Đang tải... (xem toàn văn)
Cảm biến khí (gas sensor) có nhiều ứng dụng trong thực tiễn như thiết bị cảnh báo cháy nổ, điều khiển quá trình cháy của động cơ đốt trong, chẩn đoán bệnh trong y học, đo đạc nồng độ cồn (C 2 H OH) trong hơi thở, kiểm tra chất lượng sản phẩm công nghiệp (hóa chất, thực phẩm, mĩ phẩm), kiểm soát sự phát thải khí từ các nhà máy hóa chất nhằm bảo vệ bầu khí quyển và sức khỏe con người. Không khí bị ô nhiễm là do các khí độc hại như CO, CO 2 , H 2 S, NH 3 5 , NO , NO… từ quá trình sản xuất công nghiệp, quá trình cháy của các loại nhiên liệu hóa thạch và từ các phương tiện giao thông. Các loại khí gây hiệu ứng nhà kính (CO 2 , CH 4 2 …), khí dễ cháy nổ (H , LPG…) và những khí độc hại khác khó có thể phát hiện và đo đạc bằng chính giác quan của con người mà phải sử dụng các thiết bị gọi là mũi điện tử (electric nose). Cảm biến đóng vai trò chuyển đổi thông tin về nồng độ khí thành tín hiệu điện làm đầu vào của hệ thống đo lường, điều khiển và trở thành bộ phận trong hệ thống tự động, người máy. Việc phát hiện và cảnh báo sự có mặt của các khí độc hại có nồng độ cỡ ppm nhằm kiểm soát chất lượng không khí trong môi trường sống là rất cần thiết và quan trọng đối với con người và sản xuất. Cảm biến không chỉ phân tích định tính mà còn phân tích định lượng các loại khí trong môi trường đòi hỏi cảm biến khí phải có độ đáp ứng cao, độ nhạy cao và tính chọn lọc tốt. Các thiết bị đã được nghiên cứu để đo đạc nồng độ khí như sắc kí khí (chromatographs), quang phổ kế hồng ngoại (infrared spectrometers), quang phổ kế khối lượng (mass spectrometers), thiết bị phân tích phổ linh động ion … thường có giá thành cao, cấu tạo phức tạp, các thiết bị phụ trợ đi kèm cồng kềnh, thời gian phân tích kéo dài… thường được lắp đặt cố định tại phòng thí nghiệm, không thích hợp cho việc phân tích trực tiếp tại hiện trường. Cảm biến khí trên cơ sở oxit kim loại bán dẫn có độ nhạy cao, công suất tiêu thụ bé, có thể phân tích được nhiều loại khí khác nhau, nhiệt độ làm việc rộng từ nhiệt độ phòng đến vài trăm độ C, nguyên lí làm việc đơn giản, dải nồng độ khí đo rộng, bền và ổn định, có thể thực hiện phép đo trực tiếp trong môi trường cần phân tích, dễ kết hợp với các thiết bị điều khiển khác 2 [1 7 1] . Các oxit kim loại bán dẫn được nghiên cứu nhiều cho đến nay là ZnO, SnO 2 , WO , TiO 2 , In 2 O … có tính chất độc đáo là độ dẫn hay điện trở của nó thay đổi khi tiếp xúc với khí thử (khí oxi hóa hoặc khí khử) bằng cách trao đổi điện tử giữa vật liệu nhạy và các phân tử khí làm thay đổi nồng độ hạt tải (electron hoặc lỗ trống) trong lớp oxit bán dẫn, dựa vào sự thay đổi điện trở có thể biết được nồng độ khí đến màng vật liệu. Cảm biến độ dẫn phù hợp cho phát hiện khí oxi hóa hoặc khí khử trong vùng nồng độ thấp, cảm biến khí 3 nhiệt xúc tác phù hợp cho phát hiện khí cháy nổ trong vùng nồng độ cao [ 5 ] . Vật liệu kích thước nano có đường kính cỡ độ lớn của chiều dài Debye nên có sự thay đổi lớn về độ dẫn khi có tác động trên bề mặt, tỉ lệ diện tích trên thể tích lớn nên khả năng trao đổi điện tử với khí thử được tăng cường và cho độ nhạy lớn. Các vật liệu oxit kim loại có giá thành hạ, thân thiện với môi trường, dễ dàng chế tạo bằng các phương pháp vật lí, hóa học khác nhau và có thể thu được nhiều hình thái cấu trúc nano khác nhau như hạt nano (0D, không chiều), dây nano/thanh nano (1D, một chiều), tấm nano (2D, hai chiều), hoa nano (3D, ba chiều). Nhược điểm chung của cảm biến khí bán dẫn trên cơ sở oxit kim loại là nhiệt độ làm việc thường rất cao (300-500 C) (tuy nhiên lại có thể phù hợp với môi trường khắc nghiệt nhiệt độ cao), tính chọn lọc kém (nhạy đồng thời với nhiều loại khí) nên khó nhận biết được loại khí cụ thể, tính chất nhạy khí phụ thuộc vào nhiều yếu tố như kích thước hạt, hình thái học của hạt tinh thể, chất xúc tác, cấu hình điện cực, điều kiện hoạt động … 3 , CuO, Fe 2 O [ 7 0 ] . 3
Trang DANH MỤC CÁC TỪ VIẾT TẮT DANH MỤC CÁC BẢNG DANH MỤC CÁC HÌNH VẼ VÀ ĐỒ THỊ MỞ ĐẦU 13 CHƢƠNG I TỔNG QUAN 16 1.1 Vật liệu nano WO3 16 1.1.1 Công nghệ nano vật liệu nano 16 1.1.2 Cấu trúc tinh thể WO3 18 1.1.3 Tính chất bán dẫn WO3 19 1.2 Các phương pháp chế tạo vật liệu WO3 cấu trúc nano 21 1.2.1 Phương pháp sol-gel 21 1.2.2 Phương pháp lắng đọng pha hóa học (CVD) 22 1.2.3 Phương pháp hóa ướt 22 1.2.4 Phương pháp lắng đọng pha vật lí (PVD) 23 1.2.5 Phương pháp thủy nhiệt (hydrothermal) 24 1.2.6 Các kết chế tạo nano WO3 phương pháp khác 26 1.3 Cảm biến khí 29 1.3.1 Cảm biến khí 29 1.3.2 Cảm biến khí bán dẫn 30 1.3.3 Các đặc trưng cảm biến khí 31 1.4 Đặc trưng nhạy khí vật liệu WO3 cấu trúc nano 35 1.4.1 Tình hình nghiên cứu giới 35 1.4.2 Tình hình nghiên cứu nước 38 1.4.3 Một số vật liệu nhạy khí NH3 nghiên cứu 40 1.5 Sơ lược chế nhạy khí vật liệu oxit kim loại 41 1.5.1 Oxit bán dẫn loại n 41 1.5.2 Oxit bán dẫn loại p 43 1.6 Các kĩ thuật phân tích dùng nghiên cứu vật liệu nano 44 1.6.1 Hiển vi điện tử quét (SEM) 44 1.6.2 Hiển vi điện tử truyền qua (TEM) 45 1.6.3 Phân tích tán sắc lượng tia X (EDS) 45 1.6.4 Nhiễu xạ tia X (XRD) 46 1.7 Kết luận chương I 46 CHƢƠNG II THỰC NGHIỆM 47 2.1 Chế tạo hạt nano WO3 47 2.1.1 Quy trình thực nghiệm 47 2.1.2 Kết chế tạo hạt nano WO3 48 2.2 Chế tạo nano WO3 49 2.2.1 Quy trình thực nghiệm 49 2.2.2 Các yếu tố ảnh hưởng đến hình thái nano WO3 50 2.2.3 Cơ chế hình thành nano WO3 chế tạo kĩ thuật thủy nhiệt 54 2.2.4 Cấu trúc tinh thể thành phần nguyên tố nano WO3 56 2.2.5 Sự thay đổi hình thái, cấu trúc WO3 sau ủ nhiệt 57 2.3 Chế tạo nano CuO 58 2.3.1 Quy trình thực nghiệm 58 2.3.2 Kết chế tạo nano CuO 58 2.3.3 Kết chế tạo tổ hợp nano WO3/thanh nano CuO 59 2.4 Chế tạo nano Fe2O3 61 MỤC LỤC 2.4.1 Quy trình thực nghiệm 61 2.4.2 Kết chế tạo nano Fe2O3 61 2.4.3 Kết chế tạo tổ hợp nano WO3/thanh nano Fe2O3 61 2.5 Chế tạo micro ZnO/tấm nano ZnO 63 2.5.1 Quy trình thực nghiệm 64 2.5.2 Kết chế tạo micro ZnO 64 2.5.3 Kết chế tạo nano ZnO 65 2.5.4 Kết chế tạo tổ hợp nano WO3/thanh micro ZnO 66 2.5.5 Kết chế tạo tổ hợp nano WO3/tấm nano ZnO 66 2.6 Chế tạo màng đo đặc trưng nhạy khí 67 2.7 Kết luận chương II 70 CHƢƠNG III TÍNH CHẤT NHẠY KHÍ CỦA VẬT LIỆU NANO WO3 THUẦN 71 3.1 Đặc tính nhạy khí hạt nano WO3 71 3.1.1 Sự phụ thuộc điện trở WO3 vào nhiệt độ làm việc 71 3.1.2 Đặc trưng von-ampe dòng điện qua lớp vật liệu hạt nano WO3 72 3.1.3 Kết đo đặc trưng nhạy khí hạt nano WO3 72 3.1.4 Cơ chế hấp phụ oxi khí lên bề mặt bán dẫn 75 3.1.5 Ảnh hưởng nhiệt độ làm việc đến độ nhạy khí 77 3.2 Đặc tính nhạy khí nano WO3 78 3.2.1 Sự phụ thuộc điện trở vào nhiệt độ làm việc đặc trưng von-ampe dòng điện qua lớp màng nano WO3 78 3.2.2 Đặc trưng nhạy khí nano WO3 miền nhiệt độ thấp 79 3.2.3 Đặc trưng nhạy khí nano WO3 miền nhiệt độ cao 82 3.2.4 Cơ chế nhạy khí 83 3.3 Kết luận chương III 84 CHƢƠNG IV ĐẶC TÍNH NHẠY KHÍ CỦA VẬT LIỆU TỔ HỢP NANO WO3 85 4.1 Vật liệu tổ hợp nano WO3 nano CuO 85 4.1.1 Tính chất nhạy khí nano CuO 85 4.1.2 Tính chất nhạy khí tổ hợp nano WO3/thanh nano CuO 86 4.2 Vật liệu tổ hợp nano WO3 nano Fe2O3 94 4.2.1 Tính chất nhạy khí nano Fe2O3 94 4.2.2 Tính chất nhạy khí tổ hợp nano WO3/thanh nano Fe2O3 95 4.2.3 Cơ chế nhạy khí 103 4.3 Vật liệu tổ hợp nano WO3 micro ZnO 104 4.3.1 Tính chất nhạy khí micro ZnO 104 4.3.2 Tính chất nhạy khí tổ hợp nano WO3/thanh micro ZnO 106 4.4 Vật liệu tổ hợp nano WO3 nano ZnO 109 4.4.1 Tính chất nhạy khí nano ZnO 109 4.4.2 Tính chất nhạy khí tổ hợp nano WO3/tấm nano ZnO 111 4.5 Kết luận chương IV 116 KẾT LUẬN VÀ KIẾN NGHỊ 118 TÀI LIỆU THAM KHẢO 119 DANH MỤC CÁC CƠNG TRÌNH ĐÃ CƠNG BỐ CỦA LUẬN ÁN 134 DANH MỤC CÁC TỪ VIẾT TẮT Viết tắt 0D 1D AAO at.% a.u BET CNTs CTAB CVD cps DC EDS FET GLAD HFCVD HRTEM JCPDS Tên tiếng Anh Tên tiếng Việt zero dimension không chiều one dimension chiều Anodic Aluminum Oxide Nhôm oxit anot hóa atom percent phần trăm nguyên tử arbitrary unit đơn vị tùy ý Brunauer – Emmet – Teller/Phương pháp tính diện tích bề mặt riêng Carbon Nanotubes Ống nano cacbon cetyl trimethyl ammonium bromide C19H42BrN Chemical Vapour Deposition Lắng đọng pha hóa học counts per second xung giây Direct Current Dòng điện chiều Energy Dispersive X-ray Spectroscopy Phổ tán sắc lượng tia X Field Effect Transistor transistor hiệu ứng trường Glancing Angle Deposition Lắng đọng góc hot filament chemical vapour deposition lắng đọng pha hóa học dây nóng High resolution TEM/Hiển vi điện tử truyền qua phân giải cao Joint Committee on Powder Diffraction Ủy ban chung tiêu chuẩn nhiễu xạ Standards vật liệu bột LPG Liquefied Petroleum Gas Khí ga hóa lỏng MH Microwave Hydrothermal Thủy nhiệt vi sóng minute phút MOS Metal Oxide Semiconductor Bán dẫn oxit kim loại MRs/MR microrods Thanh micro MWCNT multiwalled carbon nanotube ống nano cacbon đa vách NCS Nghiên cứu sinh P123 Polyethyleneglycol-polypropyleneglycol-polyethyleneglycol hay pluronic HO(CH2CH2O)20(CH2CH(CH3)O)70(CH2CH2O)20H PLD Pulsed Laser Deposition Lắng đọng xung laser ppb part per billion phần tỉ ppm part per million phần triệu PPy Polypyrrole Polypyrrole PVD Physical Vapour Deposition Lắng đọng pha vật lí ref reference Tài liệu tham chiếu rec recovery hồi phục res response đáp ứng RH Relative Humidity Độ ẩm tương đối RT Room Temperature Nhiệt độ phịng SAW Surface Accoustic Wave sóng âm bề mặt SEM Scanning Electron Microscopy Hiển vi điện tử quét SWCNT Single Walled Carbon Nanotube Ống nano cacbon đơn vách TBABr tetrabutylammonium bromide C16H36BrN TEM Transmission Electron Microscopy Hiển vi điện tử truyền qua TGA Thermogravimetric Analysis Phân tích nhiệt trọng lượng VOC Volatile Organic Chemical Hợp chất hữu dễ bay wt.% weight percent phần trăm khối lượng XRD X-ray Diffraction Nhiễu xạ tia X DANH MỤC CÁC BẢNG Bảng 1.1: Các cấu trúc WO3 khoảng nhiệt độ tồn 19 Bảng 1.2: Thông số cấu trúc tinh thể số pha WO3 từ thẻ chuẩn JCPDS 19 Bảng 1.3: Tóm tắt kết chế tạo nano WO3 phương pháp khác 28 Bảng 1.4: Đặc tính nhạy khí hạt nano WO3 công bố giới 37 Bảng 1.5: Đặc tính nhạy khí nano WO3 công bố giới 37 Bảng 1.6: Đặc tính nhạy khí tổ hợp WO3 với oxit kim loại khác công bố 37 Bảng 3.1: Yêu cầu thiết bị phân tích NH3 lĩnh vực ứng dụng 81 Bảng 4.1: Các thông số nhạy khí đặc trưng tổ hợp nano WO3/thanh nano CuO.94 Bảng 4.2: Các thông số đặc trưng nhạy khí vật liệu tổ hợp WO3/thanh Fe2O3 103 Bảng 4.3: Các thơng số đặc trưng nhạy khí tổ hợp nano WO3/thanh micro ZnO 108 Bảng 4.4: Các thơng số đặc trưng nhạy khí tổ hợp nano WO3/tấm nano ZnO 115 DANH MỤC CÁC HÌNH VẼ VÀ ĐỒ THỊ Hình 1.1: Các cấu trúc nano 1D: (a) sợi nano, (b) cấu trúc lõi – vỏ, (c) ống nano, (d) cấu trúc dị thể, (e) đai nano, (f) nano, (g) cấu trúc hình cây, (h) cấu trúc rẽ nhánh, (i) nano cầu kết hợp, (j) dạng lò xo 17 Hình 1.2: Cấu trúc tinh thể WO3 pha lập phương không biến dạng 19 Hình 1.3: Mơ hình cấu trúc tinh thể WO3 bất hợp thức với nút khuyết oxi 20 Hình 1.4: Mơ hình cấu trúc bề mặt vật liệu WO3 20 Hình 1.5: Sơ đồ dải lượng bán dẫn pha tạp loại n 20 Hình 1.6: Mơ hình phương pháp tổng hợp vật liệu nano từ lên (bottom – up) 21 Hình 1.7: Nồi hấp ứng dụng công nghệ thủy nhiệt 25 Hình 1.8: (a) Cấu trúc cảm biến khí bán dẫn, (b) Cảm biến tích hợp mạch điện tử 31 Hình 1.9: Đáp ứng cảm biến có khí khử (a) Bán dẫn loại n, (b) Bán dẫn loại p 32 Hình 1.10: Độ nhạy thương số độ thay đổi độ đáp ứng/biến thiên nồng độ khí 33 Hình 1.11: Thời gian đáp ứng thời gian hồi phục 33 Hình 1.12: (a) Mơ hình lớp nghèo điện tử giản đồ lượng bán dẫn loại n, (b) mơ hình tương tác khí khử với vật liệu oxit kim loại bán dẫn loại n môi trường chân khơng khí trơ 42 Hình 1.13: (a) Mơ hình lớp tích tụ lỗ trống giản đồ lượng bán dẫn loại p, (b) mơ hình tương tác khí khử với vật liệu oxit kim loại bán dẫn loại p mơi trường chân khơng khí trơ 44 Hình 1.14: Máy hiển vi điện tử quét S4800 Hitachi Nhật Bản (trái) hiển vi điện tử truyền qua Philips CM-200 (phải) 45 Hình 1.15: Ảnh chụp máy OXFORD JEOL 5410 LV (trái) Bruker D8 Advance (phải) 45 Hình 2.1: Sơ đồ quy trình chế tạo hạt nano WO3 kĩ thuật thủy nhiệt 48 Hình 2.2: (a) Ảnh SEM, (b) giản đồ XRD hạt nano WO3 chế tạo phương pháp thủy nhiệt 48 Hình 2.3: Phổ EDS mẫu hạt nano WO3 tổng hợp phương pháp thủy nhiệt 49 Hình 2.4: Sơ đồ quy trình chế tạo nano WO3 kĩ thuật thủy nhiệt 49 Hình 2.5: Ảnh SEM sản phẩm WO3 tổng hợp 120 C-24 h phụ thuộc độ pH 51 Hình 2.6: Ảnh SEM TEM nano WO3 tổng hợp điều kiện pH=2, thời gian thủy nhiệt 24 h, nhiệt độ tăng dần từ 100 C đến 160 C 52 Hình 2.7: Ảnh SEM TEM nano tổng hợp điều kiện pH=2 nhiệt độ t=120 C, thời gian thủy nhiệt tăng từ 12 h đến 48 h 53 Hình 2.8: Cơ chế hình thành nano WO3 trình thủy nhiệt 55 Hình 2.9: (a) Ảnh hưởng độ pH đến hình thái WO3 trình thủy nhiệt; (b) ảnh HRTEM nano WO3 56 Hình 2.10: Giản đồ nhiễu xạ tia X nano WO3 chế tạo kĩ thuật thủy nhiệt điều kiện pH=2, 120 C, 24 h 57 Hình 2.11: Phổ tán sắc lượng tia X (EDS) nano WO3 (120 C-24 h) 57 Hình 2.12: Ảnh SEM nano WO3 chế tạo điều kiện pH=2, T=120 C, t=24 h sau ủ 400 C (a) 500 C (c); XRD mẫu ủ 400 C (b) 500 C (d) 58 Hình 2.13: Sơ đồ quy trình chế tạo nano CuO phương pháp thủy nhiệt 59 Hình 2.14: Ảnh SEM nano CuO độ phóng đại (a) 10k, (b) 20k, (c) 100k 59 Hình 2.15: Giản đồ XRD (a) phổ EDS (b) mẫu nano CuO 60 Hình 2.16: Ảnh SEM tổ hợp WO3/thanh CuO độ phóng đại 25k (a), 100k (b) 60 Hình 2.17: Giản đồ XRD (a) phổ EDS (b) tổ hợp WO3/thanh CuO 60 Hình 2.18: Sơ đồ quy trình chế tạo nano Fe2O3 phương pháp thủy nhiệt 62 Hình 2.19: Ảnh SEM (a), TEM (b), giản đồ XRD (c) phổ EDS (d) Fe2O3 62 Hình 2.20: Ảnh SEM (a), giản đồ XRD (b) phổ EDS (c) tổ hợp WO3/Fe2O3 63 Hình 2.21: Sơ đồ chế tạo micro/tấm nano ZnO phương pháp thủy nhiệt 64 Hình 2.22: Ảnh SEM (a), giản đồ XRD (b) phổ EDS (c) micro ZnO 65 Hình 2.23: Ảnh SEM (a) giản đồ XRD (b) mẫu nano ZnO 65 Hình 2.24: Ảnh SEM tổ hợp WO3/thanh micro ZnO độ phóng đại 10k (a), 200k (b) 66 Hình 2.25: Giản đồ XRD (a) phổ EDS (b) tổ hợp WO3/thanh ZnO 66 Hình 2.26: Ảnh SEM (a), giản đồ XRD (b), phổ EDS (c) tổ hợp WO3/tấm ZnO 67 Hình 2.27: (a) Ảnh SEM điện cực Pt đế Si/SiO2 độ phóng đại 30 lần, (b) 1000 lần; (c) màng vật liệu phủ điện cực độ phóng đại 30 lần, (d) 10000 lần 68 Hình 2.28: Quy trình chế tạo màng nhạy khí trước đo đáp ứng khí 68 Hình 2.29: Hệ đo đặc trưng nhạy khí 69 Hình 2.30: Mạch ngun lí thu thập tín hiệu 69 Hình 2.31: Sơ đồ ngun lí hệ đo đặc trưng dòng – (I – V, von – ampe) 70 Hình 3.1: Sự thay đổi điện trở màng hạt nano WO3 theo nhiệt độ 71 Hình 3.2: Đặc trưng dịng-thế màng hạt nano WO3 (a) 55 C (b) 350 C 72 Hình 3.3: Đặc tính nhạy khí NH3 hạt nano WO3 miền nhiệt độ cao: (a) độ đáp ứng với NH3 dải nồng độ 25-300 ppm nhiệt độ làm việc 250-400 C; (b) phụ thuộc độ đáp ứng nhiệt độ khác vào nồng độ NH3; (c) phụ thuộc độ đáp ứng với nồng độ NH3 khác vào nhiệt độ làm việc; (d) độ đáp ứng 350 C với chu kì khí NH3 nồng độ 300 ppm; (e) độ đáp ứng 350 C với loại khí thử nồng độ 300 ppm 73 Hình 3.4: Đặc tính nhạy khí NH3 hạt nano WO3 miền nhiệt độ thấp: độ đáp ứng với chu kì khí NH3 khác khoảng nồng độ 25-250 ppm (a) 55 C, (b) 95 C; (c) độ đáp ứng 55 C 95 C phụ thuộc vào nồng độ khí NH3; (d, e, f) thời gian đáp ứng – hồi phục 95 C 55 C với 250 ppm 50 ppm NH3 74 Hình 3.5 Cấu trúc lượng từ bề mặt vào khối tinh thể bán dẫn loại n: (a) trước tiếp xúc với khí quyển, (b) lớp nghèo điện tử bề mặt hấp phụ oxi, (c) hình thành lớp đảo, (d) bán dẫn loại p với hình thành lớp giàu lỗ trống bề mặt 76 Hình 3.6: Sự thay đổi độ cao hàng rào hạt xuất khí khử: (a) lớp nghèo vật liệu loại n WO3 chiều cao rào hạt khơng khí, (b) mơi trường có khí khử NH3, vùng nghèo thu hẹp, rào giảm, điện trở giảm, (c) môi trường khí oxi hóa NO, vùng nghèo mở rộng, rào tăng, điện trở tăng, (d) mơ hình dịng điện qua hạt vật liệu hai điện cực 77 Hình 3.7: Đường đặc trưng điện trở - nhiệt độ (a), đặc trưng dòng - (b) nano WO3 78 Hình 3.8: Độ đáp ứng nano WO3 miền nhiệt độ thấp: độ đáp ứng với chu kì khí NH3 khoảng nồng độ 25-250 ppm (a) 30 C, (b) 50 C; (c) độ đáp ứng 50 C phụ thuộc nồng độ NH3; (d) độ đáp ứng với LPG 50 C; (e) thời gian đáp ứng – hồi phục 50 C với 250 ppm NH3; (f) độ đáp ứng với NH3 95 C 80 Hình 3.9: Độ đáp ứng nano WO3 với NH3 miền nhiệt độ cao: (a) độ đáp ứng với NH3 khoảng nhiệt độ 250-400 C, dải nồng độ NH3 từ 25 ppm đến 300 ppm; (b) độ đáp ứng phụ thuộc nồng độ NH3 nhiệt độ khác nhau; (c) độ đáp ứng với nồng độ NH3 khác phụ thuộc nhiệt độ làm việc 82 Hình 4.1: (a) Độ đáp ứng nano CuO với 150 ppm ethanol nhiệt độ khác (150-360 C), (b) độ đáp ứng với nồng độ ethanol khác (150-750 ppm) phụ thuộc nhiệt độ làm việc, (c) độ đáp ứng phụ thuộc nồng độ ethanol, (d) độ chọn lọc 230 C, (e) độ đáp ứng 230 C với nồng độ ethanol từ 150 ppm đến 750 ppm, (f) thời gian đáp ứng-hồi phục với 150 ppm ethanol 230 C 86 Hình 4.2: (a) Sự phụ thuộc điện trở vào nhiệt độ, (b) đồ thị I-V mẫu nano WO3: nano CuO=7:3 khối lượng 87 Hình 4.3: Tính chất nhạy khí tổ hợp WO3: CuO=3:2 khối lượng: (a) độ đáp ứng với 300 ppm NH3, C2H5OH, CH3COCH3, LPG khoảng nhiệt độ làm việc từ 300 đến 425 C; (b) tính chọn lọc 425 C 87 Hình 4.4: Sơ đồ mức lượng tổ hợp CuO với WO3 87 Hình 4.5: Tính chất nhạy khí tổ hợp WO3: CuO=1:1 khối lượng: (a) độ đáp ứng với 300 ppm NH3, C2H5OH, CH3COCH3, LPG phụ thuộc nhiệt độ làm việc ; (b) tính chọn lọc 400 C 89 Hình 4.6: Đặc tính nhạy khí tổ hợp WO3: CuO=7:3 khối lượng: (a) đường đặc trưng độ đáp ứng với xung khí NH3 với nồng độ 25-300 ppm khoảng nhiệt độ làm việc 200-400 C; (b) độ đáp ứng phụ thuộc nồng độ NH3 nhiệt độ khác nhau; (c) độ đáp ứng phụ thuộc nhiệt độ với nồng độ NH3 khác 90 Hình 4.7: Độ đáp ứng với khí NH3 tổ hợp WO3: CuO=2:3 khối lượng: (a) đường đáp ứng đặc trưng với xung khí NH3 (25-300 ppm) khoảng nhiệt độ làm việc 250-425 C; (b) độ đáp ứng với nồng độ NH3 khác phụ thuộc nhiệt độ làm việc; (c) độ đáp ứng nhiệt độ làm việc khác phụ thuộc nồng độ khí NH3 91 Hình 4.8: Đặc tính nhạy khí tổ hợp WO3: CuO=2:3 khối lượng: (a) độ đáp ứng với khí LPG (25-300 ppm) phụ thuộc nhiệt độ làm việc (350-425 C); (b) độ đáp ứng nhiệt độ làm việc khác phụ thuộc vào nồng độ LPG; (c) đặc trưng đáp ứng với LPG nhiệt độ tối ưu 400 C; (d) độ lặp lại với chu kì 200 ppm LPG 400 C; (e) thời gian đáp ứng – hồi phục với 300 ppm LPG 400 C; (f-h) đặc trưng đáp ứng với CH3COCH3 C2H5OH nhiệt độ làm việc tối ưu tương ứng 400 C 425 C 92 Hình 4.9: Độ đáp ứng mẫu tổ hợp WO3: CuO=3:7 khối lượng với NH3: (a) đường đáp ứng đặc trưng với xung khí NH3 (25-300 ppm) khoảng nhiệt độ làm việc 250400 C; (b) độ đáp ứng với nồng độ NH3 khác phụ thuộc nhiệt độ làm việc; (c) độ đáp ứng nhiệt độ khác phụ thuộc nồng độ NH3 93 Hình 4.10: (a) Đặc trưng I-V; (b) độ đáp ứng với nồng độ C2H5OH (250-2000 ppm) phụ thuộc nhiệt độ làm việc; (c) đường đáp ứng đặc trưng với xung khí C2H5OH 275 C; (d) thời gian đáp ứng – hồi phục với 2000 ppm C2H5OH 275 C Fe2O3 95 Hình 4.11: Độ đáp ứng nano Fe2O3 với LPG NH3: (a) độ đáp ứng với nồng độ LPG khác (250-10000 ppm) phụ thuộc nhiệt độ làm việc; (b) đường đáp ứng đặc trưng với xung khí LPG 350 C; (c) thời gian đáp ứng – hồi phục với 10000 ppm LPG 350 C; (d) độ đáp ứng 350 C phụ thuộc nồng độ LPG; (e) đường đáp ứng đặc trưng 300 C với xung khí NH3 khoảng nồng độ 25-300 ppm; (f) thời gian đáp ứng – hồi phục 300 C với 300 ppm NH3 96 Hình 4.12: Đặc tính nhạy khí tổ hợp WO3: Fe2O3=1:2: (a) độ đáp ứng với 300 ppm NH3, C2H5OH, CH3COCH3, LPG phụ thuộc nhiệt độ làm việc; (b) đường đáp ứng đặc trưng với xung khí NH3 khoảng nồng độ 25-300 ppm nhiệt độ 375 C; (c) độ lặp lại với xung khí 300 ppm NH3 375 C; (d) thời gian đáp ứng – hồi phục với 300 ppm NH3 375 C 97 Hình 4.13: Đặc tính nhạy khí tổ hợp WO3: Fe2O3=1:2 khối lượng: (a) đường đáp ứng đặc trưng với xung khí C2H5OH khoảng nồng độ 25-300 ppm 375 C; (b) độ lặp lại với xung khí 300 ppm C2H5OH 375 C; (c) thời gian đáp ứng – hồi phục với 300 ppm C2H5OH 375 C; (d) độ lặp lại với xung khí 300 ppm LPG 400 10 C; (e) thời gian đáp ứng – hồi phục với 300 ppm LPG 400 C; (f) độ đáp ứng với 300 ppm NH3, C2H5OH, CH3COCH3, LPG 400 C 98 Hình 4.14: Đặc tính nhạy khí tổ hợp WO3: Fe2O3=2:1 với NH3: (a) đường đáp ứng đặc trưng với xung khí NH3 (25-300 ppm) khoảng nhiệt độ làm việc 250350 C; (b) độ đáp ứng với nồng độ NH3 khác phụ thuộc nhiệt độ làm việc; (c) độ đáp ứng nhiệt độ khác phụ thuộc nồng độ NH3; (d) độ lặp lại với xung khí 100 ppm NH3 300 C; (e) độ đáp ứng với khí NH3, C2H5OH, CH3COCH3, LPG nồng độ 300 ppm 300 C 99 Hình 4.15: Độ đáp ứng tổ hợp WO3: Fe2O3=2:1 với LPG ethanol: (a) đường đáp ứng đặc trưng với xung khí LPG khoảng nồng độ 25-300 ppm 400 C; (b) độ đáp ứng lặp lại với xung khí 300 ppm LPG 400 C; (c) đường đáp ứng đặc trưng với xung khí C2H5OH khoảng nồng độ 25-300 ppm 400 C; (d) độ đáp ứng lặp lại với xung khí 300 ppm C2H5OH 400 C; (e) thời gian đáp ứng – hồi phục với 300 ppm LPG 400 C; (f) thời gian đáp ứng – hồi phục với 300 ppm C2H5OH 400 C 100 Hình 4.16: Độ đáp ứng tổ hợp WO3: Fe2O3=1:1 khối lượng với NH3: (a) độ đáp ứng nhiệt độ khác phụ thuộc nồng độ NH3; (b) độ đáp ứng với nồng độ NH3 khác phụ thuộc nhiệt độ làm việc; đường đáp ứng đặc trưng với xung khí NH3 nồng độ 25-300 ppm nhiệt độ làm việc 300 C (c) 350 C (e); thời gian đáp ứng – hồi phục với 300 ppm NH3 300 C (d) 350 C (f) 101 Hình 4.17: Độ đáp ứng tổ hợp WO3: Fe2O3=1:1 khối lượng với LPG ethanol: (a) đường đáp ứng đặc trưng với xung khí LPG nồng độ 25-300 ppm khoảng nhiệt độ làm việc 350-425 C; (b) độ đáp ứng với nồng độ LPG khác phụ thuộc nhiệt độ làm việc; (c) độ đáp ứng nhiệt độ làm việc khác phụ thuộc nồng độ khí LPG; (d) thời gian đáp ứng – hồi phục với 100 ppm LPG 400 C; (e) độ đáp ứng với C2H5OH 350 C khoảng nồng độ 125-1500 ppm 102 Hình 4.18: Cấu trúc dải lượng tổ hợp -Fe2O3 WO3 loại hạt tải 104 Hình 4.19: Đặc tính nhạy khí micro ZnO thuần: (a) độ đáp ứng phụ thuộc nồng độ NH3 nhiệt độ làm việc 200-400 C, (b) độ đáp ứng với 300 ppm NH3 phụ thuộc nhiệt độ làm việc, (c) đường đáp ứng đặc trưng với C2H5OH 375 C, (d) đường đáp ứng đặc trưng với LPG 300 C 105 Hình 4.20: Đặc tính nhạy khí tổ hợp nano WO3/thanh micro ZnO: đặc trưng đáp ứng khí tổ hợp WO3/ZnO=2:1 (a), WO3/ZnO=1:1 (b) với NH3 (25-300 ppm) nhiệt độ làm việc tối ưu; (c) độ đáp ứng nhiệt độ khác phụ thuộc nồng độ khí NH3 tổ hợp WO3/ZnO=1:1; (d) độ đáp ứng với loại khí NH3, C2H5OH, CH3COCH3, LPG nồng độ 300 ppm tổ hợp WO3/ZnO=1:1 400 C; (e) độ đáp ứng với 300 ppm NH3 mẫu (gồm WO3 thuần, ZnO thuần, tỉ lệ tổ hợp) phụ thuộc nhiệt độ làm việc; (f) độ đáp ứng với 300 ppm NH3 400 C phụ thuộc tỉ lệ WO3/ZnO khối lượng 106 Hình 4.21: Sơ đồ mức lượng vị trí tiếp xúc WO3 ZnO 108 Hình 4.22: (a) Đặc trưng von-ampe dòng điện qua màng nano ZnO 400 C; (b) điện trở khơng khí nhiệt độ tăng dần; (c) đặc trưng đáp ứng với 300 ppm C2H5OH khoảng nhiệt độ 300-425 C; (d) độ đáp ứng với loại khí phụ thuộc nhiệt độ làm việc; (e) đặc trưng đáp ứng với LPG 400 C; (f) đáp ứng lặp lại với LPG 400 C; (g) đặc trưng đáp ứng với loại khí khử 400 C; (h) độ đáp ứng với NH3 425 C 110 Hình 4.23: Đặc tính nhạy khí tổ hợp WO3/tấm ZnO=1:2 khối lượng với NH3: (a) đường đáp ứng đặc trưng với xung khí NH3 nồng độ 25-300 ppm khoảng nhiệt độ làm việc 250-400 C; (b) độ đáp ứng với nồng độ NH3 khác phụ thuộc nhiệt độ làm việc; (c) độ đáp ứng nhiệt độ khác phụ thuộc nồng độ NH3 111 11 Hình 4.24: Đặc trưng nhạy khí tổ hợp WO3: ZnO=1:1 khối lượng: (a) đường đáp ứng đặc trưng với xung khí NH3 (25-300 ppm) khoảng nhiệt độ làm việc 250-350 C; (b) độ đáp ứng 200 C với NH3; (c) độ đáp ứng với nồng độ NH3 khác phụ thuộc nhiệt độ làm việc; (d) độ đáp ứng nhiệt độ khác phụ thuộc nồng độ NH3; (e) so sánh độ đáp ứng với 25 ppm loại khí (C2H5OH, LPG, NH3, CH3COCH3) 112 Hình 4.25: Tính chất nhạy khí NH3 tổ hợp WO3: ZnO=2:1 khối lượng: (a) đường đáp ứng đặc trưng với xung khí NH3 (25-300 ppm) khoảng nhiệt độ 300400 C; (b) độ đáp ứng với NH3 250 C; (c) độ đáp ứng với nồng độ NH3 khác phụ thuộc nhiệt độ làm việc; (d) độ đáp ứng nhiệt độ khác phụ thuộc nồng độ NH3; (d) thời gian đáp ứng – hồi phục với 300 ppm NH3 300 C 113 Hình 4.26: So sánh độ đáp ứng với NH3 mẫu tổ hợp nano WO3/tấm nano ZnO tính chọn lọc: (a) độ đáp ứng với 300 ppm NH3 mẫu phụ thuộc nhiệt độ làm việc; (b) độ đáp ứng với 300 ppm NH3 nhiệt độ làm việc tối ưu phụ thuộc tỉ lệ WO3/ZnO khối lượng tổ hợp; (c) thời gian đáp ứng – hồi phục với 300 ppm NH3 nhiệt độ làm việc tối ưu phụ thuộc tỉ lệ WO3/ZnO; (d, e, f) đặc trưng đáp ứng tổ hợp WO3/ZnO=2:1 với LPG, C2H5OH, CH3COCH3 300 C 114 Hình 4.27: Sơ đồ dải lượng chuyển tiếp dị thể n-WO3/n-ZnO không khí (đường liền nét) khí phân tích (đường đứt nét) 115 12 MỞ ĐẦU Tính cấp thiết đề tài Cảm biến khí (gas sensor) có nhiều ứng dụng thực tiễn thiết bị cảnh báo cháy nổ, điều khiển trình cháy động đốt trong, chẩn đoán bệnh y học, đo đạc nồng độ cồn (C2H5OH) thở, kiểm tra chất lượng sản phẩm cơng nghiệp (hóa chất, thực phẩm, mĩ phẩm), kiểm sốt phát thải khí từ nhà máy hóa chất nhằm bảo vệ bầu khí sức khỏe người Khơng khí bị nhiễm khí độc hại CO, CO2, H2S, NH3, NO2, NO… từ q trình sản xuất cơng nghiệp, q trình cháy loại nhiên liệu hóa thạch từ phương tiện giao thơng Các loại khí gây hiệu ứng nhà kính (CO2, CH4…), khí dễ cháy nổ (H2, LPG…) khí độc hại khác khó phát đo đạc giác quan người mà phải sử dụng thiết bị gọi mũi điện tử (electric nose) Cảm biến đóng vai trị chuyển đổi thơng tin nồng độ khí thành tín hiệu điện làm đầu vào hệ thống đo lường, điều khiển trở thành phận hệ thống tự động, người máy Việc phát cảnh báo có mặt khí độc hại có nồng độ cỡ ppm nhằm kiểm sốt chất lượng khơng khí môi trường sống cần thiết quan trọng người sản xuất Cảm biến không phân tích định tính mà cịn phân tích định lượng loại khí mơi trường địi hỏi cảm biến khí phải có độ đáp ứng cao, độ nhạy cao tính chọn lọc tốt Các thiết bị nghiên cứu để đo đạc nồng độ khí sắc kí khí (chromatographs), quang phổ kế hồng ngoại (infrared spectrometers), quang phổ kế khối lượng (mass spectrometers), thiết bị phân tích phổ linh động ion … thường có giá thành cao, cấu tạo phức tạp, thiết bị phụ trợ kèm cồng kềnh, thời gian phân tích kéo dài… thường lắp đặt cố định phịng thí nghiệm, khơng thích hợp cho việc phân tích trực tiếp trường Cảm biến khí sở oxit kim loại bán dẫn có độ nhạy cao, cơng suất tiêu thụ bé, phân tích nhiều loại khí khác nhau, nhiệt độ làm việc rộng từ nhiệt độ phịng đến vài trăm độ C, ngun lí làm việc đơn giản, dải nồng độ khí đo rộng, bền ổn định, thực phép đo trực tiếp mơi trường cần phân tích, dễ kết hợp với thiết bị điều khiển khác [1 1] Các oxit kim loại bán dẫn nghiên cứu nhiều ZnO, SnO2, WO3, CuO, Fe2O3, TiO2, In2O3… có tính chất độc đáo độ dẫn hay điện trở thay đổi tiếp xúc với khí thử (khí oxi hóa khí khử) cách trao đổi điện tử vật liệu nhạy phân tử khí làm thay đổi nồng độ hạt tải (electron lỗ trống) lớp oxit bán dẫn, dựa vào thay đổi điện trở biết nồng độ khí đến màng vật liệu Cảm biến độ dẫn phù hợp cho phát khí oxi hóa khí khử vùng nồng độ thấp, cảm biến khí nhiệt xúc tác phù hợp cho phát khí cháy nổ vùng nồng độ cao [5 ] Vật liệu kích thước nano có đường kính cỡ độ lớn chiều dài Debye nên có thay đổi lớn độ dẫn có tác động bề mặt, tỉ lệ diện tích thể tích lớn nên khả trao đổi điện tử với khí thử tăng cường cho độ nhạy lớn Các vật liệu oxit kim loại có giá thành hạ, thân thiện với môi trường, dễ dàng chế tạo phương pháp vật lí, hóa học khác thu nhiều hình thái cấu trúc nano khác hạt nano (0D, không chiều), dây nano/thanh nano (1D, chiều), nano (2D, hai chiều), hoa nano (3D, ba chiều) Nhược điểm chung cảm biến khí bán dẫn sở oxit kim loại nhiệt độ làm việc thường cao (300-500 C) (tuy nhiên lại phù hợp với môi trường khắc nghiệt nhiệt độ cao), tính chọn lọc (nhạy đồng thời với nhiều loại khí) nên khó nhận biết loại khí cụ thể, tính chất nhạy khí phụ thuộc vào nhiều yếu tố kích thước hạt, hình thái học hạt tinh thể, chất xúc tác, cấu hình điện cực, điều kiện hoạt động … [ ] Nhằm cải thiện độ đáp ứng, độ nhạy, độ chọn lọc, độ ổn định, giảm nhiệt độ làm việc cảm biến, người ta biến tính bề mặt cấu trúc nano hạt nano kim loại q có tính xúc tác Au, Ag, Pd, Pt… tổ hợp với CNT, graphen, oxit kim loại khác 13 Tiếng Anh 17 A Al Mohammad, M Gillet (2002), Phase transformations in WO3 thin films during annealing, Thin Solid Films 408, 302-309 18 A Chiorino, G Ghiotti, F Prinetto, M.C Carotta, C Malagu, G Martinelli (2001), Preparation and characterization of SnO2 and WOx-SnO2 nanosized powders and thick films for gas sensing, Sensors and Actuators B 78, 89-97 19 A Galdikas, A Mironas, V Strazdiene, A Setkus, I Ancutiene, V Janickis (2000), Room-temperature-functioning ammonia sensor based on solid-state CuxS films, Sensors and Actuators B 67, 76-83 20 A Labidi, E Gillet, R Delamare, M Maaref, A Aguir (2006), Ethanol and ozone sensing characteristics of WO3 based sensors activated by Au and Pd, Sensors and Actuators B 120, 338-345 21 A Ponzoni, V Russo, A Bailini, C.S Casari, M Ferroni, A Li Bassi, A Migliori, V Morandi, L Ortolani, G Sberveglieri, C.E Bottani (2011), Structural and gassensing characterization of tungsten oxide nanorods and nanoparticles, Sensors and Actuators B 153, 340-346 22 A Wisitsoorat, M Z Ahmad, M.H Yaacob, M Horpratum, D Phakaratkul, T Lomas, A Tuantranont, W Wlodarski (2013), Optical H2 sensing properties of vertically aligned Pd/WO3 nanorods thin films deposited via glancing angle rf magnetron sputtering, Sensors and Actuators B 182, 795-801 23 A Wolfsteller, N Geyer, T.K Nguyen Duc, P Das Kanungo, N.D Zakharov, M Reiche, W Erfurth, H Blumtritt, S Kalem, P Werner, U Gosele (2010), Comparison of the top-down and bottom-up approach to fabricate nanowire-based silicon/germanium heterostructures, Thin Solid Films 518, 2555-2561 24 A.P Shpak, A.M Korduban, M.M Medvedskij, V.O Kandyba (2007), XPS studies of active elements surface of gas sensors based on WO3-x nanoparticles, Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena 156-158, 172-175 25 Aarthy Sivapunniyam, Niti Wiromrat, Myo Tay Zar Myint, Joydeep Dutta (2011), High-performance liquefied petroleum gas sensing based on nanostructured of zinc oxide and zinc stannate, Sensors and Actuators B 157, 232-239 26 Amorkrane Sonia, Yahia Djaoued, Balaji Subramanian, Robichaud Jacques, McCalla Eric, Bruning Ralf, Benrejdal Achour (2012), Synthesis and characterization of novel nanorod superstructures and twin octahedral morphologies of WO3 by hydrothermal treatment, Materials Chemistry and Physics 136, 80-89 27 Amrut S Lanje, Satish J Sharma, Raghumani S Ningthoujam, J.S Ahn, Ramchandra B Pode (2013), Low temperature dielectric studies of zinc oxide (ZnO) nanoparticles prepared by precipitation method, Advanced Powder Technology 24, 331-335 28 Anatoli Korkin, Jan Labanowski, Evgeni Gusev, Serge Luryi (2007), Nanotechnology for electronic materials and devices, Springer, New York, USA 29 Andrei Kolmakov, Martin Moskovits (2004), Chemical sensing and catalysis by one-dimensional metal-oxide nanostructures, Annual Review of Materials Research 34, 151-180 30 Andrei Kolmakov, Xihong Chen, Martin Moskovits (2008), Functionalizing nanowires with catalytic nanoparticles for gas sensing application, Journal of Nanoscience and Nanotechnology 8, 111-121 31 Anjali Sharma, Monika Tomar, Vinay Gupta (2012), Low temperature operating SnO2 thin film sensor loaded with WO3 micro-discs with enhanced response for NO2 gas, Sensors and Actuators B 161, 1114-1118 120 32 Anjali Sharma, Monika Tomar, Vinay Gupta (2013), WO3 nanoclusters-SnO2 film gas sensor heterostructure with enhanced response for NO2, Sensors and Actuators B 176, 675-684 33 Arijit Chowdhuri, Vinay Gupta, K Sreenivas (2003), Fast response H2S gas sensing characteristics with ultra-thin CuO islands on sputtered SnO2, Sensors and Actuators B 93, 572-579 34 B Ghaddab, J.B Sanchez, C Mavon, M Paillet, R Parret, A.A Zahab, J.L Bantignies, V Flaud, E Beche, F Berger (2012), Detection of O3 and NH3 using hybrid tin dioxide/carbon nanotubes sensors: Influence of materials and processing on sensor's sensitivity, Sensors and Actuators B 170, 67-74 35 B Karunagaran, Periyayya Uthirakumar, S.J Chung, S Velumani, E.K Suh (2007), TiO2 thin film gas sensor for monitoring ammonia, Materials Characterization 58, 680-684 36 Bai Shouli, Li Dianqing, Han Dongmei, Luo Ruixian, Chen Aifan, Chung Chiun Liu (2010), Preparation, characterization of WO3-SnO2 nanocomposites and their sensing properties for NO2, Sensors and Actuators B 150, 749-755 37 Baobao Cao, Jiajun Chen, Xiaojun Tang, Weilie Zhou (2009), Growth of monoclinic WO3 nanowire array for highly sensitive NO2 detection, Journal of Materials Chemistry 19, 2323-2327 38 Bing Wang, Zhao Qiang Zheng, Lian Feng Zhu, Yu Hua Yang, Huan Yu Wu (2014), Self-assembled and Pd decorated Zn2SnO4/ZnO wire-sheet shape nanoheterostructures networks hydrogen gas sensors, Sensors and Actuators B 195, 549-561 39 Bjorn Timmer, Wouter Olthuis, Ablert van den Berg (2005), Ammonia sensors and their applications-a review, Sensors and Actuators B 107, 666-677 40 C.N Xu, N Miura, Y Ishida, K Matsuda, N Yamazoe (2000), Selective detection of NH3 over NO in combustion exhausts by using Au and MoO3 doubly promoted WO3 element, Sensors and Actuators B 65, 163-165 41 Chan Woong Na, Hyung-Sik Woo, Il-Doo Kim, Jong-Heun Lee (2011), Selective detection of NO2 and C2H5OH using a Co3O4-decorated ZnO nanowire network sensor, Chemical Communications 47, 5148-5150 42 Chandra Sekhar Rout, Manu Hegde, C.N.R Rao (2008), H2S sensors based on tungsten oxide nanostructures, Sensors and Actuators B 128, 488-493 43 Changhao Feng, Chong Wang, Pengfei Cheng, Xin Li, Biao Wang, Yehui Guan, Jian Ma, Hong Zhang, Yanfeng Sun, Peng Sun, Jie Zheng, Geyu Lu (2015), Facile synthesis and gas sensing properties of La2O3-WO3 nanofibers, Sensors and Actuators B 221, 434-422 44 Changhao Feng, Xin Li, Jian Ma, Yanfeng Sun, Chong Wang, Peng Sun, Jie Zheng, Geyu Lu (2015), Facile synthesis and gas sensing properties of In2O3-WO3 heterojunction nanofibers, Sensors and Actuators B 209, 622-629 45 Charles M Lieber (1998), One-dimensional nanostructures: chemistry, physics & applications, Solid State Communications 107, 607-616 46 Chatchawal Wongchoosuk, Anurat Wisitsoraat, Ditsayut Phokharatkul, Mati Horprathum, Adisorn Tuantranont, Teerakiat Kerdcharoen (2013), Carbon doped tungsten oxide nanorods NO2 sensor prepared by glancing angle RF sputtering, Sensors and Actuators B 181, 388-394 47 Chen-Yang Wang, Zih-Siou Hong, Ren-Jang Wu (2015), Promotion effect of Pt on a SnO2-WO3 material for NOx sensing, Physica E 69, 191-197 121 48 Choong-Yong Lee, Sun-Jung Kim, In-Sung Hwang, Jong-Heun Lee (2009), Glocose-mediated hydrothermal synthesis and gas sensing characteristics of WO3 hollow microspheres, Sensors and Actuators B 142, 236-242 49 Csaba Balazsi, Katarina Sedlackova, Eduard Llobet, Radu Ionescu (2008), Novel hexagonal WO3 nanopowder with metal decorated carbon nanotubes as NO2 gas sensor, Sensors and Actuators B 133, 151-155 50 Cuiping Gu, Jiarui Huang, Youjie Wu, Muheng Zhai, Yufeng Sun, Jinhuai Liu (2011), Preparation of porous flower-like ZnO nanostructures and their gassensing property, Journal of Alloys and Compounds 509, 4499-4504 51 Dae-Sik Lee, Sang-Do Han, Sang-Mun Lee, Jeung-Soo Huh, Duk-Dong Lee (2000), The TiO2-adding effects in WO3-based NO2 sensors prepared by coprecipitation and precipitation method, Sensors and Actuators B 65, 331-335 52 Daihua Zhang, Zuqin Liu, Chao Li, Tao Tang, Xiaolei Liu, Song Han, Bo Lei, Chongwu Zhou (2004), Detection of NO2 down to ppb levels using individual and multiple In2O3 nanowire devices, Nano Letters 4, 1919-1924 53 Dan Meng, Toshinari Yamazaki, Yanbai Shen, Zhifu Liu, Toshio Kikuta (2009), Preparation of WO3 nanoparticles and application to NO2 sensor, Applied Surface Science 256, 1050-1053 54 Dang Duc Vuong, Go Sakai, Kengo Shimanoe, Noboru Yamazoe (2004), Preparation of grain size-controlled tin oxide sols by hydrothermal treatment for thin film sensor application, Sensors and Actuators B 203, 386-391 55 Dang Duc Vuong, Go Sakai, Kengo Shimanoe, Noboru Yamazoe (2005), Hydrogen sulfide gas sensing properties of thin films derived from SnO2 sols different in grain size, Sensors and Actuators B 105, 437-442 56 Dang Duc Vuong, Khuc Quang Trung, Nguyen Hoang Hung, Nguyen Van Hieu, Nguyen Duc Chien (2014), Facile preparation of large-scale -Fe2O3 nanorod/SnO2 nanorod composites and their LPG-sensing properties, Journal of Alloys and Compounds 599, 195-201 57 Delia Puzzovio (2008), Surface interaction mechanisms in metal-oxide semiconductors for ankane detection, Physics Doctor Thesis, University of Ferrara, Italy 58 Dzung Viet Dao, Kyoji Shibuya, Tung Thanh Bui, Susumu Sugiyama (2011), Micromachined NH3 gas sensor with ppb-level sensitivity based on WO3 nanoparticles thinfilm, Procedia Engineering 25, 1149-1152 59 E Comini, C Baratto, G Faglia, M Ferroni, A Vomiero, G Sberveglieri (2009), Quasi-one dimensional metal oxide semiconductors: Preparation, characterization and application as chemical sensors, Progress in Materials Science 54, 1-67 60 E Comini, G Faglia, G Sberveglieri, Zhengwei Pan, Zhong L Wang (2002), Stable and highly sensitive gas sensors based on semiconducting oxide nanobelts, Applied Physics Letters 81, 1869-1871 61 E.J Connolly, B Timmer, H.T.M Pham, J Groeneweg, P.M Sarro, W Olthuis, P.J French (2005), A porous SiC ammonia sensor, Sensors and Actuators B 109, 44-46 62 Elisabetta Comini, Guido Faglia, Giorgio Sberveglieri (2009), Solid state gas sensing, Springer Publishing House, Italy 63 Eugene Khoo, Pooi See Lee, Jan Ma (2010), Electrophoretic deposition (EPD) of WO3 nanorods for electrochromic application, Journal of the European Ceramic Society 30, 1139-1144 122 64 F Shao, M.W.G Hoffmann, J.D Prades, R Zamani, J Arbiol, J.R Morante, E Varechkina, M Rumyantseva, A Gaskove, I Giebelhaus, T Fischer, S Mathur, F.H Ramirez (2013), Heterostructured p-CuO (nanoparticle)/n-SnO2 (nanowire) devices for selective H2S detection, Sensors and Actuators B 181, 130-135 65 Faqi Zhan, Jie Li, Wenzhang Li, Yisi Liu, Renrui Xie, Yahui Yang, Yaomin Li, Qiyuan Chen (2015), In situ formation of CuWO4/WO3 heterojunction plates array films with enhanced photoelectrochemical properties, International Journal of hydrogen energy 40, 6512-6520 66 Feng Zheng, Mei Zhang, Min Guo (2013), Controllable preparation of WO3 nanorod arrays by hydrothermal method, Thin Solid Films 534, 45-53 67 Fenghua Zhang, Heqing Yang, Xiaoli Xie, Li Li, Lihui Zhang, Jie Yu, Hua Zhao, Biu Liu (2009), Controlled synthesis and gas-sensing properties of hollow sea urchin-like -Fe2O3 nanostructures and -Fe2O3 nanocubes, Sensors and Actuators B 141, 381-389 68 Fumiyuki Shiba, Masakazu Yokoyama, Yousei Mita, Tomohiro Yamakawa, Yusuke Okawa (2007), Hydrothermal synthesis of monodisperse WO3.H2O square platelet particles, Materials Letters 61, 1778-1780 69 G Fablia, C Baratto, G Sberveglieri (2005), Adsorption effects of NO2 at ppm level on visible photoluminescence response of SnO2 nanobelts, Applied Physics Letters 86, 001923 70 G Korotcenkov (2007), Metal oxides for solid-state gas sensors: What determines our choice?, Materials Science and Engineering B 139, 1-23 71 Gang Gu, Bo Zheng, W Q Han, Siegmar Roth, Jie Liu (2002), Tungsten oxide nanowires on tungsten substrates, Nano Letters 2, 849-851 72 George H Mount, Brian Rumburg, Jeff Havig, Brian Lamb, Hal Westberg, David Yonge, Kristen Johnson, Ronald Kincaid (2002), Measurement of atmospheric ammonia at a dairy using differential optical absorption spectroscopy in the midultraviolet, Atmospheric Environment 36, 1799-1810 73 Go Sakai, Naoki Matsunaga, Kengo Shimanoe, Noboru Yamazoe (2001), Theory of gas-diffusion controlled sensitivity for thin film semiconductor gas sensor, Sensors and Actuators B 80, 125-131 74 Hamid Hassani, Ehsan Marzbanrad, Cyrus Zamani, Babak Raissi (2011), Effect of hydrothermal duration on synthesis of WO3 nanorods, Journal of Materials Science: Materials in Electronics 22, 1264-1268 75 Hao Liu, Guoxiu Wang, Jinsoo Park, Jiazhao Wang, Huakun Liu, Chao Zhang (2009), Electrochemical performance of -Fe2O3 nanorods as anode material for lithium-ion cells, Electrochimica Acta 54, 1733-1736 76 Helen Annal Therese, Jixue Li, Ute Kolb, Wolfgang Tremel (2005), Facile large scale synthesis of WS2 nanotubes from WO3 nanorods prepared by a hydrothermal route, Solid State Sciences 7, 67-72 77 Hendri Widiyandari, Agus Purwanto, Ratna Balgis, Takashi Ogi, Kikuo Okuyama (2012), CuO/WO3 and Pt/WO3 nanocatalysts for efficient pollutant degradation using visible light irradiation, Chemical Engineering Journal 180, 323-329 78 Hiroharu Kawasaki, Jun Namba, Keitarou Iwatsuji, Yoshiaki Suda, Kenji Wada, Kenji Ebihara, Tamiko Ohshima (2002), NOx gas sensing properties of tungsten oxide thin films synthesized by pulsed laser deposition method, Applied Surface Science 197-198, 547-551 123 79 Ho Truong Giang, Ha Thai Duy, Pham Quang Ngan, Giang Hong Thai, Do Thi Anh Thu, Do Thi Thu, Nguyen Ngoc Toan (2011), Hydrocarbon gas sensing of nano-crystalline perovskite oxides LnFeO3 (Ln=La, Nd and Sm), Sensors and Actuators B 158, 246-251 80 Hongqiang Wang, Caihong Li, Haigang Zhao, Jinrong Liu (2013), Preparation of nano-sized flower-like ZnO bunches by a direct precipitation method, Advanced Powder Technology 24, 599-604 81 https: //en.wikipedia.org/wiki/Tungsten_trioxide 82 Huairuo Zhang, Min Feng, Fei Liu, Libao Liu, Hanyuan Chen, Hongjin Gao, Jianqi Li (2004), Structures and defects of WO3-x nanorods grown by in-situ heating tungsten filament, Chemical Physics Letters 389, 337-341 83 Huaming Yang, Rongrong Shi, Ke Zhang, Yuehua Hu, Aidong Tang, Xianwei Li (2005), Synthesis of WO3/TiO2 nanocomposites via sol-gel method, Journal of Alloys and Compounds 398, 200-202 84 Huijuan Xia, Yan Wang, Fanhong Kong, Shurong Wang, Baolin Zhu, Xianzhi Guo, Jun Zhang, Yanmei Wang, Shihua Wu (2008), Au-doped WO3-based sensor for NO2 detection at low operating temperature, Sensors and Actuators B 134, 133139 85 Huixiang Tang, Mi Yan, Hui Zhang, Shenzhong Li, Xingfa Ma, Mang Wang, Deren Yang (2006), A selective NH3 gas sensor based on Fe2O3-ZnO nanocomposites at room temperature, Sensors and Actuators B 114, 910-915 86 Hyo-Joong Kim, Jong-Heun Lee (2014), Highly sensitive and selective gas sensors using p-type oxide semiconductors: Overview, Sensors and Actuators B: Chemical 192, 607-627 87 Hyun-Uk Lee, Kun Ahn, Su-Jae Lee, Jong-Pil Kim, Hyun-Gyu Kim, Se-Young Jeong, Chae-Ryong Cho (2011), ZnO nanobarbed fibers: Fabrication, sensing NO2 gas, and their sensing mechanism, Applied Physics Letters 98, 193114 88 I Jimenez, J Arbiol, G Dezanneau, A Cornet, J.R Morante (2003), Crystalline structure, defects and gas sensor response to NO2 and H2S of tungsten trioxide nanopowders, Sensors and Actuators B 93, 475-485 89 I Kosc, I Hotovy, V Rehacek, R Griesseler, M Predanocy, M Wilke, L Spiess (2013), Sputtered TiO2 thin films with NiO additives for hydrogen detection, Applied Surface Science 269, 110-115 90 I Vamvasakis, I Georgaki, D Vernardou, G Kenanakis, N Katsarakis (2015), Synthesis of WO3 catalytic powders: evaluation of photocatalytic activity under NUV/visible light irradiation and alkaline reaction pH, Journal of Sol-Gel Science and Technology 76, 120-128 91 Il-Doo Kim, Avner Rothschild, Harry L Tuller (2013), Advances and new directions in gas-sensing devices, Acta Materialia 61, 974-1000 92 Imre Miklos Szilagyi, Lisheng Wang, Pelagia-Irene Gouma, Csaba Balazsi, Janos Madarasz, Gyorgy Pokol (2009), Preparation of hexagonal WO3 from hexagonal ammonium tungsten bronze for sensing NH3, Materials Research Bulletin 44, 505508 93 In-Sung Hwang, Joong-Ki Choi, Sun-Jung Kim, Ki-Young Dong, Jae-Hong Kwon, Byeong-Kwon Ju, Jong-Heun Lee (2009), Enhanced H2S sensing characteristics of SnO2 nanowires functionalized with CuO, Sensors and Actuators B: Chemical 142, 105-110 94 Ismael Jimenez Gallardo (2003), Tungsten oxide nanocrystalline powders for gas sensing applications, Doctor dissertation, University of Barcelona, Barcelona, Spain 124 95 Janarthanan Rajeswari, Balasubramanian Viswanathan, Thirukkallam Kanthadai Varadarajan (2007), Tungsten trioxide nanorods as supports for platinum in methanol oxidation, Materials Chemistry and Physics 106, 168-174 96 Jang-Hoon Ha, P Muralidharan, Do Kyung Kim (2009), Hydrothermal synthesis and characterization of self-assembled h-WO3 nanowires/nanorods using EDTA salts, Journal of Alloys and Compounds 475, 446-451 97 Jarmo Kukkola, Jani Maklin, Niina Halonen, Teemu Kyllonen, Geza Toth, Maria Szabo, Andrey Shchukavev, Jyri-Pekka Mikkola, Heli Jantunen, Krisztian Kordas (2011), Gas sensors based on anodic tungsten oxide, Sensors and Actuators B 153, 293-300 98 Jarmo Kukkola, Melinda Mohl, Anne-Riikka Leino, Jani Mäklin, Niina Halonen, Andrey Shchukarev, Zoltan Konya, Heli Jantunen, Krisztian Kordas (2013), Room temperature hydrogen sensors based on metal decorated WO3 nanowires, Sensors and Actuators B: Chemical 186, 90-95 99 Jinmin Wang, Xiao Wei Sun, Zhihui Jiao (2010), Application of nanostructures in electrochromic materials and devices: Recent progress, Materials 3, 5029-5053 100 Jinsoo Park (2010), Nanostructured semiconducting metal oxides for use in gas sensors, Doctor of Philosophy Thesis, University of Wollongong, Australia 101 Jinzhan Su, Xinjian Feng, Jennifer D Sloppy, Liejin Guo, Craig A Grimes (2011), Vertically aligned WO3 nanowire arrays grown directly on transparent conducting oxide coated glass: synthesis and photoelectrochemical properties, Nano Letters 11, 203-208 102 Joseph R Stetter, William R Penrose (2002), Understanding Chemical Sensors and Chemical Sensor Arrays (Electronic Noses): Past, Present and Future, Sensors Update 10, 189-229 103 Jun Zhang, Jiang-ping Tu, Xin-hui Xia, Xiu-li Wang, Chang-dong Gu (2011), Hydrothermally synthesized WO3 nanowire arrays with highly improved electrochromic performance, Journal of Materials Chemistry 21, 5492-5498 104 Jun Zhang, Xianghong Liu, Liwei Wang, Taili Yang, Xianzhi Guo, Shihua Wu, Shurong Wang, Shoumin Zhang (2011), Synthesis and gas sensing properties of Fe2O3@ZnO core-shell nanospindles, Nanotechnology 22, 185501 105 K Byrappa, T Adschiri (2007), Hydrothermal technology for nanotechnology, Progress in Crystal Growth and Characterization of Materials 53, 117-166 106 K Galatsis, Y.X Li, W Wlodarski, K Kalantar-zadeh (2001), Sol-gel prepared MoO3-WO3 thin films for O2 gas sensing, Sensors and Actuators B 77, 478-483 107 K Wetchakun, T Samerjai, N Tamaekong, C Liewhiran, C Siriwong, V Kruefu, A Wisitsoraat, A Tuantranont, S Phanichphant (2011), Semiconducting metal oxide as sensors for environmentally hazardous gases, Sensors and Actuators B 160, 580-591 108 Kai Huang, Qingtao Pan, Feng Yang, Shibing Ni, Xiucheng Wei, Deyan He (2008), Controllable synthesis of hexagonal WO3 nanostructures and their application in lithium batteries, Journal of Physics D: Applied Physics 41, 155417 109 Katarzyna Zakrzewska (2001), Mixed oxides as gas sensors, Thin Solid Films 391, 229-238 110 Kengo Shimanoe, Aya Nishiyama, Masayoshi Yuasa, Tetsuya Kida, Noboru Yamazoe (2009), Microstructure control of WO3 film by adding nano-particles of SnO2 for NO2 detection in ppb level, Procedia Chemistry 1, 212-215 125 111 Ken-ichi Shimizu, Isao Chinzei, Hiroyuki Nishiyama, Shiro Kakimoto, Satoshi Sugaya, Wataru Matsutani, Atsushi Satsuma (2009), Doped-vanadium oxides as sensing materials for high temperature operative selective ammonia gas sensors, Sensors and Actuators B 141, 410-416 112 Khuc Quang Trung, Vu Xuan Hien, Dang Duc Vuong, Nguyen Duc Chien (2010), Synthesis of SnO2 nanorods by hydrothermal method for gas sensor application, Communications in Physics 20, 129-135 113 Kunquan Hong, Maohai Xie, Rong Hu, Huasheng Wu (2007), Synthesizing tungsten oxide nanowires by a thermal evaporation method, Applied Physics Letters 90, 173121 114 L.F Reyes, A Hoel, S Saukko, P Heszler, V Lantto, C.G Granqvist (2006), Gas sensor response of pure and activated WO3 nanoparticle films made by advanced reactive gas deposition, Sensors and Actuators B 117, 128-134 115 L.G Teoh, Y.M Hon, J Shieh, W.H Lai, M.H Hon (2003), Sensitivity properties of a novel NO2 gas sensor based on mesoporous WO3 thin film, Sensors and Actuators B 96, 219-225 116 Liang Li, Yong Zhang, Xiaosheng Fang, Tianyou Zhai, Meiyong Liao, Xueliang Sun, Yasuo Koide, Yoshio Bando, Dmitri Golberg (2011), WO3 nanowires on carbon papers: electronic transport, improved ultraviolet-light photodetectors and excellent field emitters, Journal of Materials Chemistry 21, 6525-6530 117 Ling Chen, Shik Chi Tsang (2003), Ag doped WO3-based powder sensor for the detection of NO gas in air, Sensors and Actuators B 89, 68-75 118 M Boukriba, F Sediri, N Gharbi (2010), Hydrothermal synthesis of WO3.1/3H2O nanorods and study of their electrical properties, Polyhedron 29, 2070-2074 119 M Gillet, K Masek, V Potin, S Bruyere, B Domenichini, S Bourgeois, E Gillet, V Matolin (2008), An epitaxial hexagonal tungsten bronze as precursor for WO3 nanorods on mica, Journal of Crystal Growth 310, 3318-3324 120 M Horprathum, K Limwichean, A Wisitsoraat, P Eiamchai, K Aiempanakit, P Limnonthakul, N Nuntawong, V Pattantsetakul, A Tuantranont, P Chindaudom (2013), NO2-sensing properties of WO3 nanorods prepared by glancing angle DC magnetron sputtering, Sensors and Actuators B 176, 685-691 121 M Hubner, C.E Simion, A Haensch, N Barsan, U Weimar (2010), CO sensing mechanism with WO3 based gas sensors, Sensors and Actuators B 151, 103-106 122 M Penza, G Cassano, F Tortorella (2001), Gas recognition by activated WO3 thinfilm sensors array, Sensors and Actuators B 81, 115-121 123 M Takacs, Cs Ducso, Z Labadi, A.E Pap (2014), Effect of hexagonal WO3 morphology on NH3 sensing, Procedia Engineering 87, 1011-1014 124 M.A Gondal, M.A Dastageer, A Khalil (2009), Synthesis of nano-WO3 and its catalytic activity for enhanced antimicrobial process for water purification using laser induced photo-catalysis, Catalysis Communications 11, 214-219 125 Maosong Tong, Guorui Dai, Dingsan Gao (2001), WO3 thin film sensor prepared by sol-gel technique and its low-temperature sensing properties to trimethylamine, Materials Chemistry and Physics 69, 176-179 126 Mark Mashock, Kehan Yu, Shumao Cui, Shun Mao, Ganhua Lu, Junhong Chen (2012), Modulating gas sensing properties of CuO nanowires through creation of discrete nanosized p-n junctions on their surfaces, ACS Applied Materials and Interfaces 4, 4192-4199 127 Michael A Carpenter, Sanjay Mathur, Andrei Kolmakov (2013), Metal oxide nanomaterials for chemical sensors, Springer, New York 126 128 Mingda Li, Ming Hu, Dingli Jia, Shuangyun Ma, Wenjun Yan (2013), NO2-sensing properties based on the nanocomposite of n-WO3-x/n-porous silicon at room temperature, Sensors and Actuators B 186, 140-147 129 Mu-Tung Chang, Li-Jen Chou, Yu-Lun Chueh, Yu-Chen Lee, Chin-Hua Hsieh, Chii-Dong Chen, Yann-Wen Lan, Lih-Juann Chen (2007), Nitrogen-doped tungsten oxide nanowires: low-temperature synthesis on Si, and electrical, optical, and filedemission properties, Small 3, 658-664 130 N Asim, S Radiman, M.A Bin Yarmo (2007), Synthesis of WO3 in nanoscale with the usage of sucrose ester microemulsion and CTAB micelle solution, Materials Letters 61, 2652-2657 131 N Naseri, R Azimirad, O Akhavan, A.Z Moshfegh (2010), Improved electrochromical properties of sol-gel WO3 thin films by doping gold nanocrystals, Thin Solid Films 518, 2250-2257 132 N Yamazoe, Y Kurokawa, T Seiyama (1983), Effects of additives on semiconductor gas sensors, Sensors and Actuators 4, 283-289 133 N.B Clark, L.J Maher (2009), Non-contact, radio frequency detection of ammonia with a printed polyaniline sensor, Reactive and Functional Polymers 69, 594-600 134 N.G Deshpande, Y.G Gudage, Ramphal Sharma, J.C Vyas, J.B Kim, Y.P Lee (2009), Studies on tin oxide-intercalated polyaniline nanocomposite for ammonia gas sensing applications, Sensors and Actuators B 138, 76-84 135 N.K Pandey, A Tripathi, K Tiwari, A Roy (2009), Relative humidity sensing studies of WO3-ZnO nanocomposite, Advanced Materials Research 79-82, 365-368 136 Nagraj Shankar, Min-Feng Yu, S.P Vanka, Nick G Glumac (2006), Synthesis of tungsten oxide (WO3) nanorods using carbon nanotubes as templates by hot filament chemical vapor deposition, Materials Letters 60, 771-774 137 Nguyen Duc Cuong, Tran Thai Hoa, Dinh Quang Khieu, Tran Dai Lam, Nguyen Duc Hoa, Nguyen Van Hieu (2012), Synthesis, characterization, and comparative gas-sensing properties of Fe2O3 prepared from Fe3O4 and Fe3O4-chitosan, Journal of Alloys and Compounds 523, 120-126 138 Nguyen Duc Hoa, Nguyen Van Quy, Hyuck Jung, Dojin Kim, Hyojin Kim, SoonKu Hong (2010), Synthesis of porous CuO nanowires and its application to hydrogen detection, Sensors and Actuators B 146, 266-272 139 Nguyen Duc Hoa, Nguyen Van Quy, Mai Anh Tuan, Nguyen Van Hieu (2009), Facile synthesis of p-type semiconducting cupric oxide nanowires and their gassensing properties, Physica E 42, 146-149 140 Nguyen Duc Hoa, Nguyen Van Quy, Yousuk Cho, Dojin Kim (2007), An ammonia gas sensor based on non-catalytically synthesized carbon nanotubes on an anodic aluminum oxide template, Sensors and Actuators B 127, 447-454 141 Nguyen Duc Hoa, Sea Yong An, Nguyen Quoc Dung, Nguyen Van Quy, Dojin Kim (2010), Synthesis of p-type semiconducting cupric oxide thin films and their application to hydrogen detection, Sensors and Actuators B 146, 239-244 142 Nguyen Hoang Hung (2012), Improving the gas sensing property of WO3 material, Master Thesis in Engineering Physics, Hanoi University of Science and Technology 143 Nguyen Minh Vuong, Dojin Kim, Hyojin Kim (2015), Porous Au-embedded WO3 nanowire structure for efficient detection of CH4 and H2S, Scientific Reports 144 Nguyen Minh Vuong, Dojin Kim, Hyojin Kim (2016), Surface gas sensing kinetics of a WO3 nanowire sensor: Part 2-Reducing gases, Sensors and Actuators B 224, 425-433 127 145 Nguyen Minh Vuong, Hyuck Jung, Dojin Kim, Hyojin Kim, Soon-Ku Hong (2012), Realization of an open space ensemble for nanowires: a strategy for the maximum response in resistive sensors, Journal of Materials Chemistry 22, 67166725 146 Nguyen Minh Vuong, Tran Nam Trung, Truong Thi Hien, Nguyen Duc Chinh, Nguyen Duc Quang, Dongsuk Lee, Dahye Kim, The-Long Phan, Dojin Kim (2015), Ni2O3 decoration of WO3 thin film for high sensitivity NH3 gas sensor, Materials Transactions 56, 1354-1357 147 Nguyen Quang Lich, Tran Phuc Thanh, Duong Vu Truong, Pham The Kien, Nguyen Cong Tu, Luong Huu Bac, Dang Duc Vuong, Nguyen Duc Chien, Nguyen Huu Lam (2015), Pt- and Ag-decorated carbon nanotube network layers for enhanced NH3 gas sensitivity at room temperature, Materials Transactions 56, 1399-1402 148 Nguyen Van Hieu, Le Thi Ngoc Loan, Nguyen Duc Khoang, Nguyen Tuan Minh, Do Thanh Viet, Do Cong Minh, Tran Trung, Nguyen Duc Chien (2010), A facile thermal evaporation route for large-area synthesis of tin oxide nanowires: Characterizations and their use for liquid petroleum gas sensor, Current Applied Physics 10, 636-641 149 Nguyen Van Hieu, Luong Thi Bich Thuy, Nguyen Duc Chien (2008), Highly sensitive thin film NH3 gas sensor operating at room temperature based on SnO2/MWCNTs composite, Sensors and Actuators B 129, 888-895 150 Nguyen Van Hieu, Nguyen Anh Phuc Duc, Tran Trung, Mai Anh Tuan, Nguyen Duc Chien (2010), Gas-sensing properties of tin oxide doped with metal oxides and carbon nanotubes: A competitive sensor for ethanol and liquid petroleum gas, Sensors and Actuators B 144, 450-456 151 Nguyen Van Hieu, Nguyen Duc Chien (2008), Low-temperature growth and ethanol-sensing characteristics of quasi-one-dimensional ZnO nanostructures, Physica B 403, 50-56 152 Nguyen Van Hieu, Nguyen Duc Khoang, Do Dang Trung, Le Duc Toan, Nguyen Van Duy, Nguyen Duc Hoa (2013), Comparative study on CO2 and CO sensing performance of LaOCl-coated ZnO nanowires, Journal of Hazardous Materials 244245, 209-216 153 Nguyen Van Hieu, Nguyen Quoc Dung, Phuong Dinh Tam, Tran Trung, Nguyen Duc Chien (2009), Thin film polypyrrole/SWCNTs nanocomposites-based NH3 sensor operated at room temperature, Sensors and Actuators B 140, 500-507 154 Nguyen Van Hieu, Vu Van Quang, Nguyen Duc Hoa, Dojin Kim (2011), Preparing large-scale WO3 nanowire-like structure for high sensitivity NH3 gas sensor through a simple route, Current Applied Physics 11, 657-661 155 Nguyen Van Quy, Vu Anh Minh, Nguyen Van Luan, Vu Ngoc Hung, Nguyen Van Hieu (2011), Gas sensing properties at room temperature of a quartz crystal microbalance coated with ZnO nanorods, Sensors and Actuators B: Chemical 153, 188-193 156 Nguyen Van Toan, Nguyen Viet Chien, Nguyen Van Duy, Dang Duc Vuong, Nguyen Huu Lam, Nguyen Duc Hoa, Nguyen Van Hieu, Nguyen Duc Chien (2015), Scalabel fabrication of SnO2 thin films sensitized with CuO islands for enhanced H2S gas sensing performance, Applied Surface Science 324, 280-285 157 Niranjan S Ramgir, C.P Goyal, P.K Sharma, U.K Goutam, S Bhattacharya, N Datta, M Kaur, A.K Debnath, D.K Aswal, S.K Gupta (2013), Selective H2S sensing characteristics of CuO modified WO3 thin films, Sensors and Actuators B 188, 525-532 128 158 Niyanta Datta, Niranjan Ramgir, Manmeet Kaur, S Kailasa Ganapathi, A.K Debnath, D.K Aswal, S.K Gupta (2012), Selective H2S sensing characteristics of hydrothermally grown ZnO-nanowires network tailored by ultrathin CuO layers, Sensors and Actuators B: Chemical 166-167, 394-401 159 Oomman K Varghese, Dawei Gong, Maggie Paulose, Keat G Ong, Elizabeth C Dickey, Craig A Grimes (2003), Extreme changes in the electrical resistance of titania nanotubes with hydrogen exposure, Advanced Materials 15, 624-627 160 P.Z Si, C.J Choi, E Bruck, J.C.P Klaasse, D.Y Geng, Z.D Zhang (2007), Synthesis, structure and magnetic properties of iron-doped tungsten oxide nanorods, Physica B 392, 154-158 161 Pedro M Faia, Emanuel L Jesus, Cristina S Louro (2014), TiO2:WO3 composite humidity sensors doped with ZnO and CuO investigated by impedance spectroscopy, Sensors and Actuators B 203, 340-348 162 Pedro M Faia, Juliano Libardi, Cristina S Louro (2016), Effect of V2O5 doping on p- to n-conduction type transition of TiO2:WO3 composite humidity sensors, Sensors and Actuators B 222, 952-964 163 Pengfeng Guo, Haibo Pan (2006), Selectivity of Ti-doped In2O3 ceramics as an ammonia sensor, Sensors and Actuators B 114, 762-767 164 Phung Thi Hong Van, Nguyen Hoang Thanh, Vu Van Quang, Nguyen Van Duy, Nguyen Duc Hoa, Nguyen Van Hieu (2014), Scalable fabrication of high performance NO2 gas sensors based on tungsten oxide nanowires by on-chip growth and RuO2 - Functionalization, ACS Applied Materials and Interfaces 6, 12022−12030 165 Ping Feng, Feng Shao, Yi Shi, Qing Wan (2014), Gas sensors based on semiconducting nanowire field-effect transistors, Sensors 14, 17406-17429 166 Qin Kuang, Chang-Shi Lao, Zhou Li, Yu-Zi Liu, Zhao-Xiong Xie, Lan-Sun Zheng, Zhong Lin Wang (2008), Enhancing the photon- and gas-sensing properties of a single SnO2 nanowire based nanodevice by nanoparticle surface functionalization, Journal of Physical Chemistry C 112, 11539-11544 167 Quang Trung Khuc, Xuan Hien Vu, Duc Vuong Dang, Duc Chien Nguyen (2010), The influence of hydrothermal temperature on SnO2 nanorods formation, Advances in Natural Science: Nanoscience and Nanotechnology 1, 025010 168 R Delamare, M Gillet, E Gillet, P Guaino (2007), Structure and electrical properties of tungsten oxide nanorods epitaxially organized on a mica substrate, Surface Science 601, 2675-2679 169 R Huirache-Acuna, F Paraguay-Delgado, M.A Albiter, J Lara-Romero, R Martinez-Sanchez (2009), Synthesis and characterization of WO3 nanostructures prepared by an aged-hydrothermal method, Materials characterization 60, 932-937 170 R Ionescu, A Hoel, C.G Granqvist, E Llobet, P Heszler (2005), Low-level detection of ethanol and H2S with temperature-modulated WO3 nanoparticles gas sensors, Sensors and Actuators B 104, 132-139 171 R.L Anderson (1960), Germanium-Gallium Arsenide heterojunctions, IBM Journal 4, 283-287 172 Ramin Banan Sadeghian, Mojtaba Kahrizi (2007), A novel miniature gas ionization sensor based on freestanding gold nanowires, Sensors and Actuators A: Physical 137, 248-255 173 Rong Hu, Huasheng Wu, Kunquan Hong (2007), Growth of uniform tungsten oxide nanowires with small diameter via a two-step heating process, Journal of Crystal Growth 306, 395-399 129 174 Rong-Ming Ko, Shui-Jinn Wang, Zhi-Fu Wen, Jun-Ku Lin, Ga-Hong Fan, Wen-I Shu, Bor-Wen Liou (2008), Development of gas sensors based on tungsten oxide nanowires in metal/SiO2/metal structure and their sensing responses to NO2, Japanese Journal of Applied Physics 47, 3272-3276 175 S Middelhoek, D.J.W Noorlag (1981-1982), Three-dimensional representation of input and output transducers, Sensors and Actuators 2, 29-41 176 S.M Sze, M.K Lee (2012), Semiconductor devices: Physics and Technology, John Wiley & Sons Inc 177 Samiha Salmaoui, Faouzi Sediri, Neji Gharbi, Christian Perruchot, Salah Aeiyach, Iwona A Rutkowska, Pawel J Kulesza, Mohamed Jouini (2011), Hexagonal nanorods of tungsten trioxide: Synthesis, structure, electrochemical properties and activity as supporting material in electrocatalysis, Applied Surface Science 257, 8223-8229 178 Sang Sub Kim, Han Gil Na, Sun-Woo Choi, Dong Sub Kwak, Hyoun Woo Kim (2012), Novel growth of CuO-functionalized, branched SnO2 nanowires and their application to H2S sensors, Journal of Physics D: Applied Physics 45, 205301 179 Sangeeta Adhikari, Debasish Sarkar, Himadri Sekhar Maiti (2014), Synthesis and characterization of WO3 spherical nanoparticles and nanorods, Materials Research Bulletin 49, 325-330 180 Seok-Min Yong, Tsvetkov Nikolay, Byung Tae Ahn, Do Kyung Kim (2013), Onedimensional WO3 nanorods as photoelectrodes for dye-sensitized solar cells, Journal of Alloys and Compounds 547, 113-117 181 Shankara Sharanappa Kalanur, Yun Jeong Hwang, Sang Youn Chae, Oh Shim Joo (2013), Facile growth of aligned WO3 nanorods on FTO substrate for enhanced photoanodic water oxidation activity, Journal of Materials Chemistry A 1, 34793488 182 Shashwati Sen, Prajakta Kanitkar, Ankit Sharma, K.P Muthe, Ashutosh Rath, S.K Deshpande, Manmeet Kaur, R.C Aiyer, S.K Gupta, J.V Yakhmi (2010), Growth of SnO2/W18O49 nanowire hierarchical heterostructure and their application as chemical sensor, Sensors and Actuators B 147, 453-460 183 Sheng Xu, Changshi Lao, Benjamin Weintraub, Zhong Lin Wang (2008), Densitycontrolled growth of aligned ZnO nanowire arrays by seedless chemical approach on smooth surfaces, Journal of Materials Research 23, 2072-2077 184 Shibin Sun, Yimin Zhao, Yongde Xia, Zengda Zou, Guanghui Min, Yanqiu Zhu (2008), Bundled tungsten oxide nanowires under thermal processing, Nanotechnology 19, 305709 185 Shibin Sun, Zengda Zou, Guanghui Min (2009), Synthesis of bundled tungsten oxide nanowires with controllable morphology, Materials characterization 60, 437440 186 Shouli Bai, Kewei Zhang, Ruixian Luo, Dianqing Li, Aifan Chen, Chung Chiun Liu (2012), Low-temperature hydrothermal synthesis of WO3 nanorods and their sensing properties for NO2, Journal of Materials Chemistry 22, 12643-12650 187 Shuangyun Ma, Ming Hu, Peng Zeng, Wenjun Yan, Mingda Li (2013), Growth of tungsten oxide nanorods onto porous silicon and their sensing properties for NO2, Materials Letters 99, 57-60 188 Sunghoon Park, Hyunsu Kim, Changhyun Jin, Sun-Woo Choi, Sang Sub Kim, Chongmu Lee (2012), Enhanced CO gas sensing properties of Pt-functionalized WO3 nanorods, Thermochimica Acta 542, 69-73 130 189 Sun-Jung Kim, Chan Woong Na, In-Sung Hwang, Jong-Heun Lee (2012), One-pot hydrothermal synthesis of CuO-ZnO composite hollow spheres for selective H2S detection, Sensors and Actuators B 168, 83-89 190 Sun-Woo Choi, Akash Katoch, Jae-Hun Kim, Sang Sub Kim (2014), A novel approach to improving oxidizing-gas sensing ability of p-CuO nanowires using biased radial modulation of a hole-accumulation layer, Journal of Materials Chemistry C 2, 8911 191 T.D Senguttuvan, Vibha Srivastava, Jai S Tawal, Monika Mishra, Shubhda Srivastava, Kiran Jain (2010), Gas sensing properties of nanocrystalline tungsten oxide synthesized by acid precipitation method, Sensors and Actuators B 150, 384388 192 Tetsuro Seiyama, Akio Kato, Kiyoshi Fujiishi, Masanori Nagatani (1962), A new detector for gaseous components using semiconductive thin films, Analytical Chemistry 34, 1502-1503 193 Thanittha Samerjai, Chaikarn Liewhiran, Anurat Wisitsoraat, Adisorn Tuantranont, Chanitpa Khanta, Sukon Phanichphant (2014), Highly selective hydrogen sensing of Pt-loaded WO3 synthesized by hydrothermal/impregnation methods, International Journal of hydrogen energy 39, 6120-6128 194 Tian Tian, JuanJuan Xing, Lihong Cheng, Liaoying Zheng, Wei Ruan, Xuezheng Ruan, Guorong Li (2015), Synthesis of large size ZnO microrods by a simple way of thermal evaporation, Ceramics International 41, 774-778 195 Tianyou Peng, Dingning Ke, Jiangrong Xiao, Li Wang, Jun Hu, Ling Zan (2012), Hexagonal phase WO3 nanorods: Hydrothermal preparation, formation mechanism and its photocatalytic O2 production under visible-light irradiation, Journal of Solid State Chemistry 194, 250-256 196 Tiexiang Fu (2009), Research on gas-sensing properties of lead sulfide-based sensor for detection of NO2 and NH3 at room temperature, Sensors and Actuators B 140, 116-121 197 Truong Giang Ho, Thai Duy Ha, Quang Ngan Pham, Hong Thai Giang, Thi Anh Thu Do, Ngoc Toan Nguyen (2011), Nanosized perovskite oxide NdFeO3 as material for a carbon-monoxide catalytic gas sensor, Advances in Natural Science: Nanoscience and Nanotechnology 2, 015012 198 V Khatko, E Llobet, X Vilanova, J Brezmes, J Hubalek, K Malysz, X Correig (2005), Gas sensing properties of nanoparticle indium-doped WO3 thick films, Sensors and Actuators B 111-112, 45-51 199 V.B Patil, P.V Adhyapak, P.S Patil, S.S Suryavanshi, I.S Mulla (2015), Hydrothermally synthesized tungsten trioxide nanorods as NO2 gas sensors, Ceramics International 41, 3845-3852 200 V.B Patil, P.V Adhyapak, S.S Suryavanshi, I.S Mulla (2014), Oxalic acid induced hydrothermal synthesis of single crystalline tungsten oxide nanorods, Journal of Alloys and Compounds 590, 283-288 201 Victor V Sysoev, Joachim Goschnick, Thomas Schneider, Evghenii Strelcov, Andrei Kolmakov (2007), A gradient microarray electronic nose based on percolating SnO2 nanowire sensing elements, Nano Letters 7, 3182-3188 202 Vidhya Chakrapani, Jyothish Thangala, Mahendra K Sunkara (2009), WO3 and W2N nanowire arrays for photoelectrochemical hydrogen production, International Journal of Hydrogen Energy 34, 9050-9059 203 Vijay K Tomer, Sunita Devi, Ritu Malik, S.P Nehra, Surender Duhan (2016), Highly sensitive and selective volatile organic amine (VOA) sensors using mesoporous WO3–SnO2 nanohybrids, Sensors and Actuators B 229, 321-330 131 204 Vu Xuan Hien, Dang Duc Vuong, Nguyen Duc Chien, Khuc Quang Trung (2011), Synthesis of tin dioxide nanoparticles and nanorods by hydrothermal method and gas sensing characteristics, Journal of Surface Science and Nanotechnology 9, 503507 205 W Gopel, K Schierbaum (1991), Chemical and Biochemical Sensors, Weiheim, VCH Publishing House 206 Wang Yu-De, Chen Zhan-Xian, Li Yan-Feng, Zhou Zhen-Lai, Wu Xing-Hui (2001), Electrical and gas-sensing properties of WO3 semiconductor material, Solid-State Electronics 45, 639-644 207 Weijun Yan, Ming Hu, Peng Zeng, Shuangyun Ma, Mingda Li (2014), Room temperature NO2-sensing properties of WO3 nanoparticles/porous silicon, Applied Surface Science 292, 551-555 208 Won Jae Moon, Ji Haeng Yu, Gyeong Man Choi (2002), The CO and H2 gas selectivity of CuO-doped SnO2-ZnO composite gas sensor, Sensors and Actuators B 87, 464-470 209 Wu Ya-Qiao, Hu Ming, Wei Xiao-Ying (2014), A study of transition from n- to ptype based on hexagonal WO3 nanorods sensor, Chinese Physics B 23, 040704 210 X.T Su, F Xiao, J.L Lin, L.K Jian, Y.N Li, Q.J Sun, J.D Wang (2010), Hydrothermal synthesis of uniform WO3 submicrospheres using thiourea as an assistant agent, Materials characterization 61, 831-834 211 Xianping Chen, Cell K.Y Wong, Cadmus A Yuan, Guoqi Zhang (2013), Nanowire-based gas sensors, Sensors and Actuators B 177, 178-195 212 Xiaolan Wei, Pei Kang Shen (2006), Electrochromics of single crystalline WO3.H2O nanorods, Electrochemistry Communications 8, 293-298 213 Xiaoping Shen, Guoxiu Wang, David Wexler (2009), Large-scale synthesis and gas sensing application of vertically aligned and double-sides tungsten oxide nanorod arrays, Sensors and Actuators B 143, 325-332 214 Xihong Peng (2012), Nanowires-Recent Advances, InTech, Croatia 215 Xinyu Xue, Lili Xing, Yujin Chen, Songlin Shi, Yanguo Wang, Taihong Wang (2008), Synthesis and H2S sensing properties of CuO-SnO2 core/shell PN-junction nanorods, The Journal of Physical Chemistry C 112, 12157-12160 216 Xu Chun Song, Yi Fan Zheng, E Yang, Yun Wang (2007), Large-scale hydrothermal synthesis of WO3 nanowires in the presence of K2SO4, Materials Letters 61, 3904-3908 217 Xu Yuxing, Tan Qiangqiang, Tang Zilong, Zhang Zhongtai, Yuan Zhangfu (2010), Sol-gel derived cubic-phase WO3 nanowires on nano-porous alumina template, Rare Metal Materials and Engineering 39, 0753-0755 218 Xuan Hien Vu, Tu Huy Anh Ly, Quang Trung Khuc, Duc Vuong Dang, Duc Chien Nguyen (2010), LPG sensing properties of SnO2 nanoparticles doped with several metal oxides by a hydrothermal method, Advances in Natural Science: Nanoscience and Nanotechnology 1, 025014 219 Y Liu, J Yu, P.T Lai (2014), Investigation of WO3/ZnO thin-film heterojunctionbased Schottky diodes for H2 gas sensing, International Journal of hydrogen energy 39, 10313-10319 220 Y.B Li, Y Bando, D Golberg, K Kurashima (2003), WO3 nanorods/ nanobelts synthesized via physical vapor deposition process, Chemical Physics Letters 367, 214-218 221 Y.M Zhao, Y.Q Zhu (2009), Room temperature ammonia sensing properties of W18O49 nanowires, Sensors and Actuators B 137, 27-31 132 222 Yan Wang, Jianliang Cao, Shurong Wang, Xianzhi Guo, Jun Zhang, Huijuan Xia, Shoumin Zhang, Shihua Wu (2008), Facile synthesis of porous -Fe2O3 nanorods and their application in ethanol sensors, Journal of Physical Chemistry C 112, 17804-17808 223 Yanbai Shen, Toshinari Yamazaki, Zhifu Liu, Dan Meng, Toshio Kikuta, Noriyuki Nakatani, Mitsufumi Saito, Masayuki Mori (2009), Microstructure and H2 gas sensing properties of undoped and Pd-doped SnO2 nanowires, Sensors and Actuators B 135, 524-529 224 Yangchun Yu, Wen Zeng, Le Yu, Sujuan Wu (2016), A novel WO3.H2O nanostructure assembled with nanorods: Hydrothermal synthesis, growth and their gas sensing properties, Materials Letters 180, 51-54 225 Yanghai Gui, Fanghong Dong, Yonghui Zhang, Yong Zhang, Junfeng Tian (2013), Preparation and gas sensitivity of WO3 hollow microspheres and SnO2 doped heterojunction sensors, Materials Science in Semiconductor Processing 16, 15311537 226 Yani Li, Xintai Su, Jikang Jian, Jide Wang (2010), Ethanol sensing properties of tungsten oxide nanorods prepared by microwave hydrothermal method, Ceramics International 36, 1917-1920 227 Yi Shen, Defang Ding, Yazhi Deng (2011), Fabrication and characterization of WO3 flocky microspheres induced by ethanol, Power Technology 211, 114-119 228 Yong Shin Kim, Seung-Chul Ha, Kyuwon Kim, Haesik Yang, Sung-Yool Choi, Youn Tae Kim (2005), Room-temperature semiconductor gas sensor based on nonstoichiometric tungsten oxide nanorod film, Applied Physics Letters 86, 213105 229 Yong-Gyu Choi, Go Sakai, Kengo Shimanoe, Noboru Yamazoe (2004), Wet process-based fabrication of WO3 thin film for NO2 detection, Sensors and Actuators B 101, 107-111 230 Yude Wang, Qiuying Mu, Guofeng Wang, Zhenlai Zhou (2010), Sensing characterization to NH3 of nanocrystalline Sb-doped SnO2 synthesized by a nonaqueous sol-gel route, Sensors and Actuators B 145, 847-853 231 Yu-De Wang, Xing-Hui Wu, Zhen-Lai Zhou (2000), Novel high sensitivity and selectivity semiconductor gas sensor based on the p+n combined structure, SolidState Electronics 44, 1603-1607 232 Yuxiang Qin, Ming Hu, Jie Zhang (2010), Microstructure characterization and NO2-sensing properties of tungsten oxide nanostructures, Sensors and Actuators B 150, 339-345 233 Yuxiang Qin, Xiao Li, Fei Wang, Ming Hu (2011), Solvothermally synthesized tungsten oxide nanowires/nanorods for NO2 gas sensor applications, Journal of Alloys and Compounds 509, 8401-8406 133 DANH MỤC CÁC CƠNG TRÌNH ĐÃ CƠNG BỐ CỦA LUẬN ÁN Nguyen Dac Dien, Nguyen Hoang Hung, Dang Duc Vuong, Nguyen Duc Chien (2012), NH3 sensing property of -Fe2O3/WO3 hybrid nanomaterial, International Conference Proceedings on Advanced Materials and Nanotechnology (ICAMN), Hanoi University of Science and Technology, 13-14th December 2012 Nguyen Hoang Hung, Nguyen Dang Thanh, Nguyen Huu Lam, Nguyen Dac Dien, Nguyen Duc Chien, Dang Duc Vuong (2014), Preparation and ethanol sensing properties of flower-like cupric oxide hierarchical nanorods, Materials Science in Semiconductor Processing 26, 18-24 Nguyen Dac Dien, Tong Van Trung, Nguyen Anh Phuc Duc, Dang Duc Vuong, Nguyen Duc Chien (2014), NH3 sensing property of WO3 nanorods prepared by hydrothermal treatment, Journal of Science and Technology 52 (3B), 313-318 Nguyen Dac Dien, Dang Duc Vuong, Nguyen Duc Chien (2014), Influence of pH value on the morphology of WO3 nanomaterial synthesized through hydrothermal treatment, The 2nd International Conference Proceedings on Advanced Materials and Nanotechnology (ICAMN), Hanoi University of Science and Technology, 30th October – 1st November 2014 Pham Tien Hung, Luong Huu Phuoc, Nguyen Dac Dien, Dang Duc Vuong, Nguyen Duc Chien (2014), Cupric oxide nanoflowers with plate-like petals: Facile synthesis and ethanol sensing properties, The 2nd International Conference Proceedings on Advanced Materials and Nanotechnology (ICAMN), Hanoi University of Science and Technology, 30th October – 1st November 2014 Dac Dien Nguyen, Duc Vuong Dang, Duc Chien Nguyen (2015), Hydrothermal synthesis and NH3 gas sensing property of WO3 nanorods at low temperature, Advances in Natural Science: Nanoscience and Nanotechnology 6, 035006 Nguyen Dac Dien, Luong Huu Phuoc, Do Duc Tho, Nguyen Anh Phuc Duc, Nguyen Duc Chien, Dang Duc Vuong (2015), Hydrothermal synthesis and NH3 gas sensing property of WO3 nanoparticles, Journal of Science of HNUE – Mathematical and Physical Science 60 (7), 68-74 Dac Dien Nguyen, Duc Tho Do, Xuan Hien Vu, Duc Vuong Dang and Duc Chien Nguyen (2016), ZnO nanoplates surfaced-decorated by WO3 nanorods for NH3 gas sensing application, Advances in Natural Science: Nanoscience and Nanotechnology 7, 015004 Nguyen Dac Dien, Do Duc Tho, Vu Xuan Hien, Dang Duc Vuong, Nguyen Duc Chien (2016), ZnO microrods surface-decorated by WO3 nanorods for enhancing NH3 gas sensing performance, Journal of Science and Technology 54 (1A), 151-159 10 Nguyen Dac Dien, Luong Huu Phuoc, Vu Xuan Hien, Dang Duc Vuong, Nguyen Duc Chien (2017), Hydrothermal synthesis and ammonia sensing properties of WO3/Fe2O3 nanorod composites, Journal of Electronic Materials (accepted manuscript) 134 ... cứu chế tạo khảo sát đặc trưng nhạy khí vật liệu nano WO3 tổ hợp với oxit kim loại (CuO, ZnO, Fe2O3)? ?? gồm nội dung sau: Chương I: Tổng quan: giới thiệu chung vật liệu WO3, công nghệ nano vật liệu. .. IV: Đặc tính nhạy khí vật liệu tổ hợp nano WO3: Tính chất nhạy khí vật liệu CuO, Fe2O3, ZnO đặc tính nhạy khí vật liệu tổ hợp WO3 với loại oxit (riêng ZnO có hai hình thái tấm) với loại khí thử... TÍNH NHẠY KHÍ CỦA VẬT LIỆU TỔ HỢP NANO WO3 85 4.1 Vật liệu tổ hợp nano WO3 nano CuO 85 4.1.1 Tính chất nhạy khí nano CuO 85 4.1.2 Tính chất nhạy khí tổ hợp nano WO3/ thanh nano CuO