Tìm hiểu về độ phân giải trong SEM

10 309 0
Tìm hiểu về độ phân giải trong SEM

Đang tải... (xem toàn văn)

Thông tin tài liệu

Tìm hiểu độ phân giải SEM • Gv hướng dẫn:Th.s Nguyễn Thị Ngọc Linh • Sv thực : Nguyễn Thị Nga Độ phân giải SEM Khái niệm • Độ phân giải thông số tới hạn khống chế thực SEM Thật vậy,độ phân giải kết cân đối hiệu ứng quang sai thấu kính cuối hiệu ứng nhiễu xạ Đối với hầu hết thiết bị nay, độ phân giải cỡ 3,5 – nm • Để đạt độ phân giải siêu cao SEM phải tạo đường kính chùm tia X nhỏ nguồn điện tử có độ rọi lớn kết hợp với khả thu điện tử thứ cấp phát xạ với hiệu xuất cao Độ phân giải SEM a) Sự ảnh hưởng đường kính chùm điện tử lên độ phân giải • Đường kính chùm điện tử thay đổi ta điều chỉnh dòng kính hội tụ đường kính chùm giảm thì: + Độ phân giải gia tăng + Quang sai thấu kính giảm + Dòng điện tử giảm Độ phân giải SEM VD hình ảnh vật liệu gốm • Đường kính chùm điện tử nhỏ nên hình ảnh sắc nét Dòng chùm điện tử nhỏ đưa đến độ nhiễu xạ thấp tạo nên ảnh rõ ràng • Đường kính chùm tia điện tử lớn nên hình ảnh bớt sắc nét hơn, bề mặt phẳng Độ phân giải SEM b) Ảnh hưởng gia tốc lên độ phân giải • Hình ảnh 5kV • Thông thường gia tốc cao (15-30 kV) ảnh thu có độ phóng đại lớn phân giải tốt Tuy nhiên chọn gia tốc thích hợp lại tùy thuộc chủ yếu vào mẫu thí nghiệm + Đối với vật liệu dẫn điện • Hình ảnh 25kV đo gia tốc cao + Đối với vật liệu không dẫn điện (polyme, gốm) thường đo gia tốc khoảng 10kV Độ phân giải SEM c) Ảnh hưởng kích thước khe vật kính lên độ phân giải độ sâu trường • - Khi khe vật kính điều chỉnh giảm + Quang sai thấu kính giảm, gia tăng độ phân giải + Giảm dòng điện tử + Giảm góc hội tụ chùm, nên gia tăng độ sâu trường Kích thước chùm lớn nên góc hội tụ lớn giảm độ sâu trường - Kích thước chùm nhỏ nên góc hội tụ nhỏ tăng độ sâu trường Độ phân giải SEM d) Ảnh hưởng khoảng cách vật kính mẫu lên độ phân giải độ sâu trường • Quan sát hình bên +Bên A thể chùm tia tốt vào mẫu +Bên B cần hiệu chỉnh WD (thô)-khoảng cách vật kính mẫu để chùm tia hội tụ tốt Độ phân giải SEM • Khi tăng WD thì: - chiều sâu trường tăng - kích thước điểm hội tụ chùm điện tử tăng, độ phân giải giảm - gia tăng quang sai Độ phân giải SEM • Khi gia tăng WD gia tăng độ sâu trường, giảm độ phân giải (ảnh sợi tóc bóng đèn) •Hình 2: kích thước khe 200μm, WD 10mm •Hình 3: kích thước khe 200μm, WD 38mm •Hình 3: kích thước khe 200μm, WD 38mm Cảm ơn cô bạn lắng nghe ... chỉnh WD (thô)-khoảng cách vật kính mẫu để chùm tia hội tụ tốt Độ phân giải SEM • Khi tăng WD thì: - chiều sâu trường tăng - kích thước điểm hội tụ chùm điện tử tăng, độ phân giải giảm - gia tăng... đạt độ phân giải siêu cao SEM phải tạo đường kính chùm tia X nhỏ nguồn điện tử có độ rọi lớn kết hợp với khả thu điện tử thứ cấp phát xạ với hiệu xuất cao Độ phân giải SEM a) Sự ảnh hưởng đường... hình ảnh bớt sắc nét hơn, bề mặt phẳng Độ phân giải SEM b) Ảnh hưởng gia tốc lên độ phân giải • Hình ảnh 5kV • Thông thường gia tốc cao (1 5-3 0 kV) ảnh thu có độ phóng đại lớn phân giải tốt Tuy

Ngày đăng: 16/01/2016, 11:06

Từ khóa liên quan

Mục lục

  • Tìm hiểu về độ phân giải trong SEM

  • Độ phân giải trong SEM

  • Độ phân giải trong SEM a) Sự ảnh hưởng của đường kính chùm điện tử lên độ phân giải

  • Độ phân giải trong SEM VD về hình ảnh của một vật liệu gốm

  • Độ phân giải trong SEM b) Ảnh hưởng của thế gia tốc lên độ phân giải

  • Slide 6

  • Độ phân giải trong SEM d) Ảnh hưởng của khoảng cách giữa vật kính và mẫu lên độ phân giải và độ sâu trường

  • Độ phân giải trong SEM

  • Slide 9

  • Cảm ơn cô và các bạn đã lắng nghe

Tài liệu cùng người dùng

  • Đang cập nhật ...

Tài liệu liên quan