màng đa lớp khó khăn với phương pháp Phương pháp phún xạ: Hình - Quá trình phún xạ Cơ chế phương pháp phún xạ: Phún xạ không làm cho vật liệu bị bay đốt nóng mà thực chất trình phún xạ ... ngắn gọn) số phương pháp tạo màng lắng đọng vật lý (PVD) Trả lời: Kỹ thuật tạo màng phương pháp PVD phân thành nhiều hướng sau, chủ yếu xuất phát từ phương pháp bay phương pháp phún xạ Bay chân ...  Ít tốn nguyên liệu phún xạ ta điều chỉnh dòng phún xạ Bài 2: TẠO MÀNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP BỐC BAY CHÂN KHÔNG I LÝ THUYẾT: Định nghĩa:  Bốc bay chân không phương pháp tạo màng lắng đọng vật lý...
  • 15
  • 2,356
  • 2
THỰC TẬP CHUYÊN ĐỀ QUANG – QUANG PHỔ - BÀI 1  TẠO MÀNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC

THỰC TẬP CHUYÊN ĐỀ QUANG – QUANG PHỔ - BÀI 1 TẠO MÀNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC

Vật lý

... THỰC TẬP CHUYÊN ĐỀ QUANG – QUANG PHỔ BÀI 1: TẠO MÀNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC I TÓM TẮT LÝ THUYẾT: I.1 Định nghĩa tượng phún xạ: Phún xạ tượng nguyên tử bề mặt vật liệu bị bứt bị ... mô tả trình phún xạ I.2 Phương pháp phún xạ magnetron DC: I.2.1 Hệ magnetron phẳng: HVTH: PHẠM THỊ THU HƯỜNG THỰC TẬP CHUYÊN ĐỀ QUANG – QUANG PHỔ (Hình 1.2)  Bộ phận hệ phún xạ magnetron phẳng ... ảnh hưởng đến độ dày màng mỏng phún xạ? Nói đến độ dày màng mỏng phún xạ tức xem xét hiệu suất trình phún xạ Theo định nghĩa ta có, hiệu suất trình phún xạ tổng nguyên tử phún xạ tổng ion tới Các...
  • 11
  • 501
  • 0
Quang phổ Laser - Màng mỏng ZnO pha tạp nguyên tố đất hiếm chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron

Quang phổ Laser - Màng mỏng ZnO pha tạp nguyên tố đất hiếm chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron

Cao đẳng - Đại học

... ZnO để tạo màng suốt dẫn điện Thí nghiệm •Dùng phương pháp phún xạ magnetron DC –Bia (đường kính 150mm): hỗn hợp bột ZnO Sc2O3 (hoặc Y2O3), nung nhiệt độ 10500C môi trường Ar+H2 Phún xạ môi ... chất màng: –Độ dày màng đo phương pháp Stylus –Điện trở suất độ linh động Hall đo nhiệt độ phòng phương pháp Van der Pauw –Thành phần cấu tạo màng đo phổ tán xạ lượng tia X (EDS) –Cấu trúc tinh ... trở suất thấp, dẫn điện tốt Phương pháp chế tạo - Phún xạ magnetron - Lắng đọng pha hoá học hữu kim loại (MOCVD) - Lắng đọng laser xung (PLD) Các ứng dụng Màng mỏng ZnO pha tạp Al In sử dụng...
  • 9
  • 299
  • 0
Nghiên cứu chế tạo màng gương nóng truyền qua bằng phương pháp phún xạ magnetron DC

Nghiên cứu chế tạo màng gương nóng truyền qua bằng phương pháp phún xạ magnetron DC

Tiến sĩ

... thức lớn, tán xạ lớn phản xạ cao hình thành Điều xảy màng lắng đọng phương pháp phún xạ phản ứng, thể qua chuyển tiếp từ màng đục đến màng suốt với áp suất riêng phần oxy tăng phún xạ [52] Truyền ... lắng đọng phún xạ 52 1.6.1.2 Quá trình lắng đọng màng phương pháp phún xạ 54 1.6.1.3 Phún xạ phản ứng 57 1.6.2 Thiết kế hệ magnetron 57 1.6.2.1 Hệ magnetron vuông ... MINH TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC TỰ NHIÊN [\ LÊ TRẤN NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO MÀNG GƯƠNG NÓNG TRUYỀN QUA BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC CHUYÊN NGÀNH: QUANG HỌC Mà SỐ: 1.02.18 LUẬN ÁN TIẾN SĨ VẬT LÝ...
  • 170
  • 663
  • 1
nghiên cứu chế tạo màng mỏng ZnO loại P bằng phương pháp phún xạ Magnetron

nghiên cứu chế tạo màng mỏng ZnO loại P bằng phương pháp phún xạ Magnetron

Khoa học tự nhiên

... B.Yao, màng mỏng ZnO: N chế tạo phương pháp phún xạ magnetron RF điều kiện nhiệt độ 510K đế thạch anh xác định cấu trúc phương pháp nhiễu xạ tia X Hình 2.5 Phổ nhiễu xạ ZnO Hằng số mạng tinh thể ... N N2O dùng nguồn pha tạp N Các điều kiện phún xạ tạo màng Áp suất buồng Áp suất Áp suất phún xạ Khí phún xạ Đế phủ Khoảng cách phún xạ Công suất phún xạ RF Nhiệt độ đế < 5.10-6 torr 1,5.10-5 ... pha tạp N từ bia gốm Màng ZnO pha tạp N chế tạo phương pháp phún x magnetron phản ứng RF đế thủy tinh corning 7059 Các bia ZnO, AZN, GZN đư ợc dùng làm bia phún xạ Và khí phún xạ khí hay hỗn hợp...
  • 7
  • 1,834
  • 20
Chế tạo và nghiên cứu tính chất cấu trúc, tính chất quang của bột ZnO chế tạo bằng phương pháp sol-gel và màng ZnO chế tạo bằng phương pháp phun tĩnh điện

Chế tạo và nghiên cứu tính chất cấu trúc, tính chất quang của bột ZnO chế tạo bằng phương pháp sol-gel và màng ZnO chế tạo bằng phương pháp phun tĩnh điện

Khoa học tự nhiên

... bột I.2 Các phương pháp chế tạo mẫu màng Chế tạo màng phương pháp phun tĩnh điện (phương pháp phun bụi dung dịch) 21 Khóa luận tốt nghiệp Nguyên liệu ban đầu tạo dạng dung dịch phương pháp sol - ... cường độ phát xạ xanh có khả kết sai hỏng mạng, hay lỗ khuyết oxi Chương II : Các phương pháp chế tạo khảo sát mẫu I Các phương pháp chế tạo mẫu I.1 phương pháp chế tạo mẫu bột Phương pháp phản ... màng phương pháp phun tĩnh điện Phương pháp tạo sol: Những năm gần phương pháp sol-gel ý nhiều số ưu điểm bật : phương pháp đơn giản không cần phải dùng tới máy móc đại tạo mẫu tốt Phương pháp...
  • 58
  • 2,304
  • 13
Báo cáo khoa học: Nghiên cứu chế tạo màng mỏng Al2O3 bằng phương pháp phún xạ Magnetron RF potx

Báo cáo khoa học: Nghiên cứu chế tạo màng mỏng Al2O3 bằng phương pháp phún xạ Magnetron RF potx

Báo cáo khoa học

... No.03 - 2009 Bài viết trình bày việc nghiên cứu chế tạo màng mỏng Al2O3 phương pháp phún xạ magnetron rf chuyển pha xử lý nhiệt sau Màng phún xạ phản ứng từ bia nhôm kim loại môi trường hỗn hợp ... suất màng mỏng thực với phương pháp khác ta thấy có phù hợp tốt Chiết suất màng cao màng bốc bay phản ứng thấp phương pháp FCVA Technique Bulk (bảng 01) Bảng 1.Chiết suất màng Al2O3 với phương pháp ... 1.Chiết suất màng Al2O3 với phương pháp tạo màng khác [26 ] Phương pháp Chiết suất 550 nm Phương pháp Chiết suất 550 nm Bốc bay 1.5 Phún xạ phản ứng 1.68 Phún xạ chùm ion 1.65 Hai chùm tia ion 1.62...
  • 11
  • 791
  • 0
Báo cáo nghiên cứu khoa học:

Báo cáo nghiên cứu khoa học: " NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO MÀNG MỎNG TiO2 BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON RF" doc

Báo cáo khoa học

... LUẬN Màng tạo phương pháp phún xạ magnetron rf suốt, có độ truyền qua cao khoảng 90% Chiết suất màng cao khoảng 2.48 chiết suất cao màng tạo phương pháp phún xạ dc Cấu trúc màng phần lớn đa tinh ... dc, ta nhận thấy màng tạo phương pháp dc tồn dạng vô định nhiều Rms thấp Hình 7.Ảnh AFM màng TiO2 : a/ tạo phương pháp phún xạ dc – nhiệt độ đế 2700C; b/ tạp phương pháp phún xạ rf – nhiệt độ ... Phổ truyền qua màng TiO2 tạo từ phương pháp phún xạ magnetron rf (1) phún xạ magnetron dc (2) Khi so sánh phổ truyền qua màng TiO2 tạo từ phương pháp, ta nhận thấy độ truyền qua màng tương đương...
  • 7
  • 692
  • 2
Chế tạo và khảo sát một số tính chất của màng mỏng ZnO   Al và màng mỏng ZnO Mn bằng phương pháp phún xạ RF Magneton

Chế tạo và khảo sát một số tính chất của màng mỏng ZnO Al và màng mỏng ZnO Mn bằng phương pháp phún xạ RF Magneton

Báo cáo khoa học

... Chương II: Các phương pháp chế tạo màng bán dẫn Z n O .19 2.1- Phương pháp phún xạ catốt 19 2.1.1- Cấu tạo 19 2.1.2- Hoạt động 19 2.13- Phương pháp sol- gel ... Các phương pháp thực nghiệm: Chê tạo m ẫu: M àng m ỏng Z nO pha tạp AI M n ch ế tạo từ phương pháp phún xạ R.F M agnetron từ bia gốm ZnO :A l ZnO :M n Bia gốm Z n O :M n ZnO: AI c h ế tạo phương ... thủy tinh bàng phương pháp phún xạ r.i’ m an h êtrô n bia ZnO :A l (hàm lượng A120 wt.%) Các phép nhiễu xạ tia X cho thấy, lất ca m àng nhận kì đa tinh thể với cấu trúc lục giác định hướng theo phương...
  • 50
  • 623
  • 0
Nghiên cứu chế tạo màng ITO bằng phương pháp phún xạ Magnetron

Nghiên cứu chế tạo màng ITO bằng phương pháp phún xạ Magnetron

Sinh học

...  Tổng quan Màng ITO Phương pháp phún xạ magnetron Thực nghiệm Các bước tạo màng Các phương pháp xác định tính chất màng Kết Khoảng cách bia đế Công suất phún xạ Nhiệt độ đế Độ dày màng Khí oxi ... khác dễ dàng phún xạPhương pháp có chi phí không cao  Có khả phủ màng diện tích rộng Page  Phún xạ Magetron Page  Thực nghiệm Page  Một số đặc điểm trình tạo màng Hệ tạo màng mỏng Univex ... truyền qua quang học màng ITO 80% vùng 0.4 - 0.7 µm Độ phản xạ 90% bước sóng lớn µm Page  29 Tài liệu tham khảo Trần Cao Vinh (2008), Tạo màng dẫn điện suốt phương pháp phún xạ Magnetron, Luận án...
  • 31
  • 1,356
  • 1
Tạo màng dẫn điện trong suốt bằng phương pháp phún xạ magnetron

Tạo màng dẫn điện trong suốt bằng phương pháp phún xạ magnetron

Tiến sĩ

... bắn vào bia tạo nên phún xạ vật liệu Mô tả hoạt động hệ phún xạ magnetron xem chi tiết tài liệu tham khảo [102], [108] 2.1.2 Phương pháp phún xạ magnetron phẳng dc rf Nguồn phún xạ magnetron phẳng ... (IC), màng cứng (TiN) , nghiên cứu phương pháp tiếp tục, đặc biệt lĩnh vực phủ màng mỏng bán dẫn Nguyên tắc hoạt động phún xạ magnetron Penning đưa năm 1936 [76] sở phương pháp phủ màng phún xạ magnetron ... 31 CHƯƠNG 2.1 THỰC NGHIỆM VÀ PHƯƠNG PHÁP NGHIÊN CỨU Phương pháp phún xạ magnetron 2.1.1 Nguyên tắc hoạt động magnetron Có nhiều dạng cathode phún xạ magnetron chế tạo cho ứng dụng cụ thể, cathode...
  • 200
  • 608
  • 0
Tóm tắt báo cáo nghiên cứu khoa học

Tóm tắt báo cáo nghiên cứu khoa học " CÁC TÍNH CHẤT QUANG ĐIỆN CỦA MÀNG MỎNG ĐA LỚP TẠO BỞI PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON " pdf

Báo cáo khoa học

... nóng truyền qua phương pháp phún xạ magnetron DC có diện tích màng lớn Báo cáo hội nghị vật lý toàn quốc lần [2] Chế tạo màng đa lớp WO3 / ITO đế thủy tinh phương pháp phún xạ magnetron khảo sát ... Chế tạo màng mỏng tungsten oxyt phương pháp phún xạ magnetron RF.Hội nghị Khoa học Trường ĐHKHTN tháng 10-2004 [5] Pin mặt trời màng mỏng (ZnO:Al)/ p-Si (111) tạo phương pháp phún xạ magnetron DC ... Al đế PET phương pháp phún xạ magnetron DC Báo cáo hội nghị vật lý toàn quốc lần 5.3 Các báo cáo khoa học hội nghị, hội thảo KH: [1] Sử dụng phương pháp phún xạ magnetron DC để chế tạo tế bào...
  • 4
  • 644
  • 1

Xem thêm