Chế tạo màng mỏng bằng phương pháp phún xạ

Báo cáo khoa học: Nghiên cứu chế tạo màng tin bằng phương pháp phún xạ phản ứng Magnetron DC docx

... ứng dụng làm màng phản xạ hệ màng đa lớp Vì vậy, công trình nghiên cứu, tìm điều kiện tối ưu để chế tạo màng TiN có chiết suất thấp, hệ số tắt k lớn, nghĩa màng có điện trở suất thấp hay độ phản ... 2.THỰC NGHIỆM Màng TiN chế tạo phương pháp phún xạ phản ứng Magnetron dc đế thủy tinh, hệ chân không làm việc có áp suất tới hạn 10-4 torr với bia làm vật liệu Titanium, độ tinh khiết 99.6%, kích ... dày màng xác định phương pháp Stylus, điện trở mặt màng xác định phương pháp bốn mũi dò[4] Cấu trúc tinh thể kích thước hạt màng xác định dựa vào phổ nhiễu xạ tia X Chiết suất n hệ số tắt k màng...

TẠO MÀNG MỎNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ

... phóng đến đế Vì phún xạ? ? So với bốc bay -Phún xạ tạo màng có độ đồng pp bốc bay -Dễ dàng tạo màng hơp kim CƠ CHẾ VẬT LÝ CỦA PHÚN XẠ: NHỮNG HẠT PHÚN XẠ CƠ CHẾ VẬT LÝ CỦA PHÚN XẠ Phún xạ trình: Những ... -Chân không phún xạ: + Chân không tới hạn: 10-7 torr + Áp suất làm việc: 10-2  10-3 torr Hết phần 1: phún xạ PHẦN PHÚN XẠ MAGNETRON PHÚN XẠ MAGNETRON Phún xạ Magnetron Nhắc lại: PHÚN XẠ LÀ GÌ? ... trung bình ion khoảng 10 – 40 nm HIỆU SUẤT PHÚN XẠ Hiệu suất phún xạ = tổng nguyên tử phún xạ A / tổng ion tới = NA / Ni HIỆU SUẤT PHÚN XẠ Hiệu suất phún xạ phụ thuộc vào: - Bản chất bia - Bản chất...

37
1,938
1

Nghiên cứu chế tạo màng ITO bằng phương pháp phún xạ Magnetron

...  Tổng quan Màng ITO Phương pháp phún xạ magnetron Thực nghiệm Các bước tạo màng Các phương pháp xác định tính chất màng Kết Khoảng cách bia đế Công suất phún xạ Nhiệt độ đế Độ dày màng Khí oxi ... khác dễ dàng phún xạ  Phương pháp có chi phí không cao  Có khả phủ màng diện tích rộng Page  Phún xạ Magetron Page  Thực nghiệm Page  Một số đặc điểm trình tạo màng Hệ tạo màng mỏng Univex ... truyền qua quang học màng ITO 80% vùng 0.4 - 0.7 µm Độ phản xạ 90% bước sóng lớn µm Page  29 Tài liệu tham khảo Trần Cao Vinh (2008), Tạo màng dẫn điện suốt phương pháp phún xạ Magnetron, Luận án...

31
1,356
1

Chế tạo màng Sn02 bằng phương pháp phun tĩnh điện

...

Nghiên cứu chế tạo màng zno bằng phương pháp CVD

... dạng hidrat 3.6 CHẾ TẠO MÀNG MỎNG KẼM (II) OXIT BẰNG PHƯƠNG PHÁP CVD 3.6.1 Quy trình chế tạo màng mỏng kẽm(II) oxit phƣơng pháp CVD Sơ đồ thiết bị Các màng mỏng chế tạo phương pháp CVD áp suất thấp ... gian tạo màng: 1h - Tác nhân phản ứng: H2O Các màng thu được nghiên cứu phương pháp sau: XRD, SEM, phổ truyền qua, phổ phát quang, đo bề dày hình thái học bề mặt 3.6.2 Nghiên cứu màng chế tạo ... nghiên cứu tính chất, khảo sát khả thăng hoa β-điketonat cacboxylat kim loại sử dụng phức chất làm tiền chất để chế tạo màng mỏng Với mục đích tạo màng ZnO nghiên cứu tính chất màng, luận...

nghiên cứu chế tạo màng zno bằng phương pháp cvd

... mặt đế để tạo màng mỏng mong muốn Ngoài phương pháp CVD, màng mỏng chế tạo phương pháp khác phương pháp điện hoá (anốt hoá mạ điện) phương pháp solgel Phương pháp sol-gel gồm có trình tạo sol tiền ... dạng hidrat 3.6 CHẾ TẠO MÀNG MỎNG KẼM (II) OXIT BẰNG PHƢƠNG PHÁP CVD 3.6.1 Quy trình chế tạo màng mỏng kẽm(II) oxit phƣơng pháp CVD Sơ đồ thiết bị Các màng mỏng chế tạo phương pháp CVD áp suất thấp ... phƣơng pháp CVD 45 3.6.2 Nghiên cứu màng chế tạo từ tiền chất Zn(Piv)2 47 3.6.2.1 Giản đồ nhiễu xạ tia X màng 47 3.6.2.2 Nghiên cứu hình thái bề mặt màng 48 3.6.2.3 Nghiên cứu...

Tài liệu Báo cáo " Chế tạo vàng nano bằng phương pháp chiếu xạ " doc

...

nghiên cứu chế tạo màng mỏng ZnO loại P bằng phương pháp phún xạ Magnetron

... Sản phẩm sau nung có dạng đĩa tròn đường kính tất bia x p xỉ 7,7cm phù h p làm bia trình phún xạ magnetron tạo màng Chế tạo màng ZnO pha t p N từ bia gốm Màng ZnO pha t p N chế tạo phương ph p phún ... B.Yao, màng mỏng ZnO: N chế tạo phương ph p phún xạ magnetron RF điều kiện nhiệt độ 510K đế thạch anh xác định cấu trúc phương ph p nhiễu xạ tia X Hình 2.5 Phổ nhiễu xạ ZnO Hằng số mạng tinh thể ZnO: N ... N2, N2O Trong N N2O dùng nguồn pha t p N Các điều kiện phún xạ tạo màng p suất buồng p suất p suất phún xạ Khí phún xạ Đế phủ Khoảng cách phún xạ Công suất phún xạ RF Nhiệt độ đế < 5.10-6 torr...

7
1,834
20

Báo cáo khoa học: Nghiên cứu chế tạo màng mỏng Al2O3 bằng phương pháp phún xạ Magnetron RF potx

... Vol 12, No.03 - 2009 Bài viết trình bày việc nghiên cứu chế tạo màng mỏng Al2O3 phương pháp phún xạ magnetron rf chuyển pha xử lý nhiệt sau Màng phún xạ phản ứng từ bia nhôm kim loại môi trường ... suất màng mỏng thực với phương pháp khác ta thấy có phù hợp tốt Chiết suất màng cao màng bốc bay phản ứng thấp phương pháp FCVA Technique Bulk (bảng 01) Bảng 1.Chiết suất màng Al2O3 với phương pháp ... 1.Chiết suất màng Al2O3 với phương pháp tạo màng khác [26 ] Phương pháp Chiết suất 550 nm Phương pháp Chiết suất 550 nm Bốc bay 1.5 Phún xạ phản ứng 1.68 Phún xạ chùm ion 1.65 Hai chùm tia ion 1.62...

Báo cáo nghiên cứu khoa học: " NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO MÀNG MỎNG TiO2 BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON RF" doc

... Phổ truyền qua màng TiO2 tạo từ phương pháp phún xạ magnetron rf (1) phún xạ magnetron dc (2) Khi so sánh phổ truyền qua màng TiO2 tạo từ phương pháp, ta nhận thấy độ truyền qua màng tương đương ... NGHIỆM Màng TiO2 tạo phương pháp phún xạ rf, từ bia gốm TiO2 (độ tinh khiết khoảng 99%), bia gốm chế tạo từ bột TiO2 tinh khiết nung tới nhiệt độ 14000C vòng Việc chế tạo bia gốm TiO2 trình bày báo ... đương cao khoảng 90% Nhưng tính chiết suất màng bước sóng 550 nm, màng TiO2 tạo phương pháp phún xạ rf có chiết suất 2.48 màng TiO2 tạo phương pháp phún xạ dc có chiết suất thấp khoảng 2.42 Kết...

Nghiên cứu chế tạo màng mỏng quang xúc tác bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron dc

... HV: Đinh Cơng Trường Chương CHẾ TẠO MÀNG TiO2:N 4.1 CHẾ TẠO HỆ PHÚN XẠ MAGNETRON KHƠNG CÂN BẰNG ĐỂ TẠO MÀNG VÀ HỆ ĐO QUANG XÚC TÁC 4.1.1 HỆ TẠO MÀNG TiO2:N Màng TiO2 tạo hệ chân không B302(hình ... 1.1.2 Cơ chế quang xúc tác Chất xúc tác quang chất làm tăng tốc độ phản ứng quang hố Khi chiếu ánh sáng với cường độ thích hợp chất xúc tác quang đẩy nhanh tốc độ phản ứng quang hố cách tương tác ... tạp lớn màng chế tạo màng TiO2:N phương pháp phún xạ magnetron Mặc dù, theo [5,7,13], tác giả cho có phương pháp IBAD, PLD cho lượng pha tạp lớn Ngồi ra, giải thích phương pháp phún xạ magnetron...

Chế tạo và khảo sát một số tính chất của màng mỏng ZnO Al và màng mỏng ZnO Mn bằng phương pháp phún xạ RF Magneton

... BÁO C Ả O TÓM TẮT Để tài; CHẾ TẠO VÀ KHẢO SÁT MỘT s ố TÍNH CHẤT CỦA MÀNG m ■ MỎNG ZnO: AI VÀ MÀNG MỎNG ZnO: Mn BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ R.F MAGNETON M ã số: Q T - 03 - 05 Chủ trì đề tài: ... LÊ ĐẠI THANH CHẾ TẠO VÀ KHẢO SÁT MỘT s ố TÍNH CHÂT CỦA MÀNG ZnO VÀ MÀNG ZnO PHA TẠP Mn, Co BANG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ R.F MAGNETRON C h u v ẽ n n g h n h : VẬT LÝ CHẤT RẮN M ã số: 01.02.07 LUẬN ... kính 75 mm ZnO: Al ZnO: Mn với nồng độ tạp chất AI Mn khác phương pháp gốm truyền thống ❖ Chế tạo thành công màng ZnO pha tạp đế thủy tinh ❖ Khảo sát tính chất điện, quang huỳnh quang màng mỏng nhận...

chế tạo vật liệu tổ hợp pzt-nife-cofe bằng phương pháp phún xạ các màng mỏng sắt từ lên đế áp điện pzt phân cực quang và phân cực dọc

... phương pháp chế tạo vật liệu PZT Vật liệu PZT chế tạo nhiều phương pháp khác bao gồm phương pháp hoá học phương pháp vật lý Phần tiếp theo, luận văn trình bày số phương pháp chế tạo vật liệu PZT ... cứu vật liệu sắt điện -áp điện cấu trúc perovskite, có PZT vật liệu tổ hợp đa pha Trong luận văn này, vật liệu tổ hợp PZT/ NiFe/CoFe cấu trúc micro-nano chế tạo trực tiếp PZT phương pháp phún xạ, ... thông tin Một số loại vật liệu tổ hợp đa pha phương pháp chế tạo tổng kết bảng 1.2 14 Bảng 1.2 Một số vật liệu multiferroics tổ hợp đa pha Vật liệu tổ hợp Phương pháp chế tạo BaTiO3-CoFe2O4 -...

Quang phổ Laser - Màng mỏng ZnO pha tạp nguyên tố đất hiếm chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron

... thấp, dẫn điện tốt Phương pháp chế tạo - Phún xạ magnetron - Lắng đọng pha hoá học hữu kim loại (MOCVD) - Lắng đọng laser xung (PLD) Các ứng dụng Màng mỏng ZnO pha tạp Al In sử dụng điện cực ... thiệu màng ZnO pha tạp Nguyên tố pha tạp - Nhóm III: B, Al, Ga hay In - Nhóm IV: Si, Ge, Ti, Zr hay Hf - Halogen: F Tính chất - Trong suốt, độ truyền qua cao - Điện trở suất thấp, dẫn điện tốt Phương ... phát quang (EL) diod phát quang hữu Màng ZnO pha tạp Al, Ga hay B với bề mặt thô ráp dùng làm điện cực suốt cho pin mặt trời α-Si CuInSe2 Người ta cho màng mỏng ZnO pha tạp Al Ga tốt cho màng...

Báo cáo khoa học: Ảnh hưởng của nhiệt độ đế lên cấu trúc và tính chất điện của màng dẫn điện trong suốt SnO2:Sb được chế tạo bằng phương pháp phún xạ Magnetron phản ứng potx

... sát giản đồ XRD để xét ảnh hưởng nhiệt độ đế lắng đọng màng lên cấu trúc màng Trên hình giản đồ XRD mẫu bột SnO2 mẫu màng SnO2:Sb chế tạo nhiệt độ đế khác với thơng số tạo màng cho bảng Kết phù ... 4.KẾT LUẬN Cơng trình chế tạo thành cơng màng dẫn điện suốt SnO2:Sb phương pháp phún xạ magnetron phản ứng kết hợp với q trình cấp nhiệt cho đế Màng có trạng thái kết tinh tốt Độ truyền qua cực đại ... qua màng SnO2:Sb chế tạo nhiệt độ khác (1) Trang 17 Science & Technology Development, Vol 12, No.17 - 2009 Bảng Các thơng số quang học màng SnO2:Sb chế tạo nhiệt độ khác Nhiệt độ đế (0C) Độ dày...

Xem thêm

Từ khóa: 3 chế tạo màng mỏng zno pha tạp chất bằng phương pháp phún xạ r f magnetron và tính chất của chúng chế tạo bánh răng bằng phương pháp bao hình cong nghe che tao kim loai bang phuong phap moi chế tạo dây nano bằng phương pháp điện hóa trình chế tạo vật liệu bằng phương pháp nổ kết hợp vi sóng tiến hành chế tạo vật liệu bằng phương pháp pha rắn Báo cáo thực tập tại nhà thuốc tại Thành phố Hồ Chí Minh năm 2018 Nghiên cứu sự biến đổi một số cytokin ở bệnh nhân xơ cứng bì hệ thống Báo cáo quy trình mua hàng CT CP Công Nghệ NPV Nghiên cứu sự hình thành lớp bảo vệ và khả năng chống ăn mòn của thép bền thời tiết trong điều kiện khí hậu nhiệt đới việt nam Nghiên cứu tổ hợp chất chỉ điểm sinh học vWF, VCAM 1, MCP 1, d dimer trong chẩn đoán và tiên lượng nhồi máu não cấp Giáo án Sinh học 11 bài 13: Thực hành phát hiện diệp lục và carôtenôit Giáo án Sinh học 11 bài 13: Thực hành phát hiện diệp lục và carôtenôit ĐỒ ÁN NGHIÊN CỨU CÔNG NGHỆ KẾT NỐI VÔ TUYẾN CỰ LY XA, CÔNG SUẤT THẤP LPWAN ĐỒ ÁN NGHIÊN CỨU CÔNG NGHỆ KẾT NỐI VÔ TUYẾN CỰ LY XA, CÔNG SUẤT THẤP LPWAN NGHIÊN CỨU CÔNG NGHỆ KẾT NỐI VÔ TUYẾN CỰ LY XA, CÔNG SUẤT THẤP LPWAN SLIDE Quản lý hoạt động học tập của học sinh theo hướng phát triển kỹ năng học tập hợp tác tại các trường phổ thông dân tộc bán trú huyện ba chẽ, tỉnh quảng ninh Trả hồ sơ điều tra bổ sung đối với các tội xâm phạm sở hữu có tính chất chiếm đoạt theo pháp luật Tố tụng hình sự Việt Nam từ thực tiễn thành phố Hồ Chí Minh (Luận văn thạc sĩ)Định tội danh từ thực tiễn huyện Cần Giuộc, tỉnh Long An (Luận văn thạc sĩ)Quản lý nợ xấu tại Agribank chi nhánh huyện Phù Yên, tỉnh Sơn La (Luận văn thạc sĩ)BT Tieng anh 6 UNIT 2 Giáo án Sinh học 11 bài 15: Tiêu hóa ở động vật chuong 1 tong quan quan tri rui ro Giáo án Sinh học 11 bài 14: Thực hành phát hiện hô hấp ở thực vật Giáo án Sinh học 11 bài 14: Thực hành phát hiện hô hấp ở thực vật Giáo án Sinh học 11 bài 14: Thực hành phát hiện hô hấp ở thực vật