Nghiên cứu chế tạo Sensor gia tốc kiểu tụ trên cơ sở công nghệ Mems

3 982 20
Nghiên cứu chế tạo Sensor gia tốc kiểu tụ trên cơ sở công nghệ Mems

Đang tải... (xem toàn văn)

Thông tin tài liệu

Seror gia tốc vi cơ điện tử(Mems) rất được quan tâm nghiên cứu vởi khả năng ứng dụng to lớn của chúng trong điều khiễn các hệ thống chuyển động như người máy, ô tô...Seror gia tốc Mems thường ho

123doc.vn

Ngày đăng: 19/11/2012, 10:29

Từ khóa liên quan

Tài liệu cùng người dùng

Tài liệu liên quan