... tơng tự nh cảm biến áp suất [1,2] Tuỳ theo yêu cầu phạm vi đo lực hay đo khối lợng, bề dày màng kích thớc cạnh màng đợc lựa chọn cách thích hợp khác Trong khảo sát chúng tôi, cảm biến lực với màng ... khắc tạo điện trở Hàn dây đóng gói Hình Qui trình chế tạo cảm biến vi đo lực đo khối lợng hợp tâm màng đợc giữ lại, cấu trúc màng có tâm cứng đợc tạo Sau bớc xử lý ăn mòn, cấu trúc cảm biến hoàn ... Vout.1000/Vin 25 20 15 10 0 20 40 60 80 100 Bảng Độ nhạy, vùng làm vi c tuyến tính, giới hạn đo lực khối lợng cảm biến Loại cảm biến Độ nhạy Vùng làm Lực nhỏ Khối lợng nhỏ vi c tuyến đo đợc (N) đo đợc...