... trình chế tạo cấu trúc vi cộng hưởng 1D Phần trình bày chi tiết bước tiến hành chế tạo cấu trúc vi cộng hưởng quang tử 1D 3.2 Thiết kế chế tạo cấu trúc vi cộng hưởng quang tử 1D Cấu trúc vi cộng hưởng. .. Nghiên cứu, chế tạo khảo sát tính chất phát xạ laser vi cộng hưởng định hướng ứng dụng cảm biến quang lựa chọn làm đề tài nghiên cứu luận án Mục tiêu nghiên cứu luận án i) Nghiên cứu chế tạo. .. nồng độ thấp Các nội dung nghiên cứu luận án i) Nghiên cứu chế tạo cấu trúc vi cộng hưởng quang tử 1D làm silic xốp ii) Tính tốn mô đặc trưng quang học cấu trúc vi cộng hưởng quang tử 1D theo phương