... tôi thực hiện chế tạo màng ZnO: Sn trên đế thủy tinh bằng phương pháp phún xạ magnetron DC. Qua đó khảo sát các yếu tố ảnh hưởngđến cấu trúc, tính chất điện và tính chất quang của màng. Chúng tôi ... loại màng ZnO pha tạp được các nhà khoa học trong và ngoàinước nghiên cứu chế tạo khá nhiều như ZnO: Al, ZnO: Ga, thì màng ZnO: Sn còn ítđược nghiên cứu và hiểu biết về chúng còn khá hạn chế. ... thế giới. Màng ZnO được chế tạo bởi nhiều phương pháp khác nhau, một trong những phương pháp hiện nay phổ biến ở nước ta là phương pháp phún xạ magnetron DC hoặc RF. Đây là phương pháp giúp các...