Đang tải... (xem toàn văn)
Seror gia tốc vi cơ điện tử(Mems) rất được quan tâm nghiên cứu vởi khả năng ứng dụng to lớn của chúng trong điều khiễn các hệ thống chuyển động như người máy, ô tô...Seror gia tốc Mems thường ho
123doc.vnĐang tải... (xem toàn văn)
Seror gia tốc vi cơ điện tử(Mems) rất được quan tâm nghiên cứu vởi khả năng ứng dụng to lớn của chúng trong điều khiễn các hệ thống chuyển động như người máy, ô tô...Seror gia tốc Mems thường ho
123doc.vnNgày đăng: 19/11/2012, 10:29
Xem thêm: Nghiên cứu chế tạo Sensor gia tốc kiểu tụ trên cơ sở công nghệ Mems