Nghiên cứu chế tạo Sensor đo từ trường thấp dạng cầu Wheatstone dựa trên màng mỏng từ NiFe cấu trúc Nano

53 526 0
Nghiên cứu chế tạo Sensor đo từ trường thấp dạng cầu Wheatstone dựa trên màng mỏng từ NiFe cấu trúc Nano

Đang tải... (xem toàn văn)

Tài liệu hạn chế xem trước, để xem đầy đủ mời bạn chọn Tải xuống

Thông tin tài liệu

. HÀ NỘI TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ NGUYỄN THỊ THÚY NGHIÊN CƯ ́ U CHÊ ́ TA ̣ O SENSOR ĐO TƯ ̀ TRƯƠ ̀ NG THÂ ́ P DẠNG CẦU WHEATSTONE DƯ ̣ A TRÊN MÀNG MỎNG TỪ NiFe CẤU TRÚC NANO . TRƯƠ ̀ NG THÂ ́ P DẠNG CẦU WHEATSTONE DƯ ̣ A TRÊN MÀNG MỎNG TỪ NiFe CẤU TRÚC NANO Chuyên ngành: Vật liê ̣ u va ̀ linh kiê ̣ n Nano M s: Chuyên ngành đào tạo thí điểm . LINH KIỆN NANO Hà Nội - 2012 -2- ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ NGUYỄN THỊ THÚY NGHIÊN CƯ ́ U CHÊ ́ TẠO SENSOR ĐO TỪ TRƯƠ ̀ NG

Ngày đăng: 25/03/2015, 11:54

Từ khóa liên quan

Mục lục

  • MỤC LỤC

  • Danh mục các bảng

  • Danh mục các đồ thị, hình vẽ

  • Mở đầu

  • Chương 1. Tổng quan

  • 1.1 Hiệu ứng từ điện trở

  • 1.1.1 Hiệu ứng từ trở dị hướng AMR

  • 1.1.2 Hiệu ứng Hall phẳng

  • 1.2 Nhiễu sensor

  • 1.2.1 Nhiễu nhiệt

  • 1.2.2 Dải tần nhiễu tương đương

  • 1.2.3 Nhiễu lượng tử

  • 1.2.4 Nhiễu 1/f

  • 1.2.5 Nhiễu Barkhausen

  • 1.3 Mạch cầu điện trở Wheatstone

  • 1.4 Kết luận chương 1

  • Chương 2. Các phương pháp thực nghiệm

  • 2.1 Các thiết bị sử dụng trong luận văn

  • 2.1.1 Thiết bị quay phủ

  • 2.1.2 Hệ quang khắc

  • 2.1.3 Kính hiển vi quang học

  • 2.1.4 Buồng xử lý m ẫu

  • 2.1.5 Thiết bị phún xạ

  • 2.2 Các phương pháp khảo sát tính chất của sensor

  • 2.2.1 Khảo sát tính chất điện của sensor

  • 2.2.2 Khảo sát tính chất từ của sensor

  • 2.3 Kết luận chương 2

  • Chương 3. Thực nghiệm và kết quả

  • 3.1 Quy trình chế tạo sensor

  • 3.1.1. Chế tạo các điện trở dạng cầu Wheatstone

  • 3.1.2. Chế tạo các điện cực

  • 3.2 Kết quả và thảo luận

  • 3.2.1 Kết quả khảo sát tính chất điện của sensor

  • 3.2.2 Sự phụ thuộc thế ra của sensor vào dòng điện một chiều

  • 3.2.3 So sánh sensor có chiều dày màng của điện trở khác nhau

  • 3.2.4 So sánh sensor có kích thước điện trở khác nhau

  • 3.2.5 So sánh tính chất điện của sensor và màng Ni80 Fe20 (1cm × 1cm)

  • 3.2.6 Khảo sát đáp ứng của sensor với từ trường trái đất

  • 3.2.7 Kết quả khảo sát tính chất từ của màng Ni80 Fe20 (1cm × 1cm)

  • 3.3 Kết luận chương 3

  • Kết luận

  • Tài liệu tham khảo

Tài liệu cùng người dùng

  • Đang cập nhật ...

Tài liệu liên quan