Nghiên cứu chế tạo màng ITO bằng phương pháp phún xạ Magnetron

...  Tổng quan Màng ITO Phương pháp phún xạ magnetron Thực nghiệm Các bước tạo màng Các phương pháp xác định tính chất màng Kết Khoảng cách bia đế Công suất phún xạ Nhiệt độ đế Độ dày màng Khí oxi ... khác dễ dàng phún xạ  Phương pháp có chi phí không cao  Có khả phủ màng diện tích rộng Page  Phún xạ Magetron Page  Thực nghiệm Page  Một số đặc điểm trình tạo màng Hệ tạo màng mỏng Univex ... truyền qua quang học màng ITO 80% vùng 0.4 - 0.7 µm Độ phản xạ 90% bước sóng lớn µm Page  29 Tài liệu tham khảo Trần Cao Vinh (2008), Tạo màng dẫn điện suốt phương pháp phún xạ Magnetron, Luận án...

31
1,356
1

Báo cáo khoa học: Nghiên cứu chế tạo màng tin bằng phương pháp phún xạ phản ứng Magnetron DC docx

... ứng dụng làm màng phản xạ hệ màng đa lớp Vì vậy, công trình nghiên cứu, tìm điều kiện tối ưu để chế tạo màng TiN có chiết suất thấp, hệ số tắt k lớn, nghĩa màng có điện trở suất thấp hay độ phản ... 2.THỰC NGHIỆM Màng TiN chế tạo phương pháp phún xạ phản ứng Magnetron dc đế thủy tinh, hệ chân không làm việc có áp suất tới hạn 10-4 torr với bia làm vật liệu Titanium, độ tinh khiết 99.6%, kích ... dày màng xác định phương pháp Stylus, điện trở mặt màng xác định phương pháp bốn mũi dò[4] Cấu trúc tinh thể kích thước hạt màng xác định dựa vào phổ nhiễu xạ tia X Chiết suất n hệ số tắt k màng...

Nghiên cứu chế tạo màng zno bằng phương pháp CVD

... dạng hidrat 3.6 CHẾ TẠO MÀNG MỎNG KẼM (II) OXIT BẰNG PHƯƠNG PHÁP CVD 3.6.1 Quy trình chế tạo màng mỏng kẽm(II) oxit phƣơng pháp CVD Sơ đồ thiết bị Các màng mỏng chế tạo phương pháp CVD áp suất thấp ... gian tạo màng: 1h - Tác nhân phản ứng: H2O Các màng thu được nghiên cứu phương pháp sau: XRD, SEM, phổ truyền qua, phổ phát quang, đo bề dày hình thái học bề mặt 3.6.2 Nghiên cứu màng chế tạo ... nghiên cứu tính chất, khảo sát khả thăng hoa β-điketonat cacboxylat kim loại sử dụng phức chất làm tiền chất để chế tạo màng mỏng Với mục đích tạo màng ZnO nghiên cứu tính chất màng, luận...

nghiên cứu chế tạo màng zno bằng phương pháp cvd

... mặt đế để tạo màng mỏng mong muốn Ngoài phương pháp CVD, màng mỏng chế tạo phương pháp khác phương pháp điện hoá (anốt hoá mạ điện) phương pháp solgel Phương pháp sol-gel gồm có trình tạo sol tiền ... dạng hidrat 3.6 CHẾ TẠO MÀNG MỎNG KẼM (II) OXIT BẰNG PHƢƠNG PHÁP CVD 3.6.1 Quy trình chế tạo màng mỏng kẽm(II) oxit phƣơng pháp CVD Sơ đồ thiết bị Các màng mỏng chế tạo phương pháp CVD áp suất thấp ... phƣơng pháp CVD 45 3.6.2 Nghiên cứu màng chế tạo từ tiền chất Zn(Piv)2 47 3.6.2.1 Giản đồ nhiễu xạ tia X màng 47 3.6.2.2 Nghiên cứu hình thái bề mặt màng 48 3.6.2.3 Nghiên cứu...

Chế tạo màng Sn02 bằng phương pháp phun tĩnh điện

...

TẠO MÀNG MỎNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ

... phóng đến đế Vì phún xạ? ? So với bốc bay -Phún xạ tạo màng có độ đồng pp bốc bay -Dễ dàng tạo màng hơp kim CƠ CHẾ VẬT LÝ CỦA PHÚN XẠ: NHỮNG HẠT PHÚN XẠ CƠ CHẾ VẬT LÝ CỦA PHÚN XẠ Phún xạ trình: Những ... -Chân không phún xạ: + Chân không tới hạn: 10-7 torr + Áp suất làm việc: 10-2  10-3 torr Hết phần 1: phún xạ PHẦN PHÚN XẠ MAGNETRON PHÚN XẠ MAGNETRON Phún xạ Magnetron Nhắc lại: PHÚN XẠ LÀ GÌ? ... trung bình ion khoảng 10 – 40 nm HIỆU SUẤT PHÚN XẠ Hiệu suất phún xạ = tổng nguyên tử phún xạ A / tổng ion tới = NA / Ni HIỆU SUẤT PHÚN XẠ Hiệu suất phún xạ phụ thuộc vào: - Bản chất bia - Bản chất...

37
1,938
1

nghiên cứu chế tạo màng mỏng ZnO loại P bằng phương pháp phún xạ Magnetron

... Sản phẩm sau nung có dạng đĩa tròn đường kính tất bia x p xỉ 7,7cm phù h p làm bia trình phún xạ magnetron tạo màng Chế tạo màng ZnO pha t p N từ bia gốm Màng ZnO pha t p N chế tạo phương ph p phún ... B.Yao, màng mỏng ZnO: N chế tạo phương ph p phún xạ magnetron RF điều kiện nhiệt độ 510K đế thạch anh xác định cấu trúc phương ph p nhiễu xạ tia X Hình 2.5 Phổ nhiễu xạ ZnO Hằng số mạng tinh thể ZnO: N ... N2, N2O Trong N N2O dùng nguồn pha t p N Các điều kiện phún xạ tạo màng p suất buồng p suất p suất phún xạ Khí phún xạ Đế phủ Khoảng cách phún xạ Công suất phún xạ RF Nhiệt độ đế < 5.10-6 torr...

7
1,834
20

Báo cáo khoa học: Nghiên cứu chế tạo màng mỏng Al2O3 bằng phương pháp phún xạ Magnetron RF potx

... Vol 12, No.03 - 2009 Bài viết trình bày việc nghiên cứu chế tạo màng mỏng Al2O3 phương pháp phún xạ magnetron rf chuyển pha xử lý nhiệt sau Màng phún xạ phản ứng từ bia nhôm kim loại môi trường ... suất màng mỏng thực với phương pháp khác ta thấy có phù hợp tốt Chiết suất màng cao màng bốc bay phản ứng thấp phương pháp FCVA Technique Bulk (bảng 01) Bảng 1.Chiết suất màng Al2O3 với phương pháp ... 1.Chiết suất màng Al2O3 với phương pháp tạo màng khác [26 ] Phương pháp Chiết suất 550 nm Phương pháp Chiết suất 550 nm Bốc bay 1.5 Phún xạ phản ứng 1.68 Phún xạ chùm ion 1.65 Hai chùm tia ion 1.62...

Báo cáo nghiên cứu khoa học: " SỰ ẢNH HƯỞNG DÒNG PHÚN XẠ VÀ SỰ Ủ NHIỆT LÊN TÍNH CHẤT QUANG XÚC TÁC MÀNG TiO2 CHẾ TẠO BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC KHÔNG CÂN BẰNG" doc

... diện tích mặt lớn Màng tạo dòng phún xạ mạnh có tính quang xúc tác cao mà xử lý ủ nhiệt Giải pháp tăng dòng phún xạ kinh tế hiệu quả, ứng dụng công nghệ phủ màng quang xúc tác Trang 48 Bản quyền ... việc tăng dòng phún xạ tính quang xúc tác màng TiO2 mà không cần xử lí nhiệt nhằm tối ưu hóa công nghệ sản xuất vật liệu 1.2.Cơ sở Phún xạ magnetron sử dụng rộng rãi, nhiệt độ tạo màng thấp phù ... Vol 11, No.10 - 2008 Sau ủ nhiệt Trước ủ nhiệt Hình 12 Hình 11 Sau ủ nhiệt Trước ủ nhiệt Hình 14 Hình 13 Sau ủ nhiệt Trước ủ nhiệt Hình 15 Hình 16 Sau ủ nhiệt Trước ủ nhiệt Hình 17 Trang 46 Hình...

Báo cáo nghiên cứu khoa học: " NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO MÀNG MỎNG TiO2 BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON RF" doc

... Phổ truyền qua màng TiO2 tạo từ phương pháp phún xạ magnetron rf (1) phún xạ magnetron dc (2) Khi so sánh phổ truyền qua màng TiO2 tạo từ phương pháp, ta nhận thấy độ truyền qua màng tương đương ... NGHIỆM Màng TiO2 tạo phương pháp phún xạ rf, từ bia gốm TiO2 (độ tinh khiết khoảng 99%), bia gốm chế tạo từ bột TiO2 tinh khiết nung tới nhiệt độ 14000C vòng Việc chế tạo bia gốm TiO2 trình bày báo ... đương cao khoảng 90% Nhưng tính chiết suất màng bước sóng 550 nm, màng TiO2 tạo phương pháp phún xạ rf có chiết suất 2.48 màng TiO2 tạo phương pháp phún xạ dc có chiết suất thấp khoảng 2.42 Kết...

Tiến Sĩ Nghiên cứu chế tạo màng gương nóng truyền qua bằng phương pháp phún xạ magnetron dc

... hệ số tắt lớp tương ứng với ứng dụng màng gương nóng truyền qua 1.6 Phương pháp nghiên cứu 1.6.1 Phương pháp phún xạ 1.6.1.1 Nguyên lý trình lắng đọng phún xạ Sự bứt nguyên tử điện tử từ bề mặt ... tán xạ lớn phản xạ cao hình thành Điều xảy màng lắng đọng phương pháp phún xạ phản ứng, thể qua chuyển tiếp từ màng đục đến màng suốt với áp suất riêng phần oxy tăng phún xạ [52] Truyền qua vùng ... 3 Qua tất sở lý luận trên, mục đích đặt luận án gồm công việc sau: Nghiên cứu chế tạo màng dẫn điện suốt ZnO pha tạp nhôm (AZO) Nghiên cứu tính chất quang điện màng TiN Nghiên cứu tính chất quang...

Nghiên cứu chế tạo màng ZnO tạp chất Sn trên đế thủy tinh bằng phương pháp phún xạ magnetron DC và khảo sát các yếu tố ảnh hưởng đến cấu trúc, tính chất điện, tính chất quang của màng

... tính chất quang học màng tốt Trong khóa luận này, thực chế tạo màng ZnO: Sn đế thủy tinh phương pháp phún xạ magnetron DC Qua khảo sát yếu tố ảnh hưởng đến cấu trúc, tính chất điện tính chất quang ... 3: CHẾ TẠO MÀNG ZnO PHA TẠP Sn BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC 3.1 Chế tạo bia gốm ZnO SZO Để thuận tiện việc so sánh kết quả, chế tạo hai loại bia gốm ZnO không pha tạp ZnO pha tạp Sn ... Hùng CHẾ TẠO MÀNG ZnO PHA TẠP Sn BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC .42 3.1 Chế tạo bia gốm ZnO SZO 42 3.2 Hệ tạo màng trình phún xạ .48 3.3 Các bước chuẩn bị trước phún...

72
1,563
0

NGHIÊN CỨU VÀ CHẾ TẠO MÀNG DẪN ĐIỆN TRONG SUỐT ZnO TẠP CHẤT (In, N) BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC

... VẬT LIỆU ZnO VẬT LIỆU ZnO PHA TẠP LOẠI P CHẾ TẠO MÀNG ZnO: (In, N) KẾT LUẬN Ứng dụng vật liệu bán dẫn ZnO p-n LED Trong suốt OLED Màng mỏng dẫn điện suốt Cảm biến khí Màng bán dẫn pha tạp loại ... NHIỆT ĐỘ ĐẾ Tính chất điện màng ZnO: (In, N): 1.8.102 Tạp In %wt Ảnh hưởng tỷ lệ tạp In lên tính chất điện màng ZnO: (In, N) ẢNH HƯỞNG NỒNG ĐỘ TẠP In Tính chất quang màng ZnO: (In, N) Sự dịch chuyển ... CHẾ TẠO MÀNG ZnO: (In ,N) 3.1 Quy trình chế tạo bia gốm ZnO: In Chu trình nhiệt độ trình dung kết CHƯƠNG 3: CHẾ TẠO MÀNG ZnO: (In ,N) 3.1 Quy trình chế tạo bia gốm ZnO: In Bia gốm trước phún xạ Bia...

52
1,363
0

Quang phổ Laser - Dùng phổ Raman và phổ phát quang nghiên cứu ảnh hưởng của tỉ lệ khí oxy và sự ủ nhiệt đối với màng TiO2 chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron phản ứng

... Quang phổ Laser MỤC ĐÍCH: Nghiên cứu ảnh hưởng tỉ lệ dòng oxy đưa vào hệ phún xạ việc chế tạo màng Nghiên cứu ảnh hưởng nhiệt độ ủ trình hình thành cấu trúc màng Quang phổ Laser GiỚI THIỆU: Chế ... tạo màng TiOx phương pháp phún xạ magneton trực tiếp nhiệt độ phòng với tỉ lệ dòng oxy đưa vào khoảng 3-1 5% FO FO % = × 100% ( FO2 + FAr ) Sau đem ủ nhiệt 35 0-7 50oC Dùng phổ nhiễu xạ tia X, quang ... quang phát quang phổ Raman để nghiên cứu tính chất màng Quang phổ Laser THÍ NGHIỆM: Dùng đế p-Si(100), làm H2SO4 H2O Target Ti tinh khiết 99.99%, đường kính 2in áp vào nguồn DC 100W Đế áp điện -1 50V...

Nghiên cứu chế tạo màng ITO pha tạp Ag

... đ-ợc sử dụng để pha tạp bạc cho màng TCO 4.3- Chế tạo khảo sát tính chất màng ITO pha tạp Ag Để nâng cao độ dẫn màng ITO pha tạp Ag vào màng Vật liệu nano Ag đ-ợc pha tạp vào vào màng TCO hai ph-ơng ... SEM màng ITO pha tạp Ag chế tạo ph-ơng pháp phun dung dịch đế nóng Hình 4.7: ảnh SEM màng ITO pha tạp Ag (Mẫu AT6A) 4.3.4 Khảo sát độ truyền qua Kết khảo sát độ truyền qua màng ITO pha tạp Ag ... khảo sát tính chất màng ITO 33 4.1 Chế tạo khảo sát tính chất màng In2O3 : Sn 33 4.2 Chế tạo vật liệu nano bạc (Ag) . 37 4.3 Chế tạo khảo sát tính chất màng ITO pha tạp Ag .38 4.3.1 Khảo...

Xem thêm