Tài liệu hạn chế xem trước, để xem đầy đủ mời bạn chọn Tải xuống
1
/ 29 trang
Thông tin tài liệu
... trình chế tạo cấu trúc vi cộng hưởng 1D Phần trình bày chi tiết bước tiến hành chế tạo cấu trúc vi cộng hưởng quang tử 1D 3.2 Thiết kế chế tạo cấu trúc vi cộng hưởng quang tử 1D Cấu trúc vi cộng hưởng. .. cộng hưởng (Δλ) cảm biến quang trước sau tiếp xúc với chất cần phân tích quang Fabry-Perot 13 4.2 Cấu trúc vi cộng hưởng quang tử 1D cho ứng dụng cảm biến Trước mẫu cảm biến sử dụng để làm cảm biến. .. 3.1 Nguyên lý, qui trình chế tạo cấu trúc vi cộng hưởng quang tử 1D làm silic xốp 3.1.1 Nguyên lý chế tạo Phần đưa nguyên lý chế tạo cấu trúc vi cộng hưởng quang tử 1D làm silic xốp dựa phương