... động kiểu tĩnh điện dựa công nghệ Vi Cơ Điện tử để thực luận án Đối tượng nghiên cứu Các vi động quay kiểu tĩnh điện (rotational electrostatic micro motors) đƣợc chế tạo công nghệ gia công vi ... án Nghiên cứu cách có hệ thống vi động cơ, qua lựa chọn đối tƣợng nghiên cứu phù hợp với tình hình nghiên cứu, phát triển ngành Công nghệ Vi điện tử Vi t Nam Tính toán, thiết kế chế tạo thành công ... động vi động kiểu tĩnh điện quay tịnh tiến điện áp dẫn 100 V Từ công trình nghiên cứu vi động nay, có thêm nhiều vi động đƣợc thiết kế, chế tạo ứng dụng Để có nhìn tổng quát, có hệ thống vi động...