BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO HỌC VIỆN KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ - LƯƠNG VĂN ĐƯƠNG NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO VÀ ĐẶC TRƯNG TÍNH CHẤT CỦA MÀNG PHỦ NITRUA TRÊN NỀN HỢP KIM CỨNG WC-Co BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON LUẬN ÁN TIẾN SỸ KHOA HỌC VẬT LIỆU HÀ NỘI – 2019 BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO HỌC VIỆN KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ - LƯƠNG VĂN ĐƯƠNG NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO VÀ ĐẶC TRƯNG TÍNH CHẤT CỦA MÀNG PHỦ NITRUA TRÊN NỀN HỢP KIM CỨNG WC-Co BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON LUẬN ÁN TIẾN SỸ KHOA HỌC VẬT LIỆU Chuyên ngành: Kim loại học Mã số: 9.44.01.29 Người hướng dẫn khoa học: PGS TS Đồn Đình Phương GS TS Phan Ngọc Minh Hà Nội – 2019 i LỜI CẢM ƠN Trước tiên, xin bày tỏ lòng biết ơn sâu sắc tới Thầy hướng dẫn PGS TS Đồn Đình Phương GS TS Phan Ngọc Minh tận tình hướng dẫn, bảo giúp đỡ suốt thời gianthực luận án Tôi xin chân thành cám ơn Ban Lãnh đạo Bộ phận đào tạo Viện Khoa học vật liệu giúp đỡ tơi suốt q trình học tập, nghiên cứu hồn thành luận án Tơi xin trân trọng cảm ơn đồng nghiệp Phòng Vật liệu kim loại tiên tiến – Viện Khoa học vật liệu, Viện Hàn lâm Khoa học Công nghệ Việt Nam đồng hành, động viên giúp đỡ q trình thực luận án Tơi xin gửi lời cám ơn đặc biệt tới TS Kyoung Ill Moon, TS Won Beom Lee bạn đồng nghiệptại Viện Công nghệ Công nghiệp Hàn Quốc (KITECH) sẵn sàng giúp đỡ, tạo điều kiện cho thực ý tưởng nghiên cứu Cuối cùng, tơi xin gửi lời cảm ơn sâu sắc tới gia đình, bạn bè người thân Đặc biệt vợ hai động viên, giúp đỡ tôitrong suốt thời gian học tập hoàn thành luận án ii LỜI CAM ĐOAN Tôi xin cam đoan cơng trình nghiên cứu riêng tơi, kết nghiên cứu trình bày luận án trung thực, khách quan chưa công bố cơng trình nghiên cứu trước Hà Nội, ngày tháng năm 2019 Tác giả luận án Lương Văn Đương iii MỤC LỤC Lời cảm ơn i Lời cam đoan ii Mục lục iii Danh mục hình vẽ đồ vi Danh mục bảng x Danh mục ký hiệu , chữ viết tắt xi MỞ ĐẦU CHƯƠNG TỔNG QUAN 1.1 Lịch sử phát triển màng phủ phân loại 1.1.1 Khái niệm lịch sử phát triển 1.1.2Phân loại màng phủ 1.2 Tình hình nghiên cứu màng phủ nitrit giới 1.2.1Màng đơn lớp 1.2.2 Màng đa lớp 12 1.3 Cấu trúc màng phủ nitrua 16 1.3.1 Cấu trúc màng TiN AlN 16 1.3.2 Cấu trúc màng TiAlN 17 1.3.3 Cấu trúc màng CrlN 18 1.4 Các phương pháp chế tạo màng phủ nitrua 19 1.4.1.Phương pháp lắng đọng pha hóa học (CVD) 19 1.4.2 Phương pháp lắng đọng vật lý pha (PVD) 21 1.4.2.1 Phương pháp bốc bay chân không21 1.4.2.2 Phương pháp phún xạ 23 1.5 Sự hình thành màng phủ phương pháp phún xạ 30 1.5.1 Phún xạ vật liệu 30 1.5.2 Sự chuyển động hạt phún xạ 32 1.5.3 Lắng đọng bề mặt 32 1.5.3.1 Sự tạo mầm 32 1.5.3.2 Sự phát triển mầm 33 1.5.4 Vai trò lượng việc hình thành cấu trúc nano 34 iv 1.6 Ứng dụng màng phủ nitrua tình hình nghiên cứu Việt Nam 35 CHƯƠNG CHUẨN BỊ MẪU VÀ PHƯƠNG PHÁP NGHIÊN CỨU 39 2.1 Phương pháp chế tạo màng nitrua 39 2.1.1 Chế tạo bia phún xạ 39 2.1.2 Chế tạo màng phủ nitrua 40 2.1.2.1 Chuẩn bị bề mặt mẫu 40 2.1.2.2 Chế tạo màng đơn lớp TiAlXN (X: Si, B, V) 41 2.1.2.3 Chế tạo màng đa lớp TiAlSiN/CrN TiAlBN/CrN 43 2.1.2.4 Thiết bị phún xạ magnetron 44 2.2 Phương pháp thiết bị đặc trưng tính chất màng phủ 45 2.2.1 Thiết bị đo độ cứng nano-indenter 45 2.2.2 Thiết bị đo độ mấp mô bề mặt chiều dày màng phủ 46 2.2.3 Thiết bị đo hệ số ma sát, mài mòn 47 2.2.4 Thiết bị xác định độ bền bám dính 47 2.2.5 Các thiết bị khác 48 CHƯƠNG CHẾ TẠO MÀNG PHỦ CỨNG ĐƠN LỚP TiAlXN (X:Si,B,V) 51 3.1 Tối ưu hóa thơng số trình phún xạ 51 3.1.1 Ảnh hưởng công suất phún xạ đến độ cứng màng TiAlXN .51 3.1.2 Ảnh hưởng áp suất phún xạ đến độ cứng màng TiAlXN 53 3.1.3 Ảnh hưởng khoảng cách bia đế đến độ cứng màng TiAlXN 54 3.2 Chế tạo màng đơn lớp TiAlSiN, TiAlBN TiAlVN 55 3.2.1Màng TiAlSiN 55 3.2.1.1 Ảnh hưởng lưu lượng khí N2 đến cấu trúc thành phần hóa học màng TiAlSiN 55 3.2.1.2 Ảnh hưởng lưu lượng khí N2 đến độ cứng màng TiAlSiN 58 3.2.1.3 Ảnh hưởng lưu lượng khí N2 đến hệ số ma sát mài mòn 61 3.2.1.4 Ảnh hưởng lưu lượng khí N2 đến độ bền bám dính màng 66 3.2.2 Màng TiAlBN 69 3.2.2.1 Ảnh hưởng lưu lượng khí N2 đến cấu trúc thành phần hóa học màng TiAlBN 69 v 3.2.2.2 Ảnh hưởng lưu lượng khí N2 đến độ cứng màng TiAlBN 71 3.2.2.3 Ảnh hưởng lưu lượng khí N2 đến hệ số ma sát mài mòn 73 3.2.2.4 Ảnh hưởng lưu lượng khí N2 đến độ bền bám dính màng 78 3.2.3 Màng TiAlVN 79 3.2.3.1 Ảnh hưởng lưu lượng khí N2 đến cấu trúc thành phần hóa học màng TiAlVN 79 3.2.3.2 Ảnh hưởng lưu lượng khí N2 đến độ cứng màng TiAlVN 83 3.2.3.3 Ảnh hưởng lưu lượng khí N2 đến hệ số ma sát mài mòn 85 3.2.3.4 Ảnh hưởng lưu lượng khí N2 đến độ bền bám dính màng 93 3.2.4 So sánh tính màng chế tạo TiAlSiN, TiAlBN TiAlVN 94 CHƯƠNG CHẾ TẠO MÀNG PHỦ NITRUA ĐA LỚP TiAlX(Si,B)/CrN .97 4.1 Màng đa lớp TiAlSiN/CrN 97 4.1.1 Cấu trúc màng đa lớp TiAlSiN/CrN 97 4.1.1.1 Cấu trúc pha 97 4.1.1.2 Cấu trúc tế vi 98 4.1.2 Độ cứng modul đàn hồi màng đa lớp TiAlSiN/CrN 100 4.1.2.1 Ảnh hưởng chiều dày cặp lớp màng 100 4.2.2.2 Ảnh hưởng số lớp màng 101 4.1.3 Hệ số ma sát màng đa lớp TiAlSiN/CrN 102 4.1.4 Độ bền bám dính màng đa lớp TiAlSiN/CrN 103 4.2 Màng đa lớp TiAlBN/CrN 104 4.2.1 Cấu trúc màng đa lớp TiAlSiN/CrN 104 4.2.1.1 Cấu trúc pha 104 4.2.1.2 Cấu trúc tế vi màng đa lớp 105 4.2.2 Độ cứng modul đàn hồi màng đa lớp TiAlBN/CrN 105 4.2.2.1 Ảnh hưởng chiều dày cặp lớp màng 105 4.2.2.2 Ảnh hưởng số lớp màng 106 4.2.3 Hệ số ma sát màng đa lớp TiAlBN/CrN 107 4.2.4 Độ bền bám dính màng đa lớp TiAlSiN/CrN 108 KẾT LUẬN CHUNG 110 CÁC ĐÓNG GÓP MỚI CỦA LUẬN ÁN 111 CÁC CƠNG TRÌNH KHOA HỌC ĐÃ CƠNG BỐ 112 TÀI LIỆU THAM KHẢO 113 vi DANH MỤC CÁC HÌNH VẼ, ĐỒ THỊ Hình 1.1 Hình 1.2 Hình 1.3 Hình 1.4 Hình 1.5 Hình 1.6 Hình 1.7 Hình 1.8 Lịch sử phát triển loại màng Giá trị độ cứng màng TiAl-XN so sánh với màng TiAlN Ảnh HRTEM màng TiAlBN: a) rpm rpm Ảnh hưởng điện hiệu dịch đến độ cứng modul đàn hồi màng TiAlVN Ảnh hưởng hàm lượng V đến độ cứng modul đàn hồi màng TiAlVN Hệ số ma sát của màng phủ TiAlVN Ảnh hưởng hàm lượng Si đến độ cứng modul đàn hồi màng TiAlSiN Ảnh AFM màng TiAlN, TiAlN/CrN nhiệt độ phòng (a,b) Trang o nhiệt độ 800 C Hình 1.9 Hệ số ma sát màng đa lớp TiAlN/CrN màng đơn lớp TiAlN, CrN Hình 1.10 Ảnh SEM mặt cắt ngang màng đa lớp TiAlN/CrN với chiều dày màng đơn khác Hình 1.11 Ảnh hưởng chiều dày cặp lớp màng TiAlSiN-CrAlYN đến độ cứng màng đa lớp TiAlSiN/CrAlYN Hình 1.12 Cấu trúc tinh thể màng: a) cấu trúc B1, NaCl; b) cấu trúc B4 wutzite Hình 1.13 Cấu trúc tinh thể TiAlN Hình 1.14 Cấu trúc tinh thể màng CrN Hình 1.15 Sơ đồ nguyên lý kỹ thuật lắng đọng hóa học pha (CVD) Hình 1.16 Mơ hình phún xạ Hình 1.17 Sự phân bố phóng điện khí Hình 1.18 Sơ đồ hệ phóng điện cao áp chiều Hình 1.19 Sơ đồ hệ phóng điện cao tần Hình 1.20 Sơ đồ nguyên lý hệ phún xạ magnetron Hình 1.21 Quá trình hình thành màng phủ phương pháp phún xạ Hình 1.22 Quá trình tạo mầm màng Hình 1.23 Các trường hợp phát triển mầm: a) Phát triển mầm theo lớp; b) Phát triển mầm thành đảo; c) Phát triểm mầm hỗn hợp Hình 1.24 Cơ chế hình thành màng bề mặt đế Hình 1.25 Ứng dụng màng nitrua cơng nghiệp Hình 2.1 Sơ đồ cơng nghệ chế tạo bia hợp kim TiAlX hình ảnh bia sau chế tạo 10 10 11 12 13 14 15 16 17 17 18 20 23 25 26 26 28 30 33 33 34 36 40 vii Hình 2.2 T hiết bị mài mẫu (a); Thiết bị rung siêu âm (b); Bề mặt mẫu WC-Co sau xử lý (c) Hình 2.3 Sơ đồ thiết bị phún xạ magnetron Hình 2.4 Sơ đồ chế tạo màng đa lớp TiAlX(Si,B)N/CrN phương pháp phún xạ magnetron Hình 2.5 Bia phún xạ TiAlSi(B) Cr gắn thiết bị phún xạ magnetron Hình 2.6 Thiết bị phún xạ magnetron Viện KITECH, Hàn Quốc Hình 2.7 Thiết bị đo độ cứng nano-indenter Helmut Fisher HM2000 Hình 2.8 Thiết bị đo độ mấp mơ bề mặt chiều dày màng phủ Surfcom 1500SD3 Hình 2.9 Thiết bị đo hệ số ma sát J&L Tech Tribometer Hình 2.10 Thiết bị đo độ bền bám dính Scratch test Hình 2.11 Thiết bị nhiễu xạ tia X, DMAX-2500) Viện KITECH, Hàn Quốc Hình 2.12 Kính hiển vi điện tử quét FE-SEM, Nova NanoSEM 450, FEI Co Hình 2.13 Kính hiển vi quang học HUVITZ- HM-25PO Hình 3.1 Ảnh hưởng công suất phún xạ đến độ cứng màng: (a) TiAlSiN; (b) TiAlBN; (c) TiAlVN Hình 3.2 Bia phún xạ bị nứt vỡ phún xạ cơng suất cao Hình 3.3 Ảnh hưởng áp suất phún xạ đến độ cứng màng: (a) TiAlSiN; (b) TiAlBN; (c) TiAlVN Hình 3.4 Ảnh hưởng khoảng cách bia đế đến độ cứng màng: (a) TiAlSiN; (b) TiAlBN; (c) TiAlVN Hình 3.5 Giản đồ nhiễu xạ tia X màng TiAlSiN lưu lượng dòng khí N2 khác Hình 3.6 Cấu trúc bề mặt màng TiAlSiN chiều dày màng lưu lượng khí N2 khác Hình 3.7 Thành phần hóa học màng TiAlSiN lưu lượng khí N2 sccm sccm Hình 3.8 Mối quan hệ độ cứng kích thước hạt Hình 3.9 Ảnh hưởng lưu lượng dòng khí N2 đến độ cứng màng Hình 3.10 Hệ số ma sát màng lưu lượng khí N2 khác Hình 3.11 Độ mấp mô bề mặt màng TiAlSiN lưu lượng khí N2 Hình 3.12 Đường mài mòn bề mặt màng bi SUJ2 điều kiện ma sát khơ lưu lượng khí N2 khác Hình 3.13 Hệ số ma sát điều kiện dầu bơi trơn lưu lượng khí N2 khác 41 42 43 44 45 46 47 47 48 49 49 50 51 52 53 54 56 57 58 59 60 62 63 64 viii Hình 65 3.14 Đ ường mài mòn bề mặt màng bi mơi trường dầu bơi trơn lưu lượng khí khác Hình 3.15 Ảnh hưởng lưu lượng dòng khí N2 đến độ bền bám dính màng TiAlSiN: a) sccm; b) sccm; c) sccm; d) sccm; e) 10 sccm Hình 3.16 Chế tạo màng TiAlSiN sử dụng lớp trung gian Cr Hình 3.17 Độ bền bám dính màng TiAlSiN lưu lượng khí N sccm: (a) không sử dụng lớp trung gian; (b) sử dụng lớp trung gian Cr Hình 3.18 Giản đồ nhiễu xạ tia X màng TiAlBN lưu lượng khí N khác Hình 3.19 Ảnh SEM màng TiAlBN lưu lượng khí N khác Hình 3.20 Ảnh hưởng lưu lượng dòng khí N2 đến độ cứng màng TiAlBN Hình 3.21 Hệ số ma sát màng TiAlBN lưu lượng khí N khác Hình 3.22 Giá trị độ mấp mơ bề mặt trung bình màng TiAlBN lưu lượng khí N2 khác Hình 3.23 Hình ảnh mấp mô bề mặt màng TiAlBN thiết bị hiển vi nguyên tử lực lưu lượng khí N2 khác Hình 3.24 Đường mài mòn màng TiAlBN lưu lượng khí N khác (trong điều kiện ma sát khơ) Hình 3.25 Hệ số ma sát màng TiAlBN môi trường dầu Hình 3.26 Đường mài mòn màng TiAlBN lưu lượng khí N khác (trong điều kiện dầu GF4) Hình 3.27 Ảnh hưởng lưu lượng dòng khí N2 đến độ bền bám dính màng TiAlBN: a) sccm; b) sccm; c) sccm; d) sccm; e) 10 sccm Hình 3.28 Độ bền bám dính màng TiAlBN: (a) không sử dụng lớp trung gian; (b) Sử dụng lớp trung gian Cr Hình 3.29 Giản đồ nhiễu xạ tia X màng TiAlVN chế tạo lưu lượng khí N2 khác Hình 3.30 Ảnh hưởng lưu lượng khí N đến cấu trúc bề mặt màng TiAlVN: a) sccm; b) 6sccm; c) sccm; 10 sccm Hình 3.31 Ảnh hưởng lưu lượng khí N đến cấu trúc mặt cắt ngang chiều dày màng TiAlVN: a) sccm; b) sccm; c) sccm; 10 sccm Hình 3.32 Ảnh hưởng lưu lượng khí N2 đến thành phần màng TiAlVN Hình 3.33Ảnh hưởng lưu lượng khí N2 đến độ cứng màng 65 66 67 68 69 70 71 73 74 75 76 77 77 78 79 80 81 82 83 84 ix TiAlVN 110 KẾT LUẬN CHUNG Bằng việc tự chế tạo bia phún xạ đa nguyên tố, chế tạo thành công màng phủ cứng đơn lớp – đa nguyên tố TiAlXN (X:Si, B, V) đa lớp – đa nguyên tố TiAlXN/CrN (X: Si, B) hợp kim cứng WC-Co công nghệ phún xạ magnetron, bao gồm bước: (i) chế tạo bia phún xạ đa nguyên tố Ti 50Al40X10 (X:Si, B, V) phương pháp luyện kim bột tiên tiến, (ii) chuẩn bị bề mặt mẫu đế hợp kim WC-Co, (iii) phún xạ magnetron chiều Trong đó, thơng số q trình phún xạ sau: - Công suất phún xạ: 300 W - Áp suất phún xạ: mtor - Khoảng bia đế: 50 mm - Lưu lượng dòng khí Ar: 36 sccm - Lưu lượng dòng khí N2: từ đến 10 sccm - Thời gian phún xạ: 30 phút Đối với màng phủ cứng đơn lớp, khảo sát ảnh hưởng lưu lượng dòng khí N2 đến tính chất loại màng TiAlXN sử dụng hệ bia Ti 50Al40X10 (X:Si, B, V) Cụ thể, xác định lưu lượng dòng khí N tối ưu sccm màng TiAlSiN TiAlVN, màng TiAlBN 4sccm So sánh tính chất màng phủ cứng đơn lớp TiAlXN luận án chế tạo với số liệu công bố giới, cho phép rút kết luận, màng phủ đơn lớp TiAlBN chế tạo có độ cứng cao hệ số ma sát thấp so với công bố giới phương pháp chế tạo Còn màng phủ đơn lớp TiAlSiN TiAlVN chế tạo có độ cứng hệ số ma sát tương đương với công bố giới có phương pháp chế tạo o Màng TiAlVN qua xử lý nhiệt nhiệt độ lớn 600 C có hệ số ma sát thấp so với màng phủ loại không qua xử lý nhiệt hình thành pha Magnéli có khả tự bơi trơn Khi sử dụng lớp trung gian Cr, độ bền bám dính loại màng phủ tăng từ 1,5 đến lần so với không sử dụng lớp trung gian Kết cho thấy độ bền bám dính loại màng sử dụng lớp trung gian Cr Ti (trong nghiên cứu 111 chế tạo màng TiAlVN) đảm bảo độ bền bám dính màng đế (tới hạn lớn 30 N) Đối với màng phủ cứng đa lớp TiAlSiN/CrN TiAlBN/CrN, khảo sát ảnh hưởng chiều dày cặp màng số cặp màng đến độ cứng màng đa lớp Cụ thể, màng phủ đa lớp TiAlSiN/CrN có độ cứng cao giá trị chiều dày cặp màng 245 nm (màng TiAlSiN 127 nm màng CrN 118 nm) tổng số cặp màng cặp (12 lớp) Còn màng TiAlBN/CrN, độ cứng cao giá trị chiều dày cặp màng 232 nm tổng số cặp màng (14 lớp) CÁC ĐÓNG GÓP MỚI CỦA LUẬN ÁN Thông qua việc tự chế tạo bia phún xạ đa nguyên tố Ti50Al40X10 (X:Si, B, V), chế tạo nghiên cứu đặc trưng tính chất màng phủ cứng đơn lớp TiAlXN (X:Si, B, V) đa lớp TiAlXN/CrN (X: Si, B) hợp kim cứng WCCo, công nghệ phún xạ magnetron chiều Màng phủ có tính chất tương đương tốt so với cơng bố giới có phương pháp chế tạo - Đã khảo sát ảnh hưởng lưu lượng dòng khí N2 đến cấu trúc tính chất loại màng đơn lớp TiAlXN(X:Si, B, V) Đặc biệt, xác định tỷ lệ lưu lượng dòng khí Ar : N2 tối ưu trình phún xạ màng phủ cứng đơn lớp TiAlSiN TiAlVN 36 sccm : sccm màng TiAlBN 36 sccm : sccm Đã xác định giá trị tối ưu chiều dày cặp màng số cặp màng để màng phủ cứng đa lớp TiAlSiN/CrN TiAlBN/CrN có tính chất tốt 112 CÁC CƠNG TRÌNH KHOA HỌC ĐÃ CƠNG BỐ I.Tạp chí quốc tế Van Duong Luong, Doan Dinh Phuong, Phan Ngoc Minh, Kyoung Il Moon, Influence of Nitrogen Gas Flow on the Hardness and the Tribological Properties of a TiAlBN Coating Deposited by Using a Magnetron Sputtering Process, Journal of the Korean Physical Society, 70(10) (2017) 929-933 (SCI- IF:0.5) Doan Dinh Phuong, Van Duong Luong, Phan Ngoc Minh, Hyun Jun Park, Kyoung Il Moon, Microstructure, mechanical and tribological behavior of the TiAlVN coatings, Acta Metallurgica Slovaca, 24 (4) (2018), 266-272 (E-SCI) II Tạp chí nước hội nghị quốc tế Van Duong Luong, Doan Dinh Phuong, Nguyen Quang Huan, Do Thi Nhung, Phan Ngoc Minh, Kyoung Il Moon, Synthesis of the TiAlVN coating deposited by magnetron sputtering using a single target, Hội nghị vật lý chất rắn khoa học vật liệu toàn quốc lần thứ X, 2017 T.P Huế (ISBN: 978604-95-0326-9) Van Duong Luong, Dinh Phuong Doan, “Structure and properties of the TiAlBN coatings” The 5th Asian Materials Data Symposium, Oct 30th - Nov 02nd 2016, Hanoi, Vietnam, (ISBN: 978-604-913-500-2) Van Duong Luong, Dinh Phuong Doan “Study on Fabrication of Multilayer TiAlSiN/CrN Coating on WC-Co Substrate by DC Magnetron Sputtering” The 13th Asian Foundry Congress (AFC 13), 2015 (ISBN: 978-604-938-550-6) Van Duong Luong, Dinh Phuong Doan, Kyoung Il Moon, Won Beom Lee “Synthesis and characteristics of multilayer TiAlSiN/CrN coatings” Proceedings of International Workshop on Advanced Materials Science and Nanotechnology, IWAMSN 2014 Lương Văn Đương, Nguyễn Văn Luân, Trần Bảo Trung, Nguyễn Văn An “Nghiên cứu công nghệ phủ màng siêu cứng đa lớp TiAlSiN/CrN hợp kim cứng WC-Co phương pháp phún xạ” Tuyển tập hội nghị khoa học niên Viện Hàn lâm Khoa học Công nghệ Việt Nam lần thứ 13, 2014 (ISBN: 978-604-913-309-1) 113 TÀI LIỆU THAM KHẢO A Cavaleiro, J Th M De Hosson, Nanostructured coating, Springer, 2006 E Q Travis, R F Fiordalice, Manufacturing aspects of low presser chemical-vapor-deposited TiN barrier layers, Thin Solid Films, 1993, 23 6, 325–329 K Kawata, H Sugimura, and O Takai, Effects of chlorine on tribological properties of TiN films prepared by pulsed d.c plasma-enhanced chemical vapor deposition, Thin Solid Films, 2002, 407, 1-2, 38–44 H Liepack, K Bartsch, W Brückner, A Leonhardt, Mechanical behavior of PACVD TiC-amorphous carbon composite layers, Surface and Coatings Technology, 2004, 183, 1, 69–73 N Kumar, R Krishnan, D Dinesh Kumar, S Dash, and A K Tyagi, Tribological properties of nanostructured TiC coatings deposited on steel and silicon substrates using pulse laser deposition technique,” Tribology, 2011, 5, 1, 1–9 A Shanaghi, A R S Rouhaghdam, S Ahangarani, P K Chu, T S Farahani, Effects of duty cycle on microstructure and corrosion behavior of TiC coatings prepared by DC pulsed plasma CVD, Applied Surface Science, 2012, 258, 7, 3051–3057 L Montesano, C Petrogalli, A Pola, M Gelfi, V Sisti, G M La Vecchia, Corrosion and wear behavior of CAE deposited CrN-PVD coatings, Key Engineering Materials, 2014, 577-578, 641–644 C Petrogalli, L Montesano, M Gelfi, G M La Vecchia, and L Solazzi, Tribological and corrosion behavior of CrN coatings: roles of substrate and deposition defects, Surface & Coatings Technology, 2014, 258, 878–885 A Ruden, E R Parra, A U Paladines, F Sequeda, Corrosion resistance of CrN thin films produced by dc magnetron sputtering, Applied Surface Science, 2013, 270, 150-156 10 K Chakrabarti, J J Jeong, S K Hwang, Y C Yoo, C M Lee, Effects of Nitrogen Flow Rates on the Growth Morphology of TiAlN Films Prepared by an rf-Reactive Sputtering Technique, Thin Solid Films, 2002, 406, 159 11 Q Ru, S Hu, Effects of Ti0.5Al0.5N coatings on the protecting against oxidation for titanium alloys, J Rare Metals, 2010, 29, 154-161 12 G G Fuentes, E Almandoz, R Pierrugues, R Martínez, R Rodríguze, J Caro, High temperature tribological characterisation of TiAlSiN coatings produced by cathodic arc evaporation, Surf Coat Technol., 2010, 205, 13681373 Z M Rosli, K W Loon, J M Juoi, et al., Characterization of TiAlBN Nanocomposite Coating Deposited via Radio Frequency Magnetron Sputtering 13 Using Single Hot-Pressed Target, Advanced Materials Research, 2013, 626, 298301 114 Q Jin, H Wang, G Li, J Zhang, J Liu, Microstructures and Mechanical Properties of TiN/CrN Multilayer Films, Rare Metal Materials and Engineering, 2017, 46, 10, 2857-2862 14 15 Y Xu, L Chen F Pei, Y Du, Structure and thermal properties of TiAlN/CrN multilayered coatings with various modulation ratios, Surface and Coatings Technology, 2016, 304, 512-518 16 V T T Thương, Đ A Tuấn, C T T Hằng, L V T Hùng, Nghiên cứu chế tạo màng TiN phương pháp phún xạ magnetron DC số đế khác nhau, Tạp chí phát triển KH&CN, 2014, 17, 65-73 17 Đinh Thị Mộng Cầm, Nguyễn Hữu Chí, Lê Khắc Bình, Trần Tuấn, Nguyễn Thị Hải Yến, Trần Quang Trung, Tổng hợp màng cứng CrN phương pháp phun phủ mạ ion (SIP), Tạp chí phát triển KH&CN, 2007, 10, 5, 13-19 18 Nguyễn Thành Hợp, Nghiên cứu chế tạo lớp phủ cứng đa lớp TiN-TiCN dụng cụ cắt phương pháp hồ quang chân không, Luận văn thạc sĩ, 2009, Trường đại học Bách Khoa Hà Nội 19 Trần Thị Như Hoa, Các lớp phủ đa lớp Ti tinh khiết lớp siêu hợp mạng TiN/CrN xen kẽ nhau, Đại học khoa học tự nhiên, ĐHQGHN 20 S L Romero, J C Ramírez, Synthesis of TiC thin films by CVD from toluene and titanium tetrachloride with nickel as catalyst Revista Matéria, 2007, 12, 3, 487 – 493 21 N Ghobad , M Ganji, C Luna, A Arman, A Ahmadpourian, Effects of substrate temperature on the properties of sputtered TiN thin films, Journal of Materials Science: Materials in Electronics, 2016, 27, 3, 2800–2808 22 X Huang, I Etsion, T Shao, Effects of elastic modulus mismatch between coating and substrate on the friction and wear properties of TiN and TiAlN coating systems, Wear, 2015, 338-339, 54-61 23 T Chengjian, K Dejun, Effects of wear speeds on friction-wear behaviours of cathode arc ion plated TiAlSiN coatings at high temperatures J Tribology Materials, Surfaces & Interfaces, 2017, 11, 2, 66-74 24 C Rebholz, M A Monclus, M A Baker, P H Mayrhofer, P N Gibson, A Leyland, A Matthews, Hard and superhard TiAlBN coatings deposited by twin electron-b eam evaporation, Surface & Coatings Technology, 2007, 201, 6078 – 6083 25 Q Ru, S Hu, N Huang, L Zhao, X.Qiu, X Hu, Properties of TiAlCrN coatings prepared by vacuum cathodic arc ion plating, Rare Metals, 2008, 27, 3, 251-256 26 F Lomello, M A P Yazdi, F Sanchette, F Schuste, M Tabarant, A Billard, Temperature dependence of the residual stresses and mechanical properties in TiN/CrN nanolayered coatings processed by cathodic arc deposition Surface and Coatings Technology, 2014, 238, 216-222 27 R N Ibrahim, M A Rahmat, R H Oskouei, R K Singh Raman, Monolayer TiAlN and multilayer TiAlN/CrN PVD coatings as surface modifiers to mitigate 115 fretting fatigue of AISI P20 steel, Engineering Fracture Mechanics, 2015, 137, 64-78 28 P V Badiger, V Desai, M R Ramesh, Development and Characterization of Ti/TiC/TiN Coatings by Cathodic Arc Evaporation Technique Transactions of the Indian Institute of Metals, 2017, 70, 9, 2459-2464 29 S Y Yoon, K O Lee, S S Kang, K H Kim, Comparison for mechanical properties between TiN and TiAlN coating layers by AIP technique, Journal of Materials Processing Technology, 2002, 130–131, 260–265 30 Z Hui, W X Hui, L Q Lei, C L Ja, L Zheng, Trans Noneferrous Met Soc China 20 (2010 ) 679-682 31 D H Jung, K I Moon, S Y Shin, C S Lee, Influence of ternary elements (X = Si, B, Cr) on TiAlN coating deposited by magnetron sputtering process with single alloying targets, Thin Solid Films, 2013, 546, 242–245 32 N D Nam, M Vaka, N T Hung, Corrosion behavior of TiN, TiAlN, TiAlSiN-coated 316L stainless steel in simulated proton exchange membrane fuel cell environment Journal of Power Sources, 2014, 268, 240-245 33 C Feng, L Xin, S Zhu, Z Shao, The Effects of N2 Flow Rates on the Properties of Ti-Al-Si-N Films Deposited by Arc Ion Plating, Applied Mechanics and Materials, 2013, 291-294, 2694-2697 34 Q Ma, L Li, Y Xu, J Gu, L Wang, Y Xu, Effect of bias voltage on TiAlSiN nanocomposite coatings deposited by HiPIMS, Applied Surface Science, 2017, 392, 826–833 35 C Rebholz, J M Schneider, A A Voevodin, J Steinebrunner, C Charitidis , S Logothetidis , A Leyland, A Matthews, Structure, mechanical and tribological properties of sputtered TiAlBN thin films, Surface and Coatings Technology, 1999, 113, 126–133 36 J K Park, J Y Cho, H T Jeon, Y J Baik, Structure, hardnes s and thermal stability of TiAlBN coatings grown by alternating depositio n of TiAlN and BN, Vacuum, 2010, 84, 483–487 37 Z M Rosli, Z Mahamud, W L Kwan, J M Juoi, K T Lau, Chemical Composition Analysis of TiAlBN Nanocomposite Coating Deposited via RF Magnetron Sputtering, Key Engineering Materials, 2014, 594-595, 551-555 38 C F Wang, S F Ou, S.Y Chiou, Microstructures of TiN, TiAlN and TiAlVN coatings on AISI M2 steel deposited by magnetron reactive sputtering, Trans Nonferrous Met Soc China, 2014, 24, 2559−2565 39 M Pfeiler, K Kutschej, M Penoy, C Michotte, C Mitterer, M Kathrein The influence of bias voltage on structure and mechanical/tribological properties of arc evaporated Ti –Al –V – N coatings Surface and Coatings Technology, 2007, 202, 1050 – 1054 40 M Pfeiler, K Kutsche, M Penoy, C Michotte, C Mitterer, M Kathrein, The effect of increasing V content on structure, mechanical and tribological properties of arc evaporated Ti–Al–V–N coatings Int Journ al of Refractory Metals & Hard Materials, 2009, 27, 502–506 116 41 W Tillmann, T Sprute, F Hoffmann, Y Y Chang, C Y Tsai, Influence of bias voltage on residual stresses and tribological properties of TiAlVN-coatings at elevated temperatures, Surface & Coatings Technology, 2013, 231, 122–125 42 W Tillmann, S Momeni, F Hoffmann, A study of mechanical and tribological properties of self-lubricating TiAlVN coatings at elevated temperatures, Tribology International, 2013, 66, 324 –329 43 W Tillmann, E Vogli, S Momeni, Development of wear resistant pressing moulds for the production of diamond composites, Journal of Materials Processing Technology, 2009, 209, 4268–4273 44 A M Abd El-Rahman, Synthesis and annealing effects on the properties of nano structured TiAlVN coatings deposited by plasma enhanced magnetron sputtering, Materials Chemistry and Physics, 2015, 149-150, 179-187 45 C Feng , S Zhu, M Li, L Xin, F Wang, Effects of incorporation of Si or Hf on the microstructure and mechanical properties of Ti–Al–N films prepared by arc ion plating (AIP), Surface & Coatings Technology, 2008, 202, 3257– 3262 46 W Tillmann, M Dildrop, Influence of Si content on mechanical and tribological properties of TiAlSiN PVD coatings at elevated temperatures, Surface & Coatings Technology, 2017, 321, 448–454 47 Q Ma, L Li, Y Xu, X Ma, Y Xu, H Liu, Effect of Ti content on the microstructure and mechanical properties of TiAlSiN nanocomposite coatings, Int Journal of Refractory Metals and Hard Materials, 2016, 59, 114–120 48 S Kang, L DaMeng, S TianMin, Microstructure and mechanical properties of TiAlSiN nano-composite coatings deposited by ion beam assisted deposition, SCIENCE CHINA -Technological Sciences, 2015, 58, 10, 1682– 1688 49 H C Barshilia, A Jain, K S Rajam, Structure, hardness and thermal stability of nanolayered TiN/CrN multilayer coatings, Vacuum, 2004, 72, 241– 248 50 H C Barshilia, M S Prakash, A Jain, K.S Rajam, Structure, hardness and thermal stability of TiAlN and nanolayered TiAlN/CrN multilayer films, Vacuum, 2005, 77, 169–179 51 S M Yang , Y Y Chang, D Y Lin, D Y Wang, W Wu, Mechanical and tribological properties of multilayered TiSiN/CrN coatings synthesized by a cathodic arc deposition process, Surface & Coatings Technology, 2008, 202 2176 – 2181 52 C L Chang, J Y Jao, W Y Ho, D Y Wang, Influence of bi-layer period thickness on the residual stress, mechanical and tribological properties of nanolayered TiAlN/CrN multi-layer coatings, Vacuum, 2007, 81, 604 – 609 53 P L Sun, C H Hsu, S H Liu, C Y Su, C K Lin, Analysis on microstructure and characteristics of TiAlN/CrN nano-multilayer films deposited by cathodic arc deposition, Thin Solid Films, 2010, 518, 7519 – 7522 54 D A Delisle, J E Krzanowski, Surface morphology and texture of TiAlN/CrN multilayer coatings, Thin Solid Films, 2012, 524, 100 –106 55 X Sui, G Li, C Jiang, K Wang, Y Zhang, J Hao, Q Wang, Improved toughness of layered architecture TiAlN/CrN coatings for titanium high speed cutting, Ceramics International, 2018, 44, 5629–5635 117 56 Y Y Chang, C P Chang, H Y Kao, High temperature oxidation resistance of multilayered Al xTi − xN/CrN coatings, Thin Solid Films, 2011, 519, 6716 – 6720 57 N Fukumoto, H Ezura, T Suzuki, Synthesis and oxidation resistance of TiAlSiN and multilayer TiAlSiN/CrAlN coating, Surface & Coatings Technology, 2009, 204, 902–906 58 T Mori, M Noborisaka, T Watanabe, T Suzuki, Oxidation resistance and hardness of TiAlSiN/CrAlYN multilayer fi lms deposited by the arc ion plating method, Surface & Coatings Technology, 2012, 213, 216–220 59 c-TiN, PDF No.38-1420 JCPDS, - International center for diffraction data, 1998 60 J E Sundgren, B O Johansson, A Rocket, S A Barnett, J E Green, Physics of and Chemisty of protecive coatings, American insitute of physics, Universal City, 1985 61 H Ljungcrantz, M Odén, L Hultman, J.E Greene, J E Sundgren, J Appl Phys 1996, 80, 6725 62 K Khojier, H Savaloni, E Shokrai, Z Dehghani, N Z Dehnavi, Influence of argon gas flow on mechanical and electrical properties of sputtered titanium nitride, Journal of Theoretical and Applied Physics, 2013, 7-37 63 B Alling, A.V Ruban, A Karimi, O.E Peil, S.I Simak, L Hultman, I.A Abrikosov, Phys Rev B, 2007, 75, 045123 64 A Hörling, L Hultman, M Odén, J Sjölén, L Karlsson, J Vac Technol A 2002, 20, 1815 65 Y Makio, S Miyake, structural change and properties of pseudobinary nitrides containing AlN, Trans JWRI, 2001, 30, 39-43 66 H Bückle, J H Westbrook, H Conrad (Eds.), The Science of Hardness Testing and Its Research Applications, ASME, 1973, 453 67 Y T Cheng, C M Cheng, Scaling, dimensional analysis, and indentation measurements, Materials Science and Engineering: R: Reports, 2004, 44, 4-5, 91-149 68 D Chicot, D Mercier, F Roudet, K Silva, M H Staia, J Lesage, Comparison of instrumented Knoop and Vickers hardness measurements on various soft materials and hard ceramics, Journal of the European Ceramic Society, 2007, 27, 4, 1905-1911 69 B.G David, B Pascal, Molecular dynamics for low temperature plasma– surface interaction studies, Journal of Physics D: Applied Physics, 2009, 42, 194011 70 X Zhou, H Wadley, R.A Johnson, D Larson, N Tabat, A Cerezo, A Petford-Long, G Smith, P Clifton, R Martens, Atomic scale structure of sputtered metal multilayers, Acta Materialia, 2001, 49, 4005-4015 71 C H Shon, J K Lee, H J Lee, Y Yang, and T H Chung, Velocity Distributions in Magnetron Sputter, IEEE Transactions On Plasma Science, 1998, 26, 72 H Brune: Microscopic View of Epitaxial Metal Growth: Nucleation and Aggregation Surf Sci Rep 1998, 31, 121-229 73 M A Herman, H Sitter: Molecular Beam Epitaxy: Fundamentals and Current Status, 2nd ed (Springer, Berlin 1996) 118 74 Lê Trần, Trần Văn Phương, Trần Tuấn, Nguyễn Hữu Chí, Nghiên cứu chế tạo màng TiN phương pháp phún xạ phản ứng magnetron DC, Tạp chí phát triển KH&CN, 2008, 11, 10, 51-60 75 Y.Y Chang, D Y Wang, C Y Hung, Structural and mechanical properties of nanolayer ed TiAlN/CrN coatings synthesized by a cathodic arc deposition process, Surface & Coatings Technology, 2005, 200, 1702 – 1708 76 D B Lewis, I Wadsworth, W D Munz, R KuzelJr, V Valvoda, Structure and stress of TiAlN/CrN superlattice coatings as a function of CrN layer thickness, Surface and Coatings Technology, 1999, 116–119, 284–291 77 N Saoula, K Henda, R Kesri, Influence of Nitrogen Content on the Structural and Mechanical Properties of TiN Thin Films, J Plasma Fusion Res 2009, 8, 1403-1407 78 K Khojier, H Savaloni, E Shokrai, Z Dehghani, N Z Dehnavi, Influence of argon gas flow on mechanical and electrical properties of sputtered titanium nitride thin films, Journal of Theoretical and Applied Physics, 2013, - 37 79 J Kovac, H R Stock, H W Zoch, Influence of Substrate Bias Voltage on the Properties of Sputtered Aluminum-Scandium Thin Sheets, Journal of Surface Engineered Materials and Advanced Technology, 2012, 2, 115-119 80 L Jakab-Farkas, S Papp, D Biró, Effect of N Concentration on Microstructure Evolution of the Nanostructured (Al, Ti, Si)N Coatings Prepared by d.c Reactive Magnetron Sputtering, Scientific Bulletin of the Petru Maior University of Tirgu Mures, 2009, 6, 173-178 81 S N Dub, A A Goncharov, V V Petukhov, Effect of Nitrogen on Mechanical Properties of Thin Films, Journal of Superhard Materials, 2009, 31, 2, 71–77 82 V A Belousa, A S Kuprina, S N Dubb, V D Ovcharenkoc, G N Tolmachevac, E N Reshetnyakc, I I Timofeevac, and P M Litvin, Structure and Mechanical Properties of Ti–Al–Si–N Protective Coatings Deposited from Separated Plasma of a Vacuum Arc, Journal of Superhard Materials, 2013, 35, 1, 20–28 83 F Cao, P Munroe, Z Zhou, Z Xie, Mechanically robust TiAlSiN coatings prepared by pulsed-DC magnetron sputtering system: Scratch response and tribological performance, Thin Solid Films, 2018, 645, 222–230 84 X Wang, J Xu, S Ma, K Xu, Effects of annealing temperature on the microstructure and hardness of TiAlSiN hard coatings, Chinese Science Bulletin, 2011, 56, 16, 1727-1731 85 S PalDeys, S C Deevi, Single layer and multilayer wear resistant coatings of (TiAl)N: a review, Mater Sci Eng A, 2003, 342, 58-79 86 P Hviščová, F Lofaj, M Novák, The influence of deposition conditions on the nanohardness and scratch behavious of thin dc magnetron sputtered CrN coatings, Powder Metallurgy Progress, 2013, 13, 3-4, 121-131 87 J L M Courter, Resistance of automotive clearcoats: I Relationship to coating mechanical properties J Coat Tech., 1997, 69, 57–63 88 C M Seubert; M E Nichols, Scaling behavior in the scratching of automotive clearcoats J Coat Tech Res., 2007, 4, 21–30 89 R A Ryntz, B D Abell, G M Pollano, L H Nguyen, W C Shen, Scratch resistance of model coating systems J Coat Tech., 2000, 72, 47–53 119 90 I Zukerman, A Raveh, Y Shneor, R Shneck, J.E Klemberg-Saphieha, L Martinu, Internal stress in TiAlBN at high temperatures, Surf Coat Technol 2007, 201, 6161-6166 91 Z M Rosli, Z Mahamud, W L Kwan, J M Juoi, K T Lau, Chemical Composition Analysis of TiAlBN Nanocomposite Coating Deposited via RF Magnetron Sputtering, Key Eng Mater 2014, 594-595, 551-555 92 C Rebholz, J M Schneider, A A Voevodin, J Steinebrunner, C Charitidis, ect., Structure, mechanical and tribological properties of sputtered TiAlBN thin films, Surface and Coatings Technology, 1999, 113, 126-133 93 K Kutschej, P H Mayrhofer, M Kathrein, P Polcik, R Tessadri, C Mitterer, Surf Coat Technol., 2005, 200, 2358 94 A E Santana, A Karimi, V H Derflinger, A Schütze, Thin Solid Films, 2004, 469–470, 339 95 F Ali, B S Park, J S Kwak, The impact of surface morphology on TiAlN film’s properties, J Ceramic Processing Research, 2013, 14, 529-534 96 Z L Wu, Y G Li, B Wu, M K Lei, Effect of microstructure on mechanical and tribological properties of TiAlSiN nanocomposite coatings deposited by modulated pulsed power magnetron sputtering, Thin Solid Films, 2015, 597, 197–205 97 C H Yu, Temperature dependence of strain, microstructure and hardness in arc deposited TiAlNbN, TiAlVN and TiAlCrN coatings, Linköping University, 2016 98 R Franz, C Mitterer, Vanadium containing self-adaptive low-friction hard coatings for high-temperature applications: a review, Surface and Coatings Technology, 2013, 228, 1–13 99 S M Aouadi, H Gao, A Martini, T W Scharf, C Muratore, Lubricious oxide coatings for extreme temperature applications: Areview, Surface & Coatings Technology, 2014, 257, 266–277 100 F Ali, B S Park, J S Kwak, Effect of number of bi-layers on properties of TiN/TiAlN multilayer coatings, Journal of Ceramic Processing Research, 2013, 14, 4, 476-479 101 Y Matsui, M Hiratani, Y Nalamura, I Asano, F Yano, Formation and oxidation properties of (Ti1-xAlx)N thin films prepared by dc reactive sputtering, J Vac Sci Technol A, 2002, 20, 605-611 102 S Vepreck, A S Argon, Towards the understanding of mechanical properties of super- and ultrahard nanocomposites, J Vac Sci Technol B, 2002, 20, 650-664 103 Magonov S N, Handbook of Surfaces and Interfaces of Materials, 2001, 2, edited by Nalwa H R (Academic Press, USA), 393 104 K L Johnson, Contact Mechanics, Cambridge University Press, Cambrige, 1985 105 S J Bull, D S Rickerby, New developments in the modelling of the hardness and scratch adhesion of thin films, Surface and Coating Technology, 1990, 42, 2, 149-164 120 106 M Panjan, S Šturm, P Panjan, M Čekada, TEM investigation of TiAlN/CrN multilayer coatings prepared by magnetron sputtering, Surface & Coatings Technology, 2007, 202, 815 – 819 107 Q Luo, W M Rainforth, W D Munz, TEM observations of wear mechanisms of TiAlCrN and TiAlNrCrN coatings grown by combined steeredarcrunbalanced magnetron deposition, Wear, 1999, 225–229, 74–82 108 Nguyễn Năng Định, Vật lý kỹ thuật màng mỏng, Nhà xuất ĐHQG Hà Nội, 2005 109.K L Johnson, Contact Mechanics, Cambridge University Press, Cambrige, 1985 110.Bückle, H (1973) in: J.H Westbrook, H Conrad (Eds.), The Science of Hardness Testing and Its Research Applications, ASME, Metal Park, OH, p 453 111.Bull, S.J.; Page, T.F & Yoffe, E.H An explanation of the identification size effect in ceramics Philosophical Magazine Letters 1989, 59, 6, 281-288 112.Bull, S.J., Rickerby, D.S New developments in the modelling of the hardness and scratch adhesion of thin films Surface and Coating Technology, 1990, 42, 2, 149-164 113.Cheng, Y T., Cheng, C M Scaling, dimensional analysis, and indentation measurements Materials Science and Engineering: R: Reports, 2004, 44, 4-5, 91-149 114.Chicot, D.; Mercier, D.; Roudet, F.; Silva, K.; Staia, M.H., Lesage, J Comparison of instrumented Knoop and Vickers hardness measurements on various soft materials and hard ceramics, Journal of the European Ceramic Society, 2007, 27, 4, 1905-1911 115.Chicot, D.; Roudet, F.; Soom, A., Lesage J Interpretation of instrumented hardness measurements on stainless steel with different surface preparations Surface Engineering, 2007, 23, 1, 32-39 116.K L Johnson, Contact Mechanics, Cambridge University Press, Cambrige, 1985 117.Chicot, D.; Bemporad, E.; Galtieri, G.; Roudet, F.; Alvisi, M., Lesage, J., Analysis of data from various indentation techniques for thin films intrinsic hardness modelling Thin Solid Films, 2008, 516, 8, 1964-1971 118 in porous alloys, Metall Mater Trans A, 2000, 31, 3091 – 3099 119.I Cristofolini, A Molinari, G Straffelini, P.V Muterlle, A systematic approach to design against wear for Powder Metallurgy (PM) steel parts: the case of dry rolling– sliding wear, Mater Des., 2011, 32, 2191 – 2198 120 Handbook of physical vapor deposition (PVD) processing , Ed.Donald M Mattox, Noyes Publications, New Jersey, 663p,1998 ... DỤC VÀ ĐÀO TẠO HỌC VIỆN KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ - LƯƠNG VĂN ĐƯƠNG NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO VÀ ĐẶC TRƯNG TÍNH CHẤT CỦA MÀNG PHỦ NITRUA TRÊN NỀN HỢP KIM CỨNG WC- Co BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON. .. phương pháp phún xạ magnetron đặc trưng tính chất màng phủ đa lớp Phương pháp nghiên cứu Luận án thực phương pháp thực nghiệm Phần lớn thí nghiệm chế tạo màng phủ đo đạc đặc trưng tính chất màng phủ. .. lựa chọn là: Nghiên cứu chế tạo đặc trưng tính chất màng phủ nitrua hợp kim cứng WC- Co phương pháp phún xạ magnetron Đối tượng luận án - Màng đơn lớp TiAlXN (X: Si, B, V) - Màng đa lớp TiAlXN/CrN