. ĐƠN VÀ ĐA THÀNH PHẦN TRONG VẬT LIỆU BÁN DẪN 12 2.1. Các cơ chế khuếch tán trong bán dẫn 12 2.2. Định luật Fick I và II 14 2.3. Bài toán về quá trình khuếch tán trong vật liệu 17 2.4. Hệ số. tử, lý thuyết bước ngẫu nhiên, các hiện tượng hay hiệu ứng…); các công cụ cho nghiên cứu khuếch tán (các phương pháp mô phỏng, công cụ thực nghiệm, cơ sở dữ liệu, phần mềm…); Khuếch tán trong. tạo các màng mỏng. Bằng cách thêm vào các tạp chất trong chùm phân tử nhằm pha tạp cho các lớp màng mỏng để có được những tính chất mong muốn. Các phương pháp mô phỏng quá trình công nghệ thường